문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,셉터와 상기 차폐막은서로 이격되는에피택셜 반응기.
[청구항3]
제 1 항에 있어서,상기 차폐막을 지지하는 차폐막 지지축과 상기 서셉터를 지지하는서셉터지지축동일한축지지되는에피택셜 반응기.
[청구항4]
제 1 항에 있어서,상기 차폐막의 하면부에 제공되는 차폐막 핀 안착부; 및상기 차폐막 핀 안착부에 걸리는 차폐막 핀포함되는에피택셜 반응기.
[청구항5]
제 1 항에 있어서,상기 차폐막은 상기 서셉터의 재질과 같은 재질사용하는에피택셜 반응기.
[청구항6]
제 5 항에 있어서,상기 차폐막에는 과열억제물질첨가되는에피택셜 반응기.
[청구항7]
제 1 항에 있어서,상기 차폐막에는 홀제공되는에피택셜 반응기.
[청구항8]
제 7 항에 있어서,상기 차폐막에 제공되는 홀은, 상기 서셉터에 제공되는 홀과 교차되는 방향연장되는에피택셜 반응기.
[청구항9]
제 7 항에 있어서,상기 차폐막에 제공되는 홀과 상기 서셉터에 제공되는 홀은, 상기 서셉터와 상기 차폐막이 만나는부분서로떨어져있는에피택셜 반응기.
[청구항10]
제 1 항에 있어서,셉터는 상기 차폐막지지되는에피택셜 반응기.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
에피택셜 반응기에서 차폐막에 제공되는 홀은 서셉터에 제공되는 홀과 어떠한 기하학적 관계 및 위치적 관계를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation차폐막의 홀과 서셉터의 홀 사이의 방향성 및 위치적 관계를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 8항과 9항에서 홀의 연장 방향과 위치 관계에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 차폐막에 제공되는 홀은, 상기 서셉터에 제공되는 홀과 교차되는 방향연장되는
- 상기 차폐막에 제공되는 홀과 상기 서셉터에 제공되는 홀은, 상기 서셉터와 상기 차폐막이 만나는부분서로떨어져있는
-
3근거 선택
evidence_selection홀의 방향을 설명하는 문구와 위치를 설명하는 문구를 선택한다.
- 교차되는 방향연장되는
- 서로떨어져있는
-
4논리 통합
logical_integration홀은 서로 교차하는 방향으로 연장되며, 서셉터와 차폐막의 접점 부근에서 서로 떨어져 배치된다는 점을 결합한다.
- 상기 차폐막에 제공되는 홀은, 상기 서셉터에 제공되는 홀과 교차되는 방향연장되는
- 상기 서셉터와 상기 차폐막이 만나는부분서로떨어져있는
-
5결론 도출
conclusion_formulation차폐막의 홀은 서셉터의 홀과 교차하는 방향으로 연장되며, 두 구성요소가 만나는 지점에서 서로 떨어져 있는 관계를 가진다.
- 교차되는 방향연장되는
- 서로떨어져있는
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 차폐막에 제공되는 홀은, 상기 서셉터에 제공되는 홀과 교차되는 방향연장되는
- 상기 차폐막에 제공되는 홀과 상기 서셉터에 제공되는 홀은, 상기 서셉터와 상기 차폐막이 만나는부분서로떨어져있는
- 교차되는 방향연장되는
- 서로떨어져있는
- 상기 서셉터와 상기 차폐막이 만나는부분서로떨어져있는
최종 답변 (final_answer)
차폐막에 제공되는 홀은 서셉터에 제공되는 홀과 교차되는 방향으로 연장되며, 서셉터와 차폐막이 만나는 부분에서 서로 떨어져 있는 관계를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
차폐막의 홀과 서셉터의 홀은 서로 교차하는 방향성을 가지며, 접합부에서 이격되어 배치된다.