화학기상증착 장치용 새틀라이트 및 이를 구비한 화학기상증착 장치

[청구항1] 서셉터 상에 장착되며, 내부에 증착이 이루어질 기판을 수용하는 포켓 상기 포켓의 상단으로부터 아래쪽으로 단차를 이루며 기판이 놓이도록 마련된 안착부; 및 상기 안착부로부터 소정의 깊이로 형성된 단차부를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착 장치용 새틀라이트 [청구항2] 제1항에 있어서,상기 단차부는,화학기상증착 공정 진행 중 기판의 휨이 발생하였을 때, 상기 기판의 중심부가 접촉되지 않도록 하는직경형성된것을특징으로 하는화학기상증착 장치용 새틀라이트. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 단차부는, 중앙으로부터직경범위인것을특징으로 하는화학기상증착 장치용 새틀라이트. [청구항4] 제1항에 있어서,상기 단차부는,화학기상증착 공정 진행 중 기판의 휨이 발생하였을 때, 상기 기판의 가장자리의 일부가 접촉될 수 있는정도의크기마련된것을특징으로 하는화학기상증착 장치용 새틀라이트. [청구항5] 제4항에 있어서,상기 단차부의 중심부에 동심원상으로 마련된적어도하나이상의그루브더포함하는것을특징으로 하는화학기상증착 장치용 새틀라이트. [청구항6] 서셉터 상에 장착되며, 내부에 증착이 이루어질 기판을 수용하는 포켓 상기 포켓의 상단으로부터 아래쪽으로 단차를 이루며 기판이 놓이도록 마련된 안착부; 및 상기 안착부의 중심부에 형성된 적어도 하나 이상의 그루브를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착 장치용 새틀라이트 [청구항7] 제6항에 있어서,상기 안착부의 내측에, 아래쪽으로 소정 깊이 형성된 단차부를 더 포함하며,상기 그루브는상기단차부의중심부형성된것을특징으로 하는화학기상증착 장치용 새틀라이트. [청구항8] 서셉터 상에 장착되며, 내부에 증착이 이루어질 기판을 수용하는 포켓; 및 상기 포켓의 상단으로부터 아래쪽으로 단차를 이루며 기판이 놓이도록 마련된 안착부를 포함하며, 상기 안착부는, 그 상면은 평평하고, 그 하면은 가장자리로부터 중심으로 갈수록 두께가 얇아지도록 경사를 이루는 것을 특징으로 하는 화학기상증착 장치용 새틀라이트 [청구항9] 증착이 이루어지는 공간을 제공하는 챔버 상기 챔버 내에 설치되며, 적어도 하나의 포켓을 구비하는 서셉터 상기 서셉터와 인접하여 구비되며, 기판을 가열하는 가열수단; 및 상기 서셉터의 포켓에 구비되며, 내부에 기판을 수용하는 포켓과, 상기 포켓의 상단으로부터 아래쪽으로 단차를 이루며 기판이 놓이도록 마련된 안착부, 및 상기 안착부로부터 소정의 깊이로 형성된 단차부를 구비하는 새틀라이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착 장치 [청구항10] 제9항에 있어서,상기 단차부는,화학기상증착 공정 진행 중 기판의 휨이 발생하였을 때, 상기 기판의 중심부가 접촉되지 않도록 하는직경형성된것을특징으로 하는화학기상증착 장치. [청구항11] 제10항에 있어서,상기 단차부는, 중앙으로부터직경범위인것을특징으로 하는화학기상증착 장치용 새틀라이트. [청구항12] 제9항에 있어서,상기 단차부는,화학기상증착 공정 진행 중 기판의 휨이 발생하였을 때, 상기 기판의 가장자리의 일부가 접촉될 수 있는정도의크기마련된것을특징으로 하는화학기상증착 장치용 새틀라이트. [청구항13] 제12항에 있어서,상기 단차부의 중심부에 동심원상으로 마련된적어도하나이상의그루브더포함하는것을특징으로 하는화학기상증착 장치용 새틀라이트. [청구항14] 증착이 이루어지는 공간을 제공하는 챔버 상기 챔버 내에 설치되며, 적어도 하나의 포켓을 구비하는 서셉터 상기 서셉터와 인접하여 구비되며, 기판을 가열하는 가열수단; 및 상기 서셉터 상에 장착되며, 내부에 증착이 이루어질 기판을 수용하는 포켓과, 상기 포켓의 상단으로부터 아래쪽으로 단차를 이루며 기판이 놓이도록 마련된 안착부, 및 상기 안착부의 중심부에 형성된 적어도 하나 이상의 그루브를 구비하는 새클라이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착 장치 [청구항15] 제14항에 있어서,상기 안착부의 내측에, 아래쪽으로 소정 깊이 형성된 단차부를 더 포함하며,상기 그루브는상기단차부의중심부형성된것을특징으로 하는화학기상증착 장치. [청구항16] 증착이 이루어지는 공간을 제공하는 챔버 상기 챔버 내에 설치되며, 적어도 하나의 포켓을 구비하는 서셉터 상기 서셉터와 인접하여 구비되며, 기판을 가열하는 가열수단; 및 상기 서셉터 상에 장착되며, 내부에 증착이 이루어질 기판을 수용하는 포켓과, 상기 포켓의 상단으로부터 아래쪽으로 단차를 이루며 기판이 놓이도록 마련된 안착부를 포함하며, 상기 안착부는 그 상면은 평평하고, 그 하면은 가장자리로부터 중심으로 갈수록 두께가 얇아지도록 경사를 이루는 새틀라이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착 장치