기판처리장치

[청구항1] 내부에 반응공간을 가지는 챔버와, 상기 챔버 내의 상부에 마련되어 반응가스를 분사하는 가스분사장치와, 상기 가스분사장치의 하부에 마련되어 기판을 가열하는 히터와, 상기 히터를 수용하며 상기 히터의 상부면으로부터 일정간격 이격하여 상기 기판을 안착시키는 기판승강지지부과, 상기 기판승강지지부 내에 수용되며, 복수의 영역으로 구획되어 배치되고 영역별로 상이한 열용량을 갖는 열전달블럭을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치 [청구항2] 제 1 항에 있어서,상기 열전달블럭은 상기 기판과 상기 히터의 사이에서 상기 기판에 이격되어 배치되어 상기 기판에 상기 히터로부터의열을전달차단하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항3] 제 1 항에 있어서,상기 열전달블럭은 상기 히터의 하부에서 상기 히터에 열을전달차단하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항4] 제 1 항에 있어서,상기 열전달블럭은 영역별로 서로 다른크기갖는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항5] 제 1 항에 있어서,상기 기판승강지지부는, 상기 히터의 테두리를 둘러싸는 지지부 본체와, 상기 지지부 본체와 일체로 설치되는 바닥플레이트와, 상기 지지부 본체의 상부끝단에 돌출되어 형성되며 상기 기판을 안착시켜 지지하는기판안착부구비하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항6] 제 5 항에 있어서,상기 바닥플레이트는 상기 열전달블럭이 삽입되는복수의삽입홈구비하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항7] 제 6 항에 있어서,상기 삽입홈은 상기 바닥플레이트의 중앙을 중심으로 한 동심원 형상으로복수개설치되는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항8] 제 5 항에 있어서,상기 기판안착부의 상부면은 상기 히터의 상부면으로부터 일정간격 이격되도록설치되는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항9] 제 5 항에 있어서,상기 히터의 지지샤프트를 둘러싸며 상기 지지샤프트와의 사이에 퍼지가스 통로를 갖는 가이드 샤프트와, 상기 바닥플레이트의 중앙통공의 주변으로부터 수직 하향으로 돌출되어 형성되며 상기 가이드 샤프트와 체결되는수직연결부더욱구비하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항10] 제 9 항에 있어서,상기 바닥플레이트와 상기 챔버의 바닥면과의 사이에 배치되는스토퍼부더욱구비하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항11] 제 9 항에 있어서,상기 수직연결부와 상기 가이드 샤프트의 체결위치를 조정하여상기기판과상기히터사이의이격거리조정하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항12] 제 1 항에 있어서,상기 히터의 지지샤프트를 고정하는 제 1 축과, 상기 기판승강지지부에 연결되는 상기 가이드 샤프트에 체결되어 상기 가이드 샤프트를 회전시키는 제 2 축과, 상기 제 1 축과 상기 제 2 축을 밀봉하는자성유체씨일더욱구비하는것을특징으로 하는기판처리장치.