문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 전극 시트는 양단 부위들이 상기 지지부와 상기 단차부에 체결된 상태에서 중간 부위가 상기 샤워 헤드의 열팽창에 의해수평방향구성된것을특징으로 하는기판 처리 유닛.
제1항에 있어서,상기 전극 시트는 양단 부위들이 상기 지지부와 상기 단차부에 체결된 상태에서 중간 부위가 상기 샤워 헤드의 열팽창에 의해수평방향구성된것을특징으로 하는기판 처리 유닛.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 서포터는 상기 지지부의 상기 단차부와 접촉하는 부위에요철부갖는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
제1항에 있어서,상기 서포터는 상기 지지부의 상기 단차부와 접촉하는 부위에요철부갖는것을특징으로 하는기판 처리 유닛.
[청구항4]
제3항에 있어서,상기 요철부는절연물질로이루어진것을특징으로 하는기판 처리 유닛.
제3항에 있어서,상기 요철부는절연물질로이루어진것을특징으로 하는기판 처리 유닛.
[청구항5]
제1항에 있어서,상기 단차부의 깊이는 상기 지지부의 두께보다 큰 것특징으로 하는기판 처리 유닛.
제1항에 있어서,상기 단차부의 깊이는 상기 지지부의 두께보다 큰 것특징으로 하는기판 처리 유닛.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
전극 시트의 양단 부위가 지지부 및 단차부에 체결된 상태에서, 중간 부위가 수평 방향으로 구성되기 위해 작용하는 물리적 요인은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation전극 시트의 중간 부위가 수평 방향으로 구성되는 원인과 조건을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 전극 시트의 체결 상태와 중간 부위의 구성 방식을 추출한다.
- 상기 전극 시트는 양단 부위들이 상기 지지부와 상기 단차부에 체결된 상태에서 중간 부위가 상기 샤워 헤드의 열팽창에 의해수평방향구성된것
-
3근거 선택
evidence_selection수평 방향 구성을 유발하는 직접적인 원인인 '샤워 헤드의 열팽창'을 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 샤워 헤드의 열팽창에 의해수평방향구성된것
-
4논리 통합
logical_integration전극 시트의 양단이 지지부와 단차부에 고정(체결)되어 있다는 전제 조건 하에, 샤워 헤드가 열팽창을 일으키면 중간 부위가 수평으로 구성된다는 인과관계를 도출한다.
- 양단 부위들이 상기 지지부와 상기 단차부에 체결된 상태에서
- 상기 샤워 헤드의 열팽창에 의해수평방향구성된것
-
5결론 도출
conclusion_formulation전극 시트의 중간 부위가 수평 방향으로 구성되는 원인은 샤워 헤드의 열팽창이다.
- 상기 샤워 헤드의 열팽창에 의해수평방향구성된것
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합하도록 원인을 명확히 기술하여 답변을 생성한다.
- 상기 샤워 헤드의 열팽창
근거 (evidence)
- 상기 전극 시트는 양단 부위들이 상기 지지부와 상기 단차부에 체결된 상태에서 중간 부위가 상기 샤워 헤드의 열팽창에 의해수평방향구성된것
- 상기 샤워 헤드의 열팽창에 의해수평방향구성된것
- 양단 부위들이 상기 지지부와 상기 단차부에 체결된 상태에서
- 상기 샤워 헤드의 열팽창
최종 답변 (final_answer)
전극 시트의 중간 부위는 샤워 헤드의 열팽창에 의해 수평 방향으로 구성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
전극 시트의 양단이 지지부와 단차부에 체결되어 고정된 상태에서, 샤워 헤드가 열팽창을 일으킴으로써 전극 시트의 중간 부위가 수평 방향으로 구성된다.