스퍼터링율의균등성을증가시키기위한스퍼터증착장치및방법

[청구항2] 제1항에 있어서,의 상기 테이퍼면이 상기 타겟표면의 나머지 중앙부분에 대하여35도내지70도각도로경사져있는스퍼터 증착장치. 제 1항에 있어서,의 상기 테이퍼면이 상기 타겟 표면의 나머지 중앙 부분에 대하여40도내지60도각도로경사져있는스퍼터 증착 장치. [청구항3] 제 1항에 있어서,의 상기 테이퍼면이, 상기 타겟 표면의 나머지 중앙 부분의 평면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 상기 타겟의 단부 모서리를 둘러싸는 원형 시일드로부터 5mm 내지 20mm 떨어진 거리에서 상기 타겟 표면의 나머지 중앙 부분시작되는스퍼터 증착 장치. 제2항에 있어서,의 상기 테이퍼면이 상기 타겟표면의 나머지 중앙부분에 대하여40도내지60도각도로경사져있는스퍼터 증착장치. [청구항4] 제 1항에 있어서,의 상기 테이퍼면이 상기 타겟면의 나머지 중앙 부분의 평면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 상기 타겟의 단부 모서리를 둘러싸는 원형 시일드로부터 10mm 내지 15mm 떨어진 거리에서 상기 타겟 표면의 나머지 중앙 부분시작되는스퍼터 증착 장치. 제2항에 있어서,의 상기 테이퍼면이, 상기 타겟표면의 나머지 중앙부분의 평면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 상기 타겟의 단부모서리를 둘러싸는 원형시일드로부터 5mm 내지 20mm 떨어진 거리에서 상기 타겟표면의 나머지 중앙부분시작되는스퍼터 증착장치. [청구항5] 제2항에 있어서,의 상기 테이퍼면이, 상기 타겟표면의 나머지 중앙부분의 평면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 상기 타겟의 단부모서리를 둘러싸는 원형시일드로부터 10mm 내지 15mm 떨어진 거리에서 상기 타겟표면의 나머지 중앙부분시작되는스퍼터 증착장치. [청구항6] 제 5항에 있어서,의 상기 테이퍼면이 상기 타겟 표면의 상기 편평한 표면에 대하여40도내지60도각도로경사져있는스퍼터 증착 장치. [청구항7] 제6항에 있어서,의 상기 테이퍼면이 상기 타겟표면의 상기 편평한 표면에 대하여40도내지60도각도로경사져있는스퍼터 증착장치. 제 5항에 있어서,의 상기 테이퍼면이 상기 편평한 표면에 있는 상기 선을 따라서 측정하였을 때 10mm 내지 15mm 떨어진 거리에서 상기 시일드로부터 안쪽연장되는스퍼터 증착 장치. [청구항8] 제6항에 있어서,의 상기 테이퍼면이 상기 편평한 표면에 있는 상기 선을 따라서 측정하였을 때 10mm 내지 15mm 떨어진 거리에서 상기 시일드로부터 안쪽연장되는스퍼터 증착장치. 제 5항에 있어서,의 상기 테이퍼면이 상기 편평한 표면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 약 12.5mm 떨어진 거리에서 상기 시일드로부터 안쪽연장되는스퍼터 증착 장치. [청구항9] 제6항에 있어서,의 상기 테이퍼면이 상기 편평한 표면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 12.5mm 떨어진 거리에서 상기 시일드로부터 안쪽연장되는스퍼터 증착장치. [청구항10] 제 9항에 있어서,상기 제 1 테이퍼면이 상기 편평한 타겟 표면에 대하여35도내지70도각도로경사져있는스퍼터 증착 장치. [청구항11] 제10항에 있어서,상기 제1테이퍼면이 상기 편평한 타겟표면에 대하여35도내지70도각도경사져있는스퍼터 증착장치. 제 9항에 있어서,상기 제 1 테이퍼면이 상기 편평한 타겟 표면에 대하여40도내지60도각도로경사져있는스퍼터 증착 장치. [청구항12] 제 10항에 있어서,상기 제 1 테이퍼면이 상기 편평한 타겟 표면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 상기 원형의 중앙 스퍼터링 타겟 부분의 상기 외부 모서리를 둘러싸는 원형 시일드로부터 5mm 내지 20mm 떨어진 거리에서 상기 편평한 타겟 표면으로부터 시작되고, 상기 시일드로부터 1.5mm 내지 2.5mm의 거리연장되는스퍼터 증착 장치. 제10항에 있어서,상기 제1테이퍼면이 상기 편평한 타겟표면에 대하여40도내지60도각도로경사져있는스퍼터 증착장치. [청구항13] 제11항에 있어서,상기 제1테이퍼면이 상기 편평한 타겟표면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 상기 원형의 중앙스퍼터링 타겟부분의 상기 외부 모서리를 둘러싸는 원형시일드로부터 5mm 내지 20mm 떨어진 거리에서 상기 편평한 타겟표면으로부터 시작되고, 상기 시일드로부터 1.5mm 내지 2.5mm의 거리연장되는스퍼터 증착장치. 제 12항에 있어서,상기 제 1 테이퍼면이 상기 편평한 타겟 표면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 상기 원형의 중앙 스퍼터링 타겟 부분의 상기 외부 모서리를 둘러싸는 원형 시일드로부터 10mm 내지 15mm 떨어진 거리에서 상기 편평한 타겟 표면으로부터 시작되고, 상기 시일드로부터 1.5mm 내지 2.5mm의 거리연장되는스퍼터 증착 장치. [청구항14] 제13항에 있어서,상기 제1테이퍼면이, 상기 편평한 타겟표면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 상기 원형의 중앙스퍼터링 타겟부분의 상기 외부 모서리를 둘러싸는 원형시일드로부터 10mm 내지 15mm 떨어진 거리에서 상기 편평한 타겟표면으로부터 시작되고, 상기 시일드로부터 1.5mm 내지 2.5mm의 거리연장되는스퍼터 증착장치. 제 12항에 있어서,상기 제 2 테이퍼면이 상기 제 1 테이퍼면의 외부 모서리에 인접하여 시작되고, 상기 편평한 타겟 표면에 대하여70도내지85도각도로경사져있는스퍼터 증착 장치. [청구항15] 제13항에 있어서,상기 제2테이퍼면이 상기 제1테이퍼면의 외부 모서리에 인접하여 시작되고, 상기 편평한 타겟표면에 대하여70도내지85도각도로경사져있는스퍼터 증착장치. 제 12항에 있어서,상기 제 2 테이퍼면이 상기 제 1 테이퍼면의 외부 모서리에 인접하여 시작되고, 상기 편평한 타겟 표면에 대하여75도내지83도각도로경사져있는스퍼터 증착 장치. [청구항16] 제13항에 있어서,상기 제2테이퍼면이 상기 제1테이퍼면의 외부 모서리에 인접하여 시작되고, 상기 편평한 타겟표면에 대하여75도내지85도각도로경사져있는스퍼터 증착장치. 제 14항에 있어서,상기 제 2 테이퍼면이 상기 제 1 테이퍼면의 외부 모서리에서 시작되고, 상기 편평한 타겟 표면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 1.5mm 내지 2.5mm 떨어진 거리에서 상기 외부 장착 날개 부분연장되는스퍼터 증착 장치. [청구항17] 제15항에 있어서,상기 제2테이퍼면이 상기 제1테이퍼면의 외부 모서리에서 시작되고, 상기 편평한 타겟표면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 1.5mm 내지 2.5mm 떨어진 거리에서 상기 외부장착 날개 부분연장되는스퍼터 증착장치. [청구항18] 제 17항에 있어서,상기 제 1 테이퍼면이 상기 편평한 타겟 표면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 상기 원형 증앙 스퍼터링 타겟 부분의 상기 외부 모서리를 둘러싸는 원형 시일드로부터 10mm 내지 15mm 떨어진 거리에서 상기 편평한 타겟 표면으로부터 시작되고, 상기 시일드로부터 1.5 mm 내지 2.5mm의 거리연장되는스퍼터 증착 장치. [청구항19] 제18항에 있어서,상기 제1테이퍼면이, 상기 편평한 타겟표면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 상기 원형중앙 스퍼터링 타겟부분의 상기 외부 모서리를 둘러싸는 원형 시일드로부터 10mm 내지 15mm 떨어진 거리에서 상기 편평한 타겟표면으로부터 시작되고, 상기 시일드로부터 1.5mm 내지 2.5mm의 거리연장되는스퍼터 증착장치. 제 17항에 있어서,상기 제 2 테이퍼면에 상기 제 1 테이퍼면의 외부 테두리에서 시작하고, 상기 편평한 타겟 표면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 1.5mm 내지 2.5mm의 거리로 상기 외부 장착 날개 부분연장되는스퍼터 증착 장치. [청구항20] 제18항에 있어서,상기 제2테이퍼면이, 상기 제1테이퍼면의 외부테두리에서 시작하고, 상기 편평한 타겟표면에 있는 선을 따라서 측정하였을 때 1.5mm 내지 2.5mm의 거리로 상기 외부장착 날개부분연장되는스퍼터 증착장치.