유기금속화학기상증착장치

[청구항2] 제 1 항에 있어서,상기 냉각부는, 상기 씰링부에 형성되는 제 1 냉각유로와, 상기 씨일플랜지에 형성되는 제 2냉각유로를 갖는제1냉각부포함하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. 제 1 항에 있어서,상기 냉각부는, 상기 씰링부에 형성되는 제 1 냉각유로와, 상기 씨일플랜지에 형성되는 제 2냉각유로를 갖는제1냉각부포함하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항3] 제 2 항에 있어서,상기 씰링부에 마련된 가스유로에 연결되어, 상기 가스유로로 냉각가스를 제공하여 상기 씰링부를 냉각시키는제2냉각부포함하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. 제 2 항에 있어서,상기 씰링부에 마련된 가스유로에 연결되어, 상기 가스유로로 냉각가스를 제공하여 상기 씰링부를 냉각시키는제2냉각부포함하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항4] 제 1 항에 있어서,상기 복사열 차단부재는 상기 샤프트가 삽입되도록 관통개구가 형성되고, 내부에 상기 가스유로와 연통되는차단공간형성되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. 제 3 항에 있어서,상기 복사열 차단부재는 상기 샤프트가 삽입되도록 관통개구가 형성되고, 내부에 상기 가스유로와 연통되는차단공간형성되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항5] 제 4 항에 있어서,상기 복사열 차단부재는,내부에 상기 가스유로와 연통하는 차단공간이 형성되며 상하로 적층되는복수의플레이트포함하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. 제 4 항에 있어서,상기 복사열 차단부재는,내부에 상기 가스유로와 연통하는 차단공간이 형성되며 상하로 적층되는복수의플레이트포함하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항6] 제 5 항에 있어서,상기 복수의 플레이트는, 내부에 상기 가스유로와 연통되는 차단공간이 마련되고, 상기 샤프트가 회전가능하게 관통하는 제 1 관통개구가 마련된 차단본체; 및상기 가스유로와 연통되게 상기 차단본체의 상부에 적층되는 구조를 가진 복수의 적층부로 이루어지며, 상기 가스유로에서 토출된 냉각가스가 상기 차단본체와 상기 복수의 적층부의 내부를 순차적으로 유동하면서, 상기 샤프트와 상기 복사열 차단부재를 냉각시키는구조가진것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. 제 5 항에 있어서,상기 복수의 플레이트는, 내부에 상기 가스유로와 연통되는 차단공간이 마련되고, 상기 샤프트가 회전가능하게 관통하는 제 1 관통개구가 마련된 차단본체; 및상기 가스유로와 연통되게 상기 차단본체의 상부에 적층되는 구조를 가진 복수의 적층부로 이루어지며, 상기 가스유로에서 토출된 냉각가스가 상기 차단본체와 상기 복수의 적층부의 내부를 순차적으로 유동하면서, 상기 샤프트와 상기 복사열 차단부재를 냉각시키는구조가진것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항7] 제 6 항에 있어서,상기 차단본체의 외주면, 상기 제 1 적층부의 외주면과 상기 제 2 적층부의 외주면에는 복수의 통공이 마련되고, 상기 복수의 통공은 상기 제 1 차단공간, 상기 제 2 차단공간과 상기 제 3 차단공간 내로 유입된 상기 냉각가스와의접촉면적증대시키는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. 제 6 항에 있어서,상기 차단본체의 외주면, 상기 복수의 적층부의 외주면에는 복수의 통공이 마련되고, 상기 복수의 통공은 상기 복수의 플레이트의 각각의 상기 차단공간 내로 유입된 상기 냉각가스와의접촉면적증대시키는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항8] 제 1 항에 있어서,상기 복사열 차단부재는세라믹 재질로이루어진것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. 제 1 항에 있어서,상기 복사열 차단부재는세라믹 재질로이루어진것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. [청구항9] 제 1 항에 있어서,상기 샤프트와 상기 씨일플랜지 사이에는 상기 히터블럭의 복사열이 상기 샤프트를 통해 상기 씰링부로 전달되는 것을 방지하는열전달방지부재더욱구비하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치. 제 1 항에 있어서,상기 샤프트와 상기 씨일플랜지 사이에는 상기 히터블럭의 복사열이 상기 샤프트를 통해 상기 씰링부로 전달되는 것을 방지하는열전달방지부재더욱구비하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.