게이트 밸브 및 그를 구비하는 진공처리장치

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 판형 밀폐부재에는 상기 잔류 공기 제거용 체결부재가 자리 배치되는다수의자리홈형성되는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 자리홈은 상기 판형 밀폐부재의 일측 단부로부터 중앙 영역을 향해 절취된 절취부에 의해형성되는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항4] 제1항에 있어서,상기 판형 밀폐부재에 이웃되게 상기 제1 블레이드에 결합되며, 상기 제1 블레이드가 상기 제1 진공챔버에 접촉되어 마모되는 것을 저지시키는보호블록더포함하는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제1항에 있어서,상기 판형 밀폐부재에 이웃되게 상기 제1 블레이드에 결합되며, 상기 제1 블레이드가 상기 제1 진공챔버에 접촉되어 마모되는 것을 저지시키는보호블록더포함하는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항5] 제4항에 있어서,상기 보호블록은 피크(peek)재질제작되는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제4항에 있어서,상기 보호블록은 피크(peek)재질제작되는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항6] 제4항에 있어서,상기 보호블록은 상기 판형 밀폐부재의 둘레 방향을 따라 이격 간격을 두고다수개배치되는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제4항에 있어서,상기 보호블록은 상기 판형 밀폐부재의 둘레 방향을 따라 이격 간격을 두고다수개배치되는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항7] 제4항에 있어서,상기 보호블록은 상기 제1 블레이드의 표면에서상기판형밀폐부재의바깥쪽배치되는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제4항에 있어서,상기 보호블록은 상기 제1 블레이드의 표면에서상기판형밀폐부재의바깥쪽배치되는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항8] 제4항에 있어서,상기 보호블록의 돌출 높이는상기잔류공기제거용체결부재의돌출 높이형성되는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제4항에 있어서,상기 보호블록의 돌출 높이는상기잔류공기제거용체결부재의돌출 높이형성되는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항9] 제1항에 있어서,상기 잔류 공기 제거용 체결부재의 내부에는 잔류 공기 제거홀이 형성되며,상기 잔류 공기 제거용 체결부재의 돌출 높이는상기제1블레이드의표면형성되는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제1항에 있어서,상기 잔류 공기 제거용 체결부재의 내부에는 잔류 공기 제거홀이 형성되며,상기 잔류 공기 제거용 체결부재의 돌출 높이는상기제1블레이드의표면형성되는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항10] 제1항에 있어서,상기 밸브 챔버는 상기 제1 진공챔버의 반대편에 제2 진공 챔버가 배치되어 상기 제1 및 제2 진공 챔버 사이에 개재되는역압대응형밸브챔버인것을특징으로 하는게이트 밸브. 제1항에 있어서,상기 밸브 챔버는 상기 제1 진공챔버의 반대편에 제2 진공챔버가 배치되어 상기 제1 및 제2 진공챔버 사이에 개재되는역압대응형밸브챔버인것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항11] 제10항에 있어서,상기 제2 진공챔버의 개구부와 연통되는 상기 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 배치되어 상기 제2 개구부를 개폐하는 제2 블레이드(blade);상기 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 결합되고 상기 제2 블레이드가 접촉 가압되는 피크 스토퍼(peek stopper); 및상기 피크 스토퍼에 마련되어 상기 피크 스토퍼에 잔류 가능한 잔류 공기(air)를 제거하는피크스토퍼용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제10항에 있어서,상기 제2 진공챔버의 개구부와 연통되는 상기 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 배치되어 상기 제2 개구부를 개폐하는 제2 블레이드(blade);상기 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 결합되고 상기 제2 블레이드가 접촉 가압되는 피크 스토퍼(peek stopper); 및상기 피크 스토퍼에 마련되어 상기 피크 스토퍼에 잔류 가능한 잔류 공기(air)를 제거하는피크스토퍼용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항12] 제11항에 있어서,상기 피크 스토퍼에는 상기 제2 블레이드와의 볼트 결합을 위한 다수의 볼트공이 형성되며,상기 피크 스토퍼용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 스토퍼 중 적어도 어느 하나에 마련되어 상기 다수의 볼트공 내의 잔류 공기를 제거하는피크스토퍼용공기홀인것을특징으로 하는게이트 밸브. 제11항에 있어서,상기 피크 스토퍼에는 상기 제2 블레이드와의 볼트 결합을 위한 다수의 볼트공이 형성되며,상기 피크 스토퍼용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 스토퍼 중 적어도 어느 하나에 마련되어 상기 다수의 볼트공 내의 잔류 공기를 제거하는피크스토퍼용공기홀인것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항13] 제12항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 피크 스토퍼의 외벽에서 상기 다수의 볼트공을 향해 관통되어상기다수의볼트공내의잔류공기제거하는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제12항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 피크 스토퍼의 외벽에서 상기 다수의 볼트공을 향해 관통되어상기다수의볼트공내의잔류공기제거하는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항14] 제12항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 다수의 볼트공 모두에 연통되게 일체로 마련되거나 상기 다수의 볼트공에 하나씩 대응되게 마련되며,상기 제2 블레이드가 접촉 가압되는 상기 피크 스토퍼의 표면은 경사진경사면형성하는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제12항에 있어서,상기 피크 스토퍼용 공기빼기홀은 상기 다수의 볼트공 모두에 연통되게 일체로 마련되거나 상기 다수의 볼트공에 하나씩 대응되게 마련되며,상기 제2 블레이드가 접촉 가압되는 상기 피크 스토퍼의 표면은 경사진경사면형성하는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항15] 제11항에 있어서,상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드를 상호간 접근 또는 이격 구동시키는 푸시/풀 실린더(push/pull cylinder);상기 제2 블레이드와 상기 푸시/풀 실린더 사이에 배치되며, 상기 제2 블레이드를 향한 면에 피크 실링부(peek sealing part)가 마련되는 푸시 블록(push block); 및상기 푸시 블록에 마련되며, 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이에 잔류 가능한 공기(air)를 제거하는푸시블록용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제11항에 있어서,상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드를 상호간 접근 또는 이격 구동시키는 푸시/풀 실린더(push/pull cylinder);상기 제2 블레이드와 상기 푸시/풀 실린더 사이에 배치되며, 상기 제2 블레이드를 향한 면에 피크 실링부(peek sealing part)가 마련되는 푸시 블록(push block); 및상기 푸시 블록에 마련되며, 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이에 잔류 가능한 공기(air)를 제거하는푸시블록용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항16] 제15항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는게이트 밸브. 제15항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항17] 제16항에 있어서,상기 피크 실링부는 상기 제2 블레이드를 향한 상기 푸시 블록의 표면에서 지름이 서로 다르게 다수 개 마련되며,상기 푸시 블록용 공기빼기홀은 다수 개의 상기 피크 실링부 모두에 그 둘레 방향을 따라다수개마련되는것을특징으로 하는게이트 밸브. 제16항에 있어서,상기 피크 실링부는 상기 제2 블레이드를 향한 상기 푸시 블록의 표면에서 지름이 서로 다르게 다수 개 마련되며,상기 푸시 블록용 공기빼기홀은 다수 개의 상기 피크 실링부 모두에 그 둘레 방향을 따라다수개마련되는것을특징으로 하는게이트 밸브. [청구항19] 제18항에 있어서,상기 판형 밀폐부재에는 상기 잔류 공기 제거용 체결부재가 자리 배치되는 다수의 자리홈이 형성되며,상기 자리홈은 상기 판형 밀폐부재의 일측 단부로부터 중앙 영역을 향해 절취된 절취부에 의해형성되는것을특징으로 하는진공처리장치. 제18항에 있어서,상기 판형 밀폐부재에는 상기 잔류 공기 제거용 체결부재가 자리 배치되는 다수의 자리홈이 형성되며,상기 자리홈은 상기 판형 밀폐부재의 일측 단부로부터 중앙 영역을 향해 절취된 절취부에 의해형성되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항20] 제18항에 있어서,상기 판형 밀폐부재에 이웃되게 상기 제1 블레이드에 결합되며, 상기 제1 블레이드가 상기 제1 진공챔버에 접촉되어 마모되는 것을 저지시키는보호블록더포함하는것을특징으로 하는진공처리장치. 제18항에 있어서,상기 판형 밀폐부재에 이웃되게 상기 제1 블레이드에 결합되며, 상기 제1 블레이드가 상기 제1 진공챔버에 접촉되어 마모되는 것을 저지시키는보호블록더포함하는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항21] 제20항에 있어서,상기 보호블록은 상기 판형 밀폐부재의 둘레 방향을 따라 이격 간격을 두고 다수 개 배치되며,상기 보호블록은 상기 제1 블레이드의 표면에서 상기 판형 밀폐부재의 바깥쪽에 배치되며,상기 보호블록의 돌출 높이는상기잔류공기제거용체결부재의돌출 높이형성되는것을특징으로 하는진공처리장치. 제20항에 있어서,상기 보호블록은 상기 판형 밀폐부재의 둘레 방향을 따라 이격 간격을 두고 다수 개 배치되며,상기 보호블록은 상기 제1 블레이드의 표면에서 상기 판형 밀폐부재의 바깥쪽에 배치되며,상기 보호블록의 돌출 높이는상기잔류공기제거용체결부재의돌출 높이형성되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항22] 제18항에 있어서,상기 잔류 공기 제거용 체결부재의 내부에는 잔류 공기 제거홀이 형성되며,상기 잔류 공기 제거용 체결부재의 돌출 높이는상기제1블레이드의표면형성되는것을특징으로 하는진공처리장치. 제18항에 있어서,상기 잔류 공기 제거용 체결부재의 내부에는 잔류 공기 제거홀이 형성되며,상기 잔류 공기 제거용 체결부재의 돌출 높이는상기제1블레이드의표면형성되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항23] 제18항에 있어서,상기 제1 진공챔버의 반대편에 배치되는 제2 진공챔버의 개구부와 연통되는 상기 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 배치되어 상기 제2 개구부를 개폐하는 제2 블레이드(blade);상기 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 결합되고 상기 제2 블레이드가 접촉 가압되는 피크 스토퍼(peek stopper); 및상기 피크 스토퍼에 마련되어 상기 피크 스토퍼에 잔류 가능한 잔류 공기(air)를 제거하는피크스토퍼용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는진공처리장치. 제18항에 있어서,상기 제2 진공챔버의 개구부와 연통되는 상기 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 배치되어 상기 제2 개구부를 개폐하는 제2 블레이드(blade);상기 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 결합되고 상기 제2 블레이드가 접촉 가압되는 피크 스토퍼(peek stopper); 및상기 피크 스토퍼에 마련되어 상기 피크 스토퍼에 잔류 가능한 잔류 공기(air)를 제거하는피크스토퍼용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항24] 제23항에 있어서,상기 피크 스토퍼에는 상기 제2 블레이드와의 볼트 결합을 위한 다수의 볼트공이 형성되며,상기 피크 스토퍼용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 스토퍼 중 적어도 어느 하나에 마련되어 상기 다수의 볼트공 내의 잔류 공기를 제거하는피크스토퍼용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. 제23항에 있어서,상기 피크 스토퍼에는 상기 제2 블레이드와의 볼트 결합을 위한 다수의 볼트공이 형성되며,상기 피크 스토퍼용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 스토퍼 중 적어도 어느 하나에 마련되어 상기 다수의 볼트공 내의 잔류 공기를 제거하는피크스토퍼용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항25] 제23항에 있어서,상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드를 상호간 접근 또는 이격 구동시키는 푸시/풀 실린더(push/pull cylinder);상기 제2 블레이드와 상기 푸시/풀 실린더 사이에 배치되며, 상기 제2 블레이드를 향한 면에 피크 실링부(peek sealing part)가 마련되는 푸시 블록(push block); 및상기 푸시 블록에 마련되며, 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이에 잔류 가능한 공기(air)를 제거하는푸시블록용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는진공처리장치. 제23항에 있어서,상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드 사이에 배치되어 상기 제1 블레이드와 상기 제2 블레이드를 상호간 접근 또는 이격 구동시키는 푸시/풀 실린더(push/pull cylinder);상기 제2 블레이드와 상기 푸시/풀 실린더 사이에 배치되며, 상기 제2 블레이드를 향한 면에 피크 실링부(peek sealing part)가 마련되는 푸시 블록(push block); 및상기 푸시 블록에 마련되며, 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이에 잔류 가능한 공기(air)를 제거하는푸시블록용공기제거부더포함하는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항26] 제25항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치. 제25항에 있어서,상기 푸시 블록용 공기제거부는 상기 제2 블레이드와 상기 피크 실링부 사이 공간 내의 잔류 공기를 제거하는푸시블록용공기홀인것을특징으로 하는진공처리장치.