반도체 도금 시스템

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 도금조는,상측이 개방된 원통형상이고, 내측 바닥면 중심에 도금액 공급관이 형성되며, 상측 원주면에 도금액 배출구가 형성되고, 상기 도금액 공급관 주위에전극설치되는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 도금조는,개방된 상측에 웨이퍼가비회전상태고정되는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 4] 제 2항에 있어서,상기 도금조는,개방된 상측에 웨이퍼가 회전할 수 있도록웨이퍼회전장치설치되는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 5] 제 1항에 있어서,상기 도금액 유도장치는,수직으로 세워진 파이프 형상이고, 그 출구의 내경면에 나선 유도돌기가 형성되는도금액분사노즐인것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 6] 제 5항에 있어서,유도돌기는,적어도 그 단면이 사각인 사각돌기, 그 단면이 둥근 둥근돌기, 그 단면이 삼각인 삼각돌기, 그 단면이 마름모꼴인 마름모꼴돌기, 그 단면이 둥글게 절곡된 절곡판돌기 및 이들의 조합 중 어느하나선택하여이루어지는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 7] 제 5항에 있어서,유도돌기는,절삭가공이나접합가공으로이루어지는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 8] 제 5항에 있어서,상기 도금액 분사노즐은,내부를 통과하는 도금액의 압력이 높아지도록 그 직경이 좁아지는 협폭부와, 상기 협폭부를 지난 도금액의 압력이 낮아지도록 그 직경이 넓어지는확폭부형성되는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 9] 제 8항에 있어서,상기 협폭부와 확폭부의 직경 변화가 도금액의 유동 거리에 비례하여 일정하게변화하는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 10] 제 8항에 있어서,상기 협폭부의 직경변화가 처음엔 급격하게 변하다가 나중엔 서서히 변하고,상기 확폭부의 직경변화가 처음엔 급격하게 변하다가나중서서히변하는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 11] 제 8항에 있어서,상기 협폭부와 확폭부의 직경 변화 형태를 조정하여도금액의유동형태제어하는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 12] 제 5항에 있어서,상기 도금액 분사 노즐의 내부에 나선 유도돌기가 형성되는나선막대설치되는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 13] 제 5항에 있어서,상기 도금액 분사 노즐의 내부에 내경면 및/또는 외경면에 나선 유도돌기가 형성되는내부노즐설치되는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 14] 제 1항에 있어서,상기 도금조에 설치되고, 상기 도금조 내부의 도금액의 소용돌이 흐름을 부분적으로 차단하는차단부재더포함하여이루어지는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 15] 제 1항에 있어서,상기 도금액 유도장치는,상기 도금조에 설치되는적어도하나이상프로펠러인것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 16] 제 15항에 있어서,상기 프로펠러는, 상기 도금액의 유동에 의해 자연 회전되도록 상기 도금조에 회전이 자유롭게베어링설치되는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 17] 제 15항에 있어서,상기 프로펠러는, 제어부의 회전신호에 따라 상기 모터에 의해회전하는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 18] 제 17항에 있어서,상기 프로펠러는, 상기 모터에 의해 회전하는 회전체와 테두리부가 맞물려돌아가는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 19] 제 15항에 있어서,상기 프로펠러는, 다층으로 설치되고,날개가 정방향으로 형성되는 정방향 프로펠러; 및상기 정방향 프로펠러 인근에 설치되고, 날개가 역방향으로 형성되는역방향프로펠러포함하여이루어지는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 20] 제 15항에 있어서,상기 도금액 유도장치는, 상기 반도체 대상물의 가운데부분에 대응되어 설치되는 가운데 대응 프로펠러;상기 가운데 대응 프로펠러에 회전신호를 인가하는 가운데 프로펠러 제어부;상기 반도체 대상물의 테두리부분에 대응되어 설치되는 테두리 대응 프로펠러; 및상기 테두리 대응 프로펠러에 회전신호를 인가하는테두리프로펠러제어부포함하여이루어지는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 21] 제 1항에 있어서,상기 도금액 유도장치는,도금액 분사 노즐 내부에 설치되는프로펠러인것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 22] 제 21항에 있어서,상기 프로펠러는, 상기 도금액의 유동에 의해 자연 회전되도록 상기 도금액 분사 노즐에 내부에 회전이 자유롭게베어링설치되는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 23] 제 21항에 있어서,상기 프로펠러는, 제어부의 회전신호에 따라 상기 모터에 의해회전하는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 24] 제 1항에 있어서,상기 도금액 유도장치는,수직으로 세워진 파이프 형상이고, 그 출구의 내경면에 나선 유도돌기가 형성되는 도금액 분사 노즐; 및상기 도금액 분사 노즐의 상방에 설치되는프로펠러포함하여이루어지는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 25] 제 1항에 있어서,상기 도금액 유도장치에 의해 유도되는 상기 도금액의 소용돌이 형태가 나선형태이고, 상기 나선형태의 진행방향이 x축, y축, z축 방향으로순간속도좌표근접하는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템. [청구항 29] 제 28항에 있어서,상기 프로펠러는, 상기 도금액의 유동에 의해 자연 회전되도록 상기 도금조에 회전이 자유롭게베어링설치되는것을특징으로 하는반도체 도금 시스템.