최종산출물 · 특허 지식베이스

분할 마스크

uuid
a432599f-c602-5e63-b391-92df1775b03f
출원번호
1020160117412
출원연도
IPC
C23C 14/04
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 개구 패턴을 포함하는 본체부; 및 상기 본체부의 양단에 배치되고, 적어도 3개 이상의 가지부를 포함하는 클램핑부 를 포함하고, 상기 가지부는 분할 마스크 중앙선과의 거리가 멀수록 작은 폭을 가지는 분할 마스크 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 클램핑부는 4개의 가지부를 포함하는클램핑부를포함하는분할 마스크. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 클램핑부는 5개의 가지부를 포함하는클램핑부를포함하는분할 마스크. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,체부 및 상기 클램핑부는금속으로 이루어진분할 마스크. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,체부 및 상기 클램핑부는 인바합금으로 이루어진분할 마스크. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 클램핑부는 좌우대칭인분할 마스크. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,체부는 개구 패턴더 포함하는분할 마스크. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 가지부는 u자 형상의 홈형성하는분할 마스크. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 클램핑부와 상기본체부 사이에 위치하는 접합부더 포함하는분할 마스크. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기 가지부 각각은 상기 본체부와 멀어질수록 더 작은 폭갖는분할 마스크. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기 가지부는 반구 형상의 홈형성하는분할 마스크.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
분할 마스크의 클램핑부에 포함된 가지부의 폭은 분할 마스크의 중앙선 및 본체부와의 거리에 따라 어떻게 변화하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    분할 마스크 클램핑부 내 가지부의 폭이 중앙선 및 본체부와의 거리에 따라 어떻게 변화하는지 관계를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 1에서 가지부의 폭과 중앙선 거리의 관계를, 청구항 10에서 가지부의 폭과 본체부 거리의 관계를 추출한다.

    • 상기 가지부는 분할 마스크 중앙선과의 거리가 멀수록 작은 폭을 가지는 분할 마스크
    • 상기 가지부 각각은 상기 본체부와 멀어질수록 더 작은 폭갖는분할 마스크
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에서 요구하는 두 가지 거리 조건(중앙선과의 거리, 본체부와의 거리)에 대한 직접적인 근거 구절을 선택한다.

    • 상기 가지부는 분할 마스크 중앙선과의 거리가 멀수록 작은 폭을 가지는 분할 마스크
    • 상기 가지부 각각은 상기 본체부와 멀어질수록 더 작은 폭갖는분할 마스크
  4. 4논리 통합logical_integration

    중앙선에서 멀어질수록 폭이 작아지고, 본체부에서 멀어질수록 폭이 작아진다는 두 정보를 통합한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    가지부의 폭은 중앙선 및 본체부로부터의 거리가 멀어질수록 작아진다는 결론을 도출한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    도출된 결론을 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.

근거 (evidence)
  • 상기 가지부는 분할 마스크 중앙선과의 거리가 멀수록 작은 폭을 가지는 분할 마스크
  • 상기 가지부 각각은 상기 본체부와 멀어질수록 더 작은 폭갖는분할 마스크
최종 답변 (final_answer)
분할 마스크의 가지부는 분할 마스크 중앙선과의 거리가 멀수록 작은 폭을 가지며, 동시에 본체부와 멀어질수록 더 작은 폭을 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
분할 마스크의 클램핑부 구성 요소인 가지부의 폭이 중앙선 및 본체부로부터의 거리에 따라 점진적으로 감소하는 구조적 특징을 나타낸다.