화학기상 증착장치

[청구항2] 제1 항에 있어서,상기 퍼지가스 유도유로는 상기 서셉터와 접하는 상기 차단벽의 접촉면으로 개방되는 제1 개구부;및 상기 제1 개구부와 연통되며, 상기 배기관을 향해 상기 차단벽의 측면으로 개방되는제2개구부포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제1 항에 있어서,상기 퍼지가스 유도유로는 상기 서셉터와 접하는 상기 차단벽의 접촉면으로 개방되는 제1 개구부;및 상기 제1 개구부와 연통되며, 상기 배기관을 향해 상기 차단벽의 측면으로 개방되는제2개구부포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항3] 제2 항에 있어서,상기 배기관은 상기 챔버의 하부벽을 관통하며, 상기 퍼지가스 유도유로는 중심축이 상기 배기관을 향해 하향 경사지게 형성되는 것을특징으로하는하는화학기상 증착장치. 제2 항에 있어서,상기 배기관은 상기 챔버의 하부벽을 관통하며, 상기 퍼지가스 유도유로는 중심축이 상기 배기관을 향해 하향 경사지게 형성되는 것을특징으로하는하는화학기상 증착장치. [청구항4] 제2 항에 있어서,셉터의 일면 또는 상기 차단벽의 접촉면 중어느 하나로부터 돌출되어 상기 제1 개구부를 지난 상기 퍼지가스를 상기 제1 개구부로 안내하는누출방지턱더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제2 항에 있어서,셉터의 일면 또는 상기 차단벽의 접촉면 중어느 하나로부터 돌출되어 상기 제1 개구부를 지난 상기 퍼지가스를 상기 제1 개구부로 안내하는누출방지턱더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항5] 제4 항에 있어서,셉터의 일면 또는 상기 차단벽의 접촉면 중어느 하나에 상기 누출방지턱이 삽입되는누출방지홈형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제4 항에 있어서,셉터의 일면 또는 상기 차단벽의 접촉면 중어느 하나에 상기 누출방지턱이 삽입되는누출방지홈형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항6] 제1 항에 있어서,상기 퍼지가스 공급부는상기 챔버를 관통하여 상기 차폐공간에 연통되는 퍼지가스 공급관; 상기 퍼지가스 공급관에 연결되며, 상기 퍼지가스가 저장되는 퍼지가스 탱크;및상기 퍼지가스 탱크에 연결되어 상기 퍼지가스 탱크에 저장된 상기 퍼지가스를 상기 퍼지가스 공급관을 통해 상기 차폐공간으로 공급하는공급펌프포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제1 항에 있어서,상기 퍼지가스 공급부는상기 챔버를 관통하여 상기 차폐공간에 연통되는 퍼지가스 공급관; 상기 퍼지가스 공급관에 연결되며, 상기 퍼지가스가 저장되는 퍼지가스 탱크;및상기 퍼지가스 탱크에 연결되어 상기 퍼지가스 탱크에 저장된 상기 퍼지가스를 상기 퍼지가스 공급관을 통해 상기 차폐공간으로 공급하는공급펌프포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항7] 제1 항에 있어서,상기 퍼지가스로는질소가스를 포함하는불활성가스사용하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제1 항에 있어서,상기 퍼지가스로는질소가스를 포함하는불활성가스사용하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.