문맥 (context)
[청구항2]
제1 항에 있어서,상기 복수의 서셉터 조각 각각은 부채꼴 형상갖는서셉터.
[청구항3]
제1 항에 있어서,상기 체결부는 서로 맞물리는 요철형상으로 이루어진서셉터.
[청구항4]
제1 항에 있어서,상기 체결부는 상기 복수의 서셉터 조각 각각의 일 측면에 지름방향으로 길게 연장되어 형성된 홈부와 상기 복수의 서셉터 조각 각각의 타 측면에 형성된 돌출부포함하는서셉터.
[청구항5]
제1 항에 있어서,상기 복수의 서셉터 조각 각각은 내부에 형성되어 상기 적어도 하나의 포켓에 유동 가스를 공급하는 서셉터 유로포함하는서셉터.
[청구항6]
제1 항 내지 제5 항에 기재된 서셉터
상기 서셉터에 피증착체를 회전시키는 유동 가스를 주입하면서 상기 서셉터를 지지하는 지지부
상기 피증착체에 증착되는 증착물질을 포함하는 반응 가스를 주입하는 반응 가스 주입부; 및
상기 서셉터, 상기 지지부, 및 상기 반응 가스 주입부를 수용하는 챔버
를 포함하는 화학 기상 증착 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
서셉터의 체결부는 어떠한 구성요소를 포함하며, 어떠한 형상으로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation서셉터 체결부의 형상과 구성요소에 대한 정보를 추출해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3과 청구항 4에서 체결부와 관련된 정보를 추출한다.
- 상기 체결부는 서로 맞물리는 요철형상으로 이루어진
- 상기 체결부는 상기 복수의 서셉터 조각 각각의 일 측면에 지름방향으로 길게 연장되어 형성된 홈부와 상기 복수의 서셉터 조각 각각의 타 측면에 형성된 돌출부포함하는
-
3근거 선택
evidence_selection체결부의 형상을 나타내는 '요철형상'과 구성요소를 나타내는 '홈부' 및 '돌출부'를 선택한다.
- 서로 맞물리는 요철형상
- 홈부
- 돌출부
-
4논리 통합
logical_integration체결부는 요철형상이며, 이는 홈부와 돌출부의 조합으로 구성됨을 통합한다.
- 상기 체결부는 서로 맞물리는 요철형상으로 이루어진
- 상기 체결부는 상기 복수의 서셉터 조각 각각의 일 측면에 지름방향으로 길게 연장되어 형성된 홈부와 상기 복수의 서셉터 조각 각각의 타 측면에 형성된 돌출부포함하는
-
5결론 도출
conclusion_formulation체결부는 서로 맞물리는 요철형상으로 이루어지며, 구체적으로는 홈부와 돌출부를 포함한다.
- 상기 체결부는 서로 맞물리는 요철형상으로 이루어진
- 상기 체결부는 상기 복수의 서셉터 조각 각각의 일 측면에 지름방향으로 길게 연장되어 형성된 홈부와 상기 복수의 서셉터 조각 각각의 타 측면에 형성된 돌출부포함하는
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
- 상기 체결부는 서로 맞물리는 요철형상으로 이루어진
- 상기 체결부는 상기 복수의 서셉터 조각 각각의 일 측면에 지름방향으로 길게 연장되어 형성된 홈부와 상기 복수의 서셉터 조각 각각의 타 측면에 형성된 돌출부포함하는
근거 (evidence)
- 상기 체결부는 서로 맞물리는 요철형상으로 이루어진
- 상기 체결부는 상기 복수의 서셉터 조각 각각의 일 측면에 지름방향으로 길게 연장되어 형성된 홈부와 상기 복수의 서셉터 조각 각각의 타 측면에 형성된 돌출부포함하는
- 서로 맞물리는 요철형상
- 홈부
- 돌출부
최종 답변 (final_answer)
서셉터의 체결부는 서로 맞물리는 요철형상으로 이루어져 있으며, 서셉터 조각 각각의 일 측면에 지름방향으로 길게 연장되어 형성된 홈부와 타 측면에 형성된 돌출부를 포함한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
서셉터 체결부의 형상(요철형상)과 세부 구성(홈부, 돌출부)을 정의함.