유리 판 영역에서 코팅 제거 방법 및 장치

[청구항 18] 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 기재된 방법을 수행하기 위한 장치로서,- 상기 코팅이 제거될 기판(4)을 위한 지지 표면(2)과,- 하나 또는 복수 개의 플라즈마 소스(10)를 위한 운반체(8)와,- 상기 기판(4)을 이동하기 위한 디바이스(5)와,- 상기 플라즈마 소스(10)의 상기 운반체(8)를 이동하기 위한 디바이스를 포함하는, 수행 장치에 있어서,슬릿 단면 또는 슬릿 단면을 갖는 두 개의 플라즈마 소스(10) 또는 하나 또는 복수 개의 플라즈마 소스는 상기 플라즈마 소스를 위한상기운반체배치되는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 19] 제 18항에 있어서,상기 플라즈마 소스 또는 소스들(10)을 위한 상기 운반체(8)는 드라이브(drive)에 의해 수직 바(bar)(6)를 따라 상기 지지 표면(2) 앞에서 이동될 수있는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 20] 제 19항에 있어서,상기 수직 바(6)는 고정되거나 이동 가능한 방식으로상기장치설치되는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 21] 제 19항에 있어서,상기 플라즈마 소스 또는 소스들(10)을 위한 상기 운반체(8)는 상기 코팅이 제거될 상기 기판(4)의 평면에 수직인 축(16)을 중심으로 회전할 수있는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 22] 제 19항에 있어서,상기 플라즈마 소스 또는 소스들(10)을 위한 상기 운반체(8)는 상기 기판(4)의 평면에 수직으로 조절될 수있는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 23] 제 22항에 있어서,상기 플라즈마 소스 또는 소스들(10)을 위한 상기 운반체(8)는 상기 수직 바(6)에서 안내되는(guided) 지지 플레이트(support plate)(7)에 조절 가능하게설치되는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 24] 제 23항에 있어서,상기 지지 플레이트(support plate)(7) 상의 상기 운반체(8)는 상기 기판(4)의 평면에 수직인 축을 중심으로 선회될 수있는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 25] 제 23항에 있어서,상기 지지 플레이트(support plate)(7) 상의 상기 운반체(8)는 상기 기판(4)의 평면에 평행하게 모터를 통해 직선으로 조절될 수있는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 26] 제 18항에 있어서,상기 플라즈마 소스(10)는 상기 운반체(8) 상에서 서로나란히일렬배치되는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 27] 제 26항에 있어서,상기 지지 플레이트(support plate)(7) 상의 상기 운반체(8)는 인접한 플라즈마 소스(10)의 방향으로 조절될 수있는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 28] 제 18항에 있어서,이동 실드(20)는 상기 플라즈마 소스의 작업 영역 또는 상기 플라즈마가 상기 기판(4)과 코팅(22)에 접촉하는영역제공되는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 29] 제 28항에 있어서,상기 이동 실드(20)는 프레임 방식으로상기플라즈마의작업영역둘러싸는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 30] 제 28항에 있어서,상기 이동 실드는상기플라즈마소스함께안내되는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 31] 제 18항에 있어서,코팅(22)의 분리된 입자를 방출하기 위한, 흡입에 의해(by suction) 제거하기 위한(for discharging) 디바이스(24)는, 상기 플라즈마 소스의 작업 영역 또는 상기 플라즈마가 상기 기판(4)과 상기 코팅(22)에 접촉하는영역제공되는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 32] 제 28항에 있어서,디바이스(24)는 상기 이동 실드(20)에 결합되고상기이동실드함께안내되는것을특징으로 하는,수행 장치. [청구항 33] 제 18항에 있어서,상기 운반체는 상기 기판의 에지 또는 단부면에 수직 방향으로 상기 플라즈마를 편향(deflect)시키기 위해, 상기 기판 표면에 평행한 하나 또는 복수 개의 축을 중심으로 선회될 수있는것을특징으로 하는,수행 장치.