문맥 (context)
[청구항3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 세정액nan은이소프로필알코올인것을특징으로 하는마스크 세정방법
[청구항5]
세정액으로 마스크를 세정하는 세정장치에 있어서,
세정될 마스크가 배치될 세정 챔버와
상기 세정액을 마스크에 분무하기 위한 분사구를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 세정장치
[청구항6]
제5항에 있어서,상기 분사구는 마스크의 표면부를 향하여세정액분사하는것을특징으로 하는마스크 세정장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
마스크 세정장치는 어떠한 구성 요소로 이루어져 있으며, 분사구는 어떠한 방식으로 동작하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation마스크 세정장치의 구성 요소와 분사구의 구체적인 동작 방식을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 5항과 6항에서 장치의 구성과 분사구의 기능을 추출한다.
- 세정될 마스크가 배치될 세정 챔버
- 상기 세정액을 마스크에 분무하기 위한 분사구
- 상기 분사구는 마스크의 표면부를 향하여세정액분사
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3근거 선택
evidence_selection장치의 구성 요소인 세정 챔버와 분사구, 그리고 분사구의 동작인 표면부 향 분사 정보를 선택한다.
- 세정 챔버
- 분사구
- 마스크의 표면부를 향하여세정액분사
-
4논리 통합
logical_integration세정 챔버는 마스크가 놓이는 곳이고, 분사구는 세정액을 뿌리는 도구이며, 이 분사구는 마스크 표면을 향한다는 점을 결합한다.
- 세정될 마스크가 배치될 세정 챔버
- 상기 세정액을 마스크에 분무하기 위한 분사구
- 상기 분사구는 마스크의 표면부를 향하여세정액분사
-
5결론 도출
conclusion_formulation장치는 세정 챔버와 분사구로 구성되며, 분사구는 마스크의 표면부를 향해 세정액을 분사한다.
- 세정 챔버와 상기 세정액을 마스크에 분무하기 위한 분사구를 구비
- 상기 분사구는 마스크의 표면부를 향하여세정액분사
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 세정될 마스크가 배치될 세정 챔버
- 상기 세정액을 마스크에 분무하기 위한 분사구
- 상기 분사구는 마스크의 표면부를 향하여세정액분사
- 세정 챔버
- 분사구
- 마스크의 표면부를 향하여세정액분사
- 세정 챔버와 상기 세정액을 마스크에 분무하기 위한 분사구를 구비
최종 답변 (final_answer)
마스크 세정장치는 세정될 마스크가 배치되는 세정 챔버와 세정액을 마스크에 분무하기 위한 분사구를 포함한다. 이때 분사구는 마스크의 표면부를 향하여 세정액을 분사하는 방식으로 동작한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
마스크 세정장치는 마스크가 놓이는 챔버와 세정액을 뿌려주는 분사구로 구성되며, 분사구는 마스크 표면을 직접 겨냥하여 세정액을 분사한다.