문맥 (context)
[청구항 7]
진공용기와,
상기 진공용기의 처리실 내에 배치되어 그 상면에 플라즈마처리대상의 웨이퍼를 얹어 놓을 수 있는 하부 전극과,
상기 하부 전극에 바이어스 전위를 형성하기 위한 복수의 주파수의 바이어스전력을 공급하는 바이어스 인가기구와,
상기 처리실 내에 반응성 가스를 도입하는 가스 공급기구와,
상기 처리실 내의 가스압력을 조정하는 기구와,
상기 처리실 내에 플라즈마를 생성하기 위한 전자파 공급기구를 구비하는 플라즈마처리장치에 있어서,
상기 바이어스 인가기구가,
상기 복수의 주파수의 바이어스 전력의 출력비를 제어함으로써 웨이퍼에 입사하는 이온 에너지와 그 분포를 독립으로 변화하는 기구와,
플라즈마의 전류와 전압과 위상, 또는 임피던스를 검지함으로써 복수의 주파수의 바이어스 주파수에 대한 플라즈마 상태를 검지하는 기구와,
검지한 복수의 주파수의 바이어스 주파수에 대한 플라즈마 상태에 의하여 플라즈마처리의 종점을 판정하는 종점 판정기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마처리장치
[청구항 8]
제 7항에 있어서,상기 바이어스인가기구가,복수의 주파수를 발진하는 전원부와 상기 전원부로부터 상기 하부 전극에 공급되는 상기 복수의 주파수에 대응하는 정합기로 구성되고, 또한 복수의 주파수에 대한 임피던스 검지기, 또는 복수의 주파수에 대한 전류, 전압, 위상을 검지하는기구구비하는것을특징으로 하는플라즈마처리장치.
[청구항 9]
제 7항에 있어서,상기 바이어스인가기구로부터 인가되는 복수의 주파수의 바이어스 전력 중, 높은 주파수측의 바이어스 전력을 1 mhz 이상이고 100 mhz 이하 또는 상기 전자파 공급기구의 전자파의 주파수 이하로 하고,낮은 주파수측의 바이어스 전력을 100 khz이상미만으로한것을특징으로 하는플라즈마처리장치.
[청구항 10]
제 7항에 있어서,상기 전자파 공급기구에 전력을 공급하는 전원에 대하여 복수 이상의 정합점을 기록하고, 그 정합경로를 선택하여 정합시키는정합장치구비한것을특징으로 하는플라즈마처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마처리장치의 바이어스 인가기구가 웨이퍼에 입사하는 이온 에너지와 그 분포를 독립적으로 변화시키기 위해 수행하는 제어 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플라즈마처리장치의 바이어스 인가기구가 이온 에너지와 그 분포를 독립적으로 변화시키기 위해 사용하는 제어 방식을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 바이어스 인가기구의 기능 중 이온 에너지와 분포를 변화시키는 구절을 추출한다.
- 상기 복수의 주파수의 바이어스 전력의 출력비를 제어함으로써 웨이퍼에 입사하는 이온 에너지와 그 분포를 독립으로 변화하는 기구
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '제어 방식'에 직접적으로 대응하는 '복수의 주파수의 바이어스 전력의 출력비를 제어'하는 부분을 선택한다.
- 상기 복수의 주파수의 바이어스 전력의 출력비를 제어함으로써
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4논리 통합
logical_integration바이어스 인가기구가 복수의 주파수를 공급하며, 이들 주파수 간의 출력비를 조절함으로써 이온 에너지와 분포를 독립적으로 제어한다는 논리를 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation제어 방식은 '복수의 주파수의 바이어스 전력의 출력비를 제어하는 것'으로 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 구절을 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 복수의 주파수의 바이어스 전력의 출력비를 제어함으로써
근거 (evidence)
- 상기 복수의 주파수의 바이어스 전력의 출력비를 제어함으로써 웨이퍼에 입사하는 이온 에너지와 그 분포를 독립으로 변화하는 기구
- 상기 복수의 주파수의 바이어스 전력의 출력비를 제어함으로써
최종 답변 (final_answer)
바이어스 인가기구는 하부 전극에 공급되는 복수의 주파수의 바이어스 전력의 출력비를 제어함으로써, 웨이퍼에 입사하는 이온 에너지와 그 분포를 독립적으로 변화시킨다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 복수의 주파수를 사용하는 바이어스 인가기구에서 각 주파수 전력의 출력비를 조절함으로써, 웨이퍼에 입사하는 이온 에너지와 이온 에너지 분포를 독립적으로 제어할 수 있는 기술을 제공한다.