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박막증착장치

uuid
a6732fd5-c0e1-5d11-89e3-5b9e5810a131
출원번호
1020130018477
출원연도
2013
IPC
C23C
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제1항에 있어서,상기 기판지지부는,상기 기판이 안착되는 본체부와,상기 본체부의 양측 중 적어도 일측에 결합되며, 상기 기판의 인입 또는 인출 시 상기 본체부 하부로 이동하는 날개부포함하는박막증착장치. [청구항3] 제2항에 있어서,체부는 가이드부를 포함하며, 상기 날개부는 상기 가이드부를 따라 상기 본체부하부이동하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항4] 제2항에 있어서,상기 기판지지부가 상기 기판의 인입 또는 인출을 위해 이동할 때, 상기 날개부 일단이 맞닿아 상기 날개부를 상기 본체부 하부로 밀어내리는 스톱퍼더 포함하는박막증착장치. [청구항5] 제1항에 있어서,상기 기판이 안착되는 본체부와,상기 본체부의 양측 중 적어도 일측에 결합되며, 상기 기판의 인입 또는 인출 시 하부로 회동하는 날개부포함하는박막증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
박막증착장치의 기판지지부 내에서 날개부가 본체부 하부로 이동하기 위해 필요한 구성 요소와 그 구체적인 이동 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    기판지지부의 구성 요소와 날개부의 이동 메커니즘을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    기판지지부는 본체부와 날개부를 포함하며, 날개부는 가이드부를 포함하는 체부에 의해 안내된다.

    • 상기 기판지지부는,상기 기판이 안착되는 본체부와,상기 본체부의 양측 중 적어도 일측에 결합되며, 상기 기판의 인입 또는 인출 시 상기 본체부 하부로 이동하는 날개부포함하는
    • 체부는 가이드부를 포함하며, 상기 날개부는 상기 가이드부를 따라 상기 본체부하부이동하는것
  3. 3근거 선택evidence_selection

    날개부의 이동 경로를 결정하는 가이드부와 이동을 유도하는 스톱퍼에 관한 정보를 선택한다.

    • 상기 날개부는 상기 가이드부를 따라 상기 본체부하부이동하는것
    • 상기 날개부 일단이 맞닿아 상기 날개부를 상기 본체부 하부로 밀어내리는 스톱퍼더 포함
  4. 4논리 통합logical_integration

    날개부는 가이드부를 따라 이동하며, 스톱퍼가 날개부 일단에 맞닿아 본체부 하부로 밀어내는 방식으로 동작한다.

    • 상기 날개부는 상기 가이드부를 따라 상기 본체부하부이동하는것
    • 상기 날개부 일단이 맞닿아 상기 날개부를 상기 본체부 하부로 밀어내리는 스톱퍼
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    날개부의 이동을 위해 가이드부와 스톱퍼가 필요하며, 가이드부를 따라 이동하거나 스톱퍼에 의해 밀려 내려가는 구조임을 도출한다.

    • 상기 날개부는 상기 가이드부를 따라 상기 본체부하부이동하는것
    • 상기 날개부 일단이 맞닿아 상기 날개부를 상기 본체부 하부로 밀어내리는 스톱퍼
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.

    • 상기 날개부는 상기 가이드부를 따라 상기 본체부하부이동하는것
    • 상기 날개부 일단이 맞닿아 상기 날개부를 상기 본체부 하부로 밀어내리는 스톱퍼
근거 (evidence)
  • 상기 기판지지부는,상기 기판이 안착되는 본체부와,상기 본체부의 양측 중 적어도 일측에 결합되며, 상기 기판의 인입 또는 인출 시 상기 본체부 하부로 이동하는 날개부포함하는
  • 체부는 가이드부를 포함하며, 상기 날개부는 상기 가이드부를 따라 상기 본체부하부이동하는것
  • 상기 날개부는 상기 가이드부를 따라 상기 본체부하부이동하는것
  • 상기 날개부 일단이 맞닿아 상기 날개부를 상기 본체부 하부로 밀어내리는 스톱퍼더 포함
  • 상기 날개부 일단이 맞닿아 상기 날개부를 상기 본체부 하부로 밀어내리는 스톱퍼
최종 답변 (final_answer)
날개부가 본체부 하부로 이동하기 위해서는 가이드부를 포함하는 체부와 스톱퍼가 필요하다. 날개부는 가이드부를 따라 본체부 하부로 이동하며, 기판의 인입 또는 인출 시 날개부 일단이 스톱퍼와 맞닿아 날개부를 본체부 하부로 밀어내리는 방식으로 이동한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판지지부는 본체부와 날개부로 구성되며, 날개부는 가이드부를 따라 이동하거나 스톱퍼에 의해 본체부 하부로 밀려 내려가는 구조를 가진다.