문맥 (context)
[청구항1]
반도체 기판을 제조하기 위해 공정을 수행하는 장치에 있어서,
공정챔버와;
플레이트, 상기 플레이트와의 사이에 소정의 밀폐된 공간이 형성되도록 상기 플레이트 상부에 위치되며 상기 기판이 놓여지는 서셉터, 그리고 상기 공간내에 위치되며 상기 기판을 가열하는 히터를 구비하고 상기 공정챔버내에 위치되는 척과
상기 척에 장착된 상기 기판으로 공정가스를 분사하는 가스분사부를 구비하되
상기 척은 상기 공정가스가 상기 공간사이로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 공간을 실링하는 링을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치
[청구항2]
제 1항에 있어서,셉터와 접촉되는 상기 플레이트의 가장자리부는 상기 공정가스에 의해 식각되는 것을 방지하기 위해세라믹을재질이루어지는것을특징으로 하는반도체 제조 장치.
[청구항3]
제 1항에 있어서,상기 링은 메탈링인것을특징으로 하는반도체 제조 장치.
[청구항4]
제 1항에 있어서,상기 챔버는 화학기상증착공정이 수행되는챔버인것을특징으로 하는반도체 제조 장치.
[청구항5]
반도체 기판을 제조하기 위해 공정을 수행하는 장치에 있어서,
공정챔버와;
플레이트, 상기 플레이트와 접촉되어 상기 플레이트의 둘레를 감싸는 세라믹 링, 상기 플레이트와의 사이에 소정의 밀폐된 공간이 형성되도록 상기 세라믹 링과 접촉되어 상기 플레이트 상부에 위치되며 상기 기판이 놓여지는 서셉터, 그리고 상기 공간내에 위치되며 상기 기판을 가열하는 히터를 구비하고, 상기 공정 챔버내에 위치되는 척을 구비하되,
상기 척은 상기 공정가스가 상기 공간사이로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 공간을 실링하는 메탈링을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 제조 장치의 척에 구비된 링은 무엇이며, 해당 링이 수행하는 역할은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation척에 포함된 링의 명칭과 그 기능을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 척이 링을 구비하고 있다는 점과 링의 역할을 추출한다.
- 상기 척은 상기 공정가스가 상기 공간사이로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 공간을 실링하는 링을 구비하는
-
3근거 선택
evidence_selection링의 구체적인 종류를 명시한 청구항 3과 5의 내용을 확인한다.
- 상기 링은 메탈링인것을특징으로 하는
- 상기 척은 상기 공정가스가 상기 공간사이로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 공간을 실링하는 메탈링을 구비하는
-
4논리 통합
logical_integration링의 종류는 메탈링이며, 기능은 공정가스의 유입을 막기 위해 공간을 실링하는 것이다.
- 상기 링은 메탈링인것을특징으로 하는
- 상기 공정가스가 상기 공간사이로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 공간을 실링하는
-
5결론 도출
conclusion_formulation링은 메탈링이며, 공정가스가 공간 사이로 유입되는 것을 방지하기 위해 공간을 실링하는 역할을 한다.
- 상기 링은 메탈링인것을특징으로 하는
- 상기 공정가스가 상기 공간사이로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 공간을 실링하는
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 척은 상기 공정가스가 상기 공간사이로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 공간을 실링하는 링을 구비하는
- 상기 링은 메탈링인것을특징으로 하는
- 상기 척은 상기 공정가스가 상기 공간사이로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 공간을 실링하는 메탈링을 구비하는
- 상기 공정가스가 상기 공간사이로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 공간을 실링하는
최종 답변 (final_answer)
척에 구비된 링은 메탈링이며, 공정가스가 공간 사이로 유입되는 것을 방지하기 위해 해당 공간을 실링하는 역할을 수행한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
반도체 제조 장치의 척에는 메탈링이 장착되어 있으며, 이는 공정가스의 비정상적인 유입을 차단하기 위한 실링 기능을 담당한다.