플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치 및 방법

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 승강장치(250)는 일측이 밀폐되고 타측이 개봉된 제 1 벨로우즈(254); 상기 제 1 벨로우즈(254)의 밀폐된 일측면 내부에 고정결합된 진공밸브 하우징(256); 상기 진공밸브 하우징(256) 상부에 고정설치되며, 내부에 축상으로 진공경로를 구비한 수직이동대(251); 및 상기 수직이동대(251)의 상부에 고정설치된 상기 기판탑재판(220);을 포함하며, 상기 제 1 벨로우즈(254)의 개봉된 타측은 상기 메인챔버(290) 저면 외부에고정설치되는것을특징으로 하는플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 진공밸브 하우징(256)은 내부에 진공밸브(255)를 구비하며, 상기 진공밸브(255)는 상기 승강장치(250)의 저면 외측에 구비된 진공밸브 제어장치(257)와 결합되어, 상기 진공경로를 개폐함에 따라 상기 메인챔버(290)와 상기 제 1 벨로우즈(254)의내부공간사이의진공상태제어하는것을특징으로 하는플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치. [청구항 4] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 승강장치(250)는 상기 제 1 벨로우즈(254) 내외부의 압력차에 의해수직이동되는것을특징으로 하는플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 냉각판(260)은 상기 승강장치(250)가 설치된 지점과 대향하는 위치에 상기 반도체 웨이퍼(200) 형상에 맞추어 구멍이 형성되고, 내부에는냉매순환관형성되는것을특징으로 하는플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 기판홀더(210)의 직경은 상기 냉각판(260)에 형성된 구멍(262)의 직경보다 크며, 상기 기판홀더 림(212)의 높이는 오목부에 홀딩되는 반도체 웨이퍼(200)의 두께보다 큰 것특징으로 하는플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 밀봉대(292)는 상기 수직이동대(251)를 지지하도록 소정의 길이를 가지며, 상기 제 1 밀봉대(292) 사이의 대향면에진공밀봉부더구비된것을특징으로 하는플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 승강장치(350)는 일측이 밀폐되고 타측이 개봉된 제 1 벨로우즈(354); 상기 제 1 벨로우즈(354)의 밀폐된 일측면 내부에 고정결합된 진공밸브 하우징(356); 상기 진공밸브 하우징(356) 상부에 고정설치되며, 내부에 축상으로 진공경로를 구비한 수직이동대(351); 및 상기 수직이동대(351)의 상부에 고정설치된 상기 기판탑재판(320);을 포함하며, 상기 제 1 벨로우즈(354)의 개봉된 타측은 상기 메인챔버(390) 저면 외부에고정설치되는것을특징으로 하는플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 진공밸브 하우징(356)은 내부에 진공밸브를 구비하며, 상기 진공밸브는 상기 승강장치(350)의 저면 외측에 구비된 진공밸브 제어장치와 결합되어, 상기 진공경로를 개폐함에 따라 상기 메인챔버(390)와 상기 제 1 벨로우즈(354)의내부공간사이의진공상태제어하는것을특징으로 하는플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치. [청구항 11] 제 8 항에 있어서,상기 승강장치(350)는 상기 제 1 벨로우즈(354) 내외부의 압력차에 의해수직이동되는것을특징으로 하는플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치. [청구항 12] 제 8 항에 있어서,상기 제어회전부(330)의 회전판(332)에 형성된 구멍(331)의 직경은 상기 기판탑재판(320)의 직경보다는 크고 탑재되는 기판홀더(310)의 직경보다는 작은 직경으로 구성되며, 상기 제어회전부(330)의 중심 회전축(333)은 상기 메인챔버(390)의 저면에 형성된 다른 하나의 밀봉대(394)를 통해외부회전장치연결되는것을특징으로 하는플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치. [청구항 13] 제 8 항에 있어서,상기 냉각판(360)은 상기 승강장치(350)가 설치된 지점과 대향하는 위치에 상기 반도체 웨이퍼(300) 형상에 맞추어 소정 직경의 구멍(362)이 형성되고, 내부에는냉매순환되는것을특징으로 하는플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치. [청구항 14] 제 8 항에 있어서,상기 기판홀더(310)의 직경은 상기 냉각판(360)에 형성된 구멍(362)의 직경보다 크며, 상기 기판홀더 림의 높이는 오목부에 홀딩되는 반도체 웨이퍼(300)의 두께보다 큰 것특징으로 하는플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치. [청구항 15] 제 8 항에 있어서,봉대(392,394)는 상기 제어회전부(330)의 중심 회전축(333)과 상기 수직이동대(351)를 각각 지지하도록 소정의 길이를 가지며, 각 밀봉대(392,394) 사이의 대향면에진공밀봉부구비된것을특징으로 하는플라즈마 공정챔버의 기판냉각장치.