전계 발광 표시소자의 유기물질 증착장치

[청구항1] 진공챔버와, 상기 진공챔버의 저부에 설치되고, 상부에 적어도 2개 이상의 분출구가 상기 진공챔버의 상부를 향하도록 천공되어 있으며, 그 내부에는 유기물질이 담겨진 용기와, 상기 용기로부터의 유기물질이 선택적으로 증착되는 기판을 구비하고, 상기 각 분출구의 직경은 클로깅(clogging)이 발생되지 않는 범위내에서 형성되고, 상기 분출구의 입구에서 상기 분출구의 직경은 상기 분출구의 출구로 갈수록 작아지는 것을 특징으로 하는 유기물질 증착장치 [청구항2] 제1 항에 있어서,상기 용기를 가열하여 상기 용기 내부에 담겨진 상기 유기물질이 기화되어 상기 용기의 상부에 형성된 상기 분출구를 통해 상기 진공챔버 내부로 분출되도록 하기 위한 히터와,상기 용기에 대향하는 방향으로 상기 진공챔버의 상부에 설치되고, 그 상부에 안착된 상기 기판 상에 유기 발광층이 형성될 영역과 대응되는 영역에 개구부를 갖는 마스크와,상기 기판을 사이에 두고 상기 마스크와 대면되는 위치에 설치된 플레이트와,상기 진공챔버 내부의 벽면을 둘러싸도록 장착되는방착판더구비하는것을특징으로 하는유기물질 증착장치. 제1 항에 있어서,상기 용기를 가열하여 상기 용기 내부에 담겨진 상기 유기물질이 기화되어 상기 용기의 상부에 형성된 상기 분출구를 통해 상기 진공챔버 내부로 분출되도록 하기 위한 히터와,상기 용기에 대향하는 방향으로 상기 진공챔버의 상부에 설치되고, 그 상부에 안착된 상기 기판 상에 유기 발광층이 형성될 영역과 대응되는 영역에 개구부를 갖는 마스크와,상기 기판을 사이에 두고 상기 마스크와 대면되는 위치에 설치된 플레이트와,상기 진공챔버 내부의 벽면을 둘러싸도록 장착되는방착판더구비하는것을특징으로 하는유기물질 증착장치. [청구항3] 제1 항에 있어서,상기 분출구는 서로 동일한직경형성된것을특징으로 하는유기물질 증착장치. 제1 항에 있어서,상기 분출구는 서로 동일한직경형성된것을특징으로 하는유기물질 증착장치. [청구항4] 제1 항 또는 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 분출구는 서로 일정 간격으로 이격되도록형성된것을특징으로 하는유기물질 증착장치. 제1 항 또는 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 분출구는 서로 일정 간격으로 이격되도록형성된것을특징으로 하는유기물질 증착장치. [청구항5] 제2 항에 있어서,상기 히터는상기용기설치된것을특징으로 하는유기물질 증착장치. 제2 항에 있어서,상기 히터는상기용기설치된것을특징으로 하는유기물질 증착장치. [청구항6] 제5 항에 있어서,상기 히터와 상기 히터를 둘러싸는보호캡더포함하는것을특징으로 하는유기물질 증착장치. 제5 항에 있어서,상기 히터는보호캡내수용되는것을특징으로 하는유기물질 증착장치.