문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 복수의 센서 각각은 상기 기판과 상기 복수의 증착원 사이의 중간 높이에서 상기 기판 및 상기 복수의 증착원의 외측위치하는박막 증착 장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 복수의 센서 각각은 수정 진동자와, 용수철 부재를 사이에 두고 상기 수정 진동자와 마주하는 단자를 포함하며,상기 검출면은 상기 수정 진동자의 바깥면인박막 증착 장치.
[청구항4]
제3항에 있어서,상기 단자는 상기 진공 챔버 외부의 제어 장치와 전기적으로 연결되고,상기 제어 장치는 상기 단자로부터 제공받은 전기 신호를 유기 재료의 증기 양변환시키는박막 증착 장치.
[청구항5]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 증착원 각각은 상기 기판의 제1 방향을 따라 길게 형성된 선형 증착원으로 구성되고,상기 복수의 증착원은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로간 거리위치하는박막 증착 장치.
[청구항6]
제5항에 있어서,상기 센서 방착판은 한 쌍으로 구비되며,상기제2방향따라마주하는박막 증착 장치.
[청구항7]
제5항에 있어서,상기 복수의 증착원 가운데어느 하나의 증착원은 유기층의 주재료를 증발시키고, 나머지 증착원은 유기층의 부재료증발시키는박막 증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
박막 증착 장치에서 복수의 증착원은 어떤 방향으로 배치되며, 각 증착원은 유기층 형성을 위해 어떠한 역할을 수행하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation증착원의 배치 방향과 각 증착원의 구체적인 역할을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction증착원의 형태, 배치 방향, 그리고 증발시키는 재료에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 복수의 증착원 각각은 상기 기판의 제1 방향을 따라 길게 형성된 선형 증착원으로 구성되고
- 상기 복수의 증착원은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로간 거리위치하는
- 상기 복수의 증착원 가운데어느 하나의 증착원은 유기층의 주재료를 증발시키고, 나머지 증착원은 유기층의 부재료증발시키는
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3근거 선택
evidence_selection배치 방식과 역할에 직접적으로 관련된 청구항 5항과 7항의 내용을 선택한다.
- 상기 복수의 증착원 각각은 상기 기판의 제1 방향을 따라 길게 형성된 선형 증착원으로 구성되고
- 상기 복수의 증착원은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로간 거리위치하는
- 상기 복수의 증착원 가운데어느 하나의 증착원은 유기층의 주재료를 증발시키고, 나머지 증착원은 유기층의 부재료증발시키는
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4논리 통합
logical_integration증착원은 제1 방향으로 긴 선형 형태이며, 제2 방향으로 떨어져 배치된다는 점과, 하나는 주재료를, 나머지는 부재료를 증발시킨다는 점을 결합한다.
- 상기 복수의 증착원 각각은 상기 기판의 제1 방향을 따라 길게 형성된 선형 증착원으로 구성되고
- 상기 복수의 증착원은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로간 거리위치하는
- 상기 복수의 증착원 가운데어느 하나의 증착원은 유기층의 주재료를 증발시키고, 나머지 증착원은 유기층의 부재료증발시키는
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5결론 도출
conclusion_formulation증착원은 제1 방향을 따라 길게 형성된 선형 증착원으로서 제2 방향을 따라 배치되며, 하나는 주재료를, 나머지는 부재료를 증발시키는 역할을 한다고 결론짓는다.
- 상기 복수의 증착원 각각은 상기 기판의 제1 방향을 따라 길게 형성된 선형 증착원으로 구성되고
- 상기 복수의 증착원은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로간 거리위치하는
- 상기 복수의 증착원 가운데어느 하나의 증착원은 유기층의 주재료를 증발시키고, 나머지 증착원은 유기층의 부재료증발시키는
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 명확하고 구조화된 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 복수의 증착원 각각은 상기 기판의 제1 방향을 따라 길게 형성된 선형 증착원으로 구성되고
- 상기 복수의 증착원은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로간 거리위치하는
- 상기 복수의 증착원 가운데어느 하나의 증착원은 유기층의 주재료를 증발시키고, 나머지 증착원은 유기층의 부재료증발시키는
최종 답변 (final_answer)
복수의 증착원은 기판의 제1 방향을 따라 길게 형성된 선형 증착원이며, 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 서로 간 거리를 두고 배치된다. 역할 측면에서는 하나의 증착원이 유기층의 주재료를 증발시키고, 나머지 증착원들은 유기층의 부재료를 증발시키는 역할을 수행한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
증착원의 기하학적 배치(제1 방향 선형, 제2 방향 이격)와 기능적 분담(주재료 및 부재료 증발)을 설명함.