냉각판을 구비하는 마그네트론-스퍼터링 음극

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 지지판(2) 내부에는냉각제도관들장치되어있는것을특징으로 하는마그네트론-스퍼터링 음극. [청구항3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 냉각판은 내부에 냉각관(15)들이 장치되어 있고, 상기 스퍼터링 타깃(4)의배면판형성하는것을특징으로 하는마그네트론-스퍼터링 음극. [청구항4] 제3항에 있어서,상기 냉각관(15)들은 상기 냉각판 내부에서 폐쇄된 단면을 가지고 있으며, 상기 스퍼터링 타깃(4)에 대한 연속된접촉면이루는것을특징으로 하는마그네트론-스퍼터링 음극. [청구항6] 제5항에 있어서,상기 스페이서들은 상기 지지판(2)과 일체로 형성된 웨브(13)들로서 형성되며, 냉각제 도관은 상기 웨브(13)들의 내부를 관통하여장치되는것을특징으로 하는마그네트론-스퍼터링 음극. 제1항에 있어서,상기 냉각액의 도입은 상기 지지판(2)과 일체로 형성된웨브이루어지는것을특징으로 하는마그네트론-스퍼터링 음극. [청구항7] 제1항에 있어서,상기 지지판(2)은 대기측면의 양쪽 가장자리에 형성된2개의직립형보강리브있는것을특징으로 하는마그네트론-스퍼터링 음극. [청구항8] 제7항에 있어서,각각 1개씩의 배면판(3)을 가지고 있는 최소 2개 이상의 장방형 스퍼터링 타깃(4)들이 상기 지지판(2)의 진공측면에 나란히 장치되고, 각 스퍼터링 타깃(4)에는 각각 하나의 경주트랙 모양의 자계(磁界)를 발생시키는자석장치배치되는것을특징으로 하는마그네트론-스퍼터링 음극. 제7항에 있어서,각각 1개씩의 배면판(3)을 가지고 있는 최소 2개 이상의 장방형 스퍼터링 타깃(4)들이 상기 지지판(2) 위에 나란히 장치되고, 각 스퍼터링 타깃(4)에는 각각 하나의 경주트랙 모양의 자계(磁界)를 발생시키는자석장치배치되는것을특징으로 하는마그네트론-스퍼터링 음극. [청구항9] 제1항, 제6항, 제7항 또는 제8항에 있어서,스퍼터링 타깃(4)은 서로 맞대어 장치된복수의스퍼터링타깃부분들조립되는것을특징으로 하는마그네트론-스퍼터링 음극. [청구항10] 제9항에 있어서,각각의 스퍼터링 타깃 부분에는 독립적으로 개별 배면판이 장치되며, 이 개별 배면판은 독자적인냉각수공급관있는것을특징으로 하는마그네트론-스퍼터링 음극. 제9항에 있어서,각각의 스퍼터링 타깃 부분에는 독립적으로 개별 배면판이 장치되며, 이 개별 배면판은 독자적인냉각수공급관있는것을특징으로 하는마그네트론-스퍼터링 음극