슬릿 밸브

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 제1 전도부는, 상기 슬릿개폐유닛과 함께 이동하도록 상기 슬릿개폐유닛에 결합되며,상기 제2 전도부는, 상기 밸브챔버의 내측벽결합되는것을특징으로 하는슬릿 밸브. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 제1 전도부는,상기 제2 전도부에 접촉되는 접지부; 및상기 접지부를 지지하며 상기 슬릿개폐유닛에 결합되는 지지블럭포함하는슬릿 밸브. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 제2 전도부는, 상기 밸브챔버의 내측벽에 돌출되게 결합되며,상기 접지부는, 상기 제2 전도부의 표면을 따라 구름접촉되는 접촉롤러포함하는슬릿 밸브. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 접촉롤러는, 양단부에서 중심부로 갈수록 단면적이 작아져 내측으로 오목한 접촉면을 형성하며,상기 제2 전도부는,상기 접촉롤러에 접촉 가능하도록 평단면이 아크(arc)형상마련되는것을특징으로 하는슬릿 밸브. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 슬릿개폐유닛는,상기 밸브챔버 내에서 상하로 구동되는 밸브블럭;상기 밸브블럭에 수평 이동가능하게 결합되어 상기 슬릿과 연통되는 상기 밸브챔버의 개구부를 폐쇄하는 밸브 블레이드를 포함하며,상기 지지블럭은, 상기 밸브블럭에 결합되는 결합플레이트; 및상기 결합플레이트의 양단부에서 절곡 연장되어 상기 접촉롤러의 양단부를 회전가능하게 지지하는 지지플레이트포함하는슬릿 밸브. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 제1 전도부 및 상기 제2 전도부 중적어도 어느 하나를 서로 접촉되는 방향으로 가압하는 가압부더 포함하는슬릿 밸브. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 가압부는,상기 지지블럭이 상대 이동가능하도록 상기 결합플레이트를 관통하여 상기 밸브블럭에 결합되는 연결핀; 및상기 결합플레이트와 상기 밸브블럭 사이에 배치되어 상기 지지블럭을 상기 제2 전도부에 대하여 탄성바이어스하는 탄성부재포함하는슬릿 밸브. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 연결핀은,미리 결정된 직경을 갖는 헤드부;상기 헤드부와 연결되고, 상기 헤드부 보다 작은 직경을 가지는 몸체부; 및상기 몸체부에 구비되며, 상기 몸체부의 말단부에서 상기 헤드부 방향으로 미리 결정된 길이만큼 형성되는 나사산부포함하는슬릿 밸브. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 결합플레이트에는, 상기 연결핀이 관통되는 가이드 홀이 형성되며,상기 밸브블럭에는 상기 나사산부와 나사결합되는나사홈형성되는것을특징으로 하는슬릿 밸브. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 탄성부재는,상기 연결핀에 삽입되되, 일단부가 상기 결합플레이트에 지지되고 타단부는 상기 밸브블럭에 지지되는 스프링포함하는슬릿 밸브. [청구항 12] 제11항에 있어서상기 밸브접지유닛은,상기 밸브챔버의 코너영역에각각하나씩마련되는것을특징으로 하는슬릿 밸브. [청구항 13] 제4항에 있어서,상기 접촉롤러는 전도성 고무재질로 마련되며, 상기 제2 전도부는 구리(cu)재질마련되는것을특징으로 하는슬릿 밸브. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 제2 전도부는 상기 밸브챔버의 내측벽이며, 상기 제1 전도부는, 상기 밸브챔버의 내측벽을 따라 구름접촉하는 접촉롤러; 및상기 슬릿개폐유닛에 결합되고 상기 접촉롤러를 지지하되 상기 접촉롤러를 탄성적으로 가압하는 롤러지지 가압부포함하는슬릿 밸브. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 롤러지지 가압부는,중공형상으로 마련되고 상기 슬릿개폐유닛에 결합되는 하우징;상기 접촉롤러를 회전가능하게 지지하며 상기 하우징을 관통하여 상기 하우징에 대하여 상대이동 가능하게 연결되는 롤러아암; 및상기 하우징 내부에 개재되고 상기 롤러아암을 상기 밸브챔버의 내측벽 방향으로 탄성바이어스하는 탄성부재포함하는슬릿 밸브. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 롤러아암은 상기 하우징 내에서 상기 탄성부재의 탄성 복원력에 의해 상기 하우징에 대해 상대 이동되는 가압플레이트;상기 가압플레이트에 연결되고 상기 하우징 외측으로 연장되는 커넥팅로드; 및상기 커넥팅로드에 연결되고 상기 접촉롤러를 회전가능하게 지지하는 롤러지지부포함하는슬릿 밸브.