문맥 (context)
[청구항1]
표면을 상기 피가공 판체의 흡착면으로 하는 유전체, 및 이 유전체 내부에 배치된 흡착 전극을 가진 정전 흡착층과, 이 정전 흡착층이 상면에 배치하여 설치된 기재를 구비하는 정전 척으로서,
상기 기재는, 하면판과, 복수의 다각형 통상체 또는 원형 통상체를 이 하면판 상에 직립시킨 상태로 전면에 깔아 이루어지는 다소 구조부와, 이 다소 구조부의 측면을 덮는 측면판을 구비하는 것을 특징으로 하는 정전 척
[청구항2]
제1항에 있어서,다소 구조부는, 삼각형 통상체, 사각형 통상체 또는 육각형 통상체의 어느 것을 상기 하면판 상에 간극 없이 전면에 깐구조이루는것을특징으로 하는정전 척.
[청구항3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 정전 흡착층을 상기 기재의 다소 구조부의 상면에직접붙인것을특징으로 하는정전 척.
[청구항4]
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기재의 하면판에, 상기 복수의 다각형 통상체 또는 원형 통상체에 있어서의 적어도 하나의 다각형 통상체 또는 원형 통상체의 하개구와 연통하는 유체 공급구를 설치하고,상기 하면판에 있어 상기 유체 공급구와는 다른 위치에, 적어도 하나의 다각형 통상체 또는 원형 통상체의 하개구와 연통하는 유체 배출구를 설치하고,하개구가 상기 유체 공급구와 연통한 상기 다각형 통상체 또는 원형 통상체의 주벽에, 유체 공급구로부터의 유체를 인근의 다각형 통상체 또는 원형 통상체로 유출시키기 위한 연통 구멍을 설치함과 아울러, 하개구가 상기 유체 배출구와 연통한 상기 다각형 통상체 또는 원형 통상체의 주벽에 유체를 인근의 다각형 통상체 또는 원형 통상체로부터 유입하기 위한 연통 구멍을 설치하고, 또한 다른 다각형 통상체 또는 원형 통상체의 주벽에, 인근의 다각형 통상체 또는 원형 통상체로부터의 유체를 유입하기 위한 하나의 연통 구멍과, 유체를 다른 인근의 다각형 통상체 또는 원형 통상체로 유출시키기 위한 다른 연통 구멍을 설치함으로써 상기 유체 공급구로부터 상기 유체 배출구에 이르는유로형성한것을특징으로 하는정전 척.
[청구항5]
제4항에 있어서,상기 연통 구멍을 상기 각 다각형 통상체또는원형통상체의주벽의최상부설치한것을특징으로 하는정전 척.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
정전 척의 기재를 구성하는 다소 구조부는 어떠한 요소들로 이루어지며, 어떠한 방식으로 형성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation정전 척의 기재 내 다소 구조부의 구성 요소와 형성 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 기재의 구성 요소인 하면판, 다소 구조부, 측면판을 추출한다.
- 하면판
- 다소 구조부
- 측면판
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3근거 선택
evidence_selection다소 구조부의 구체적 형성 방식에 관한 문구를 선택한다.
- 복수의 다각형 통상체 또는 원형 통상체를 이 하면판 상에 직립시킨 상태로 전면에 깔아 이루어지는 다소 구조부
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4논리 통합
logical_integration다소 구조부는 하면판 위에 다각형 또는 원형 통상체들을 직립시켜 전면에 배치함으로써 형성됨을 연결한다.
- 복수의 다각형 통상체 또는 원형 통상체를 이 하면판 상에 직립시킨 상태로 전면에 깔아 이루어지는 다소 구조부
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5결론 도출
conclusion_formulation다소 구조부는 하면판 상에 직립된 복수의 다각형 또는 원형 통상체들로 구성된다는 결론을 도출한다.
- 복수의 다각형 통상체 또는 원형 통상체를 이 하면판 상에 직립시킨 상태로 전면에 깔아 이루어지는 다소 구조부
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
- 복수의 다각형 통상체 또는 원형 통상체를 이 하면판 상에 직립시킨 상태로 전면에 깔아 이루어지는 다소 구조부
근거 (evidence)
- 하면판
- 다소 구조부
- 측면판
- 복수의 다각형 통상체 또는 원형 통상체를 이 하면판 상에 직립시킨 상태로 전면에 깔아 이루어지는 다소 구조부
최종 답변 (final_answer)
정전 척의 기재 내 다소 구조부는 하면판 상에 직립시킨 상태로 전면에 깔린 복수의 다각형 통상체 또는 원형 통상체들에 의해 형성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
정전 척의 기재는 하면판, 다소 구조부, 측면판으로 구성되며, 다소 구조부는 하면판 위에 다각형 또는 원형 통상체들을 직립시켜 전면에 배치한 구조이다.