문맥 (context)
[청구항2]
제 1항에 있어서,상기 고주파코일은 동(銅)으로 이루어지고 상기 플랜지는 스테인레스로 이루어지며,상기 고주파코일은 상기 플랜지에브레이징되는것을특징으로 하는피드 스루.
[청구항3]
제 1항에 있어서,상기nan인슐레이터세라믹으로이루어지는것을특징으로 하는피드 스루.
[청구항4]
제 1항에 있어서,상기 플랜지수용홈에 수용되는 상기 플랜지가 상기 인슐레이터에 체결되도록 하는체결나사더포함하는것을특징으로 하는피드 스루.
[청구항6]
제 5항에 있어서,상기 고주파코일은 구리로 이루어지고 상기 플랜지는 스테인레스로 이루어지며,상기 고주파코일은 상기 플랜지에브레이징되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 5항에 있어서,상기 고주파코일은 구리로 이루어지고 상기 플랜지는스테인레스로이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항7]
제 5항에 있어서,상기nan인슐레이터세라믹으로이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 5항에 있어서,상기nan인슐레이터세라믹으로이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항8]
제 5항에 있어서,상기 챔버에 상기 인슐레이터가 체결되도록 하는 제 1체결나사와,상기 플랜지수용홈에 수용되는 상기 플랜지가 상기 인슐레이터에 체결되도록 하는제2체결나사더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 5항에 있어서,상기 챔버에 상기 인슐레이터가 체결되도록 하는 제 1체결나사와,상기 플랜지수용홈에 수용되는 상기 플랜지가 상기 인슐레이터에 체결되도록 하는제2체결나사더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항9]
제 5항에 있어서,상기 플랜지에 결합되는 상기 고주파코일은 상기 챔버의 내, 외부에 배치되는 상기 고주파코일과 분리되며, 상기 플랜지에 결합되는 상기 고주파코일의 양끝단에는 상기 고주파코일의 양끝단에는 상기 챔버의 내, 외부에 배치되는 상기 고주파코일에 연결되는커넥터설치되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 5항에 있어서,상기 플랜지에 결합되는 상기 고주파코일은 상기 플랜지에 결합되는 고주파코일, 상기 챔버의 내부에 배치되는 고주파코일 및 상기 챔버의 외부에 배치되는고주파코일분리되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항10]
제 5항에 있어서,상기제 1,2밀봉재오링인것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제 5항에 있어서,상기제 1,2밀봉재오링인것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
화학기상 증착장치에서 플랜지가 인슐레이터에 체결되도록 하는 구성요소는 무엇이며, 챔버와 인슐레이터 사이의 체결을 담당하는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation화학기상 증착장치 내에서 플랜지와 인슐레이터, 챔버 간의 체결을 담당하는 구성요소를 식별해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8을 통해 챔버와 인슐레이터의 체결 및 플랜지와 인슐레이터의 체결에 관한 구성요소를 추출한다.
- 상기 챔버에 상기 인슐레이터가 체결되도록 하는 제 1체결나사
- 상기 플랜지수용홈에 수용되는 상기 플랜지가 상기 인슐레이터에 체결되도록 하는제2체결나사
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 두 가지 체결 관계(플랜지-인슐레이터, 챔버-인슐레이터)에 해당하는 근거를 선택한다.
- 상기 챔버에 상기 인슐레이터가 체결되도록 하는 제 1체결나사
- 상기 플랜지수용홈에 수용되는 상기 플랜지가 상기 인슐레이터에 체결되도록 하는제2체결나사
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4논리 통합
logical_integration제 1체결나사는 챔버와 인슐레이터를 연결하고, 제 2체결나사는 플랜지와 인슐레이터를 연결함을 파악한다.
- 상기 챔버에 상기 인슐레이터가 체결되도록 하는 제 1체결나사
- 상기 플랜지수용홈에 수용되는 상기 플랜지가 상기 인슐레이터에 체결되도록 하는제2체결나사
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5결론 도출
conclusion_formulation플랜지의 인슐레이터 체결은 제 2체결나사가 담당하며, 챔버와 인슐레이터의 체결은 제 1체결나사가 담당한다는 결론을 도출한다.
- 상기 챔버에 상기 인슐레이터가 체결되도록 하는 제 1체결나사
- 상기 플랜지수용홈에 수용되는 상기 플랜지가 상기 인슐레이터에 체결되도록 하는제2체결나사
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 구조화된 답변을 생성한다.
- 상기 챔버에 상기 인슐레이터가 체결되도록 하는 제 1체결나사
- 상기 플랜지수용홈에 수용되는 상기 플랜지가 상기 인슐레이터에 체결되도록 하는제2체결나사
근거 (evidence)
- 상기 챔버에 상기 인슐레이터가 체결되도록 하는 제 1체결나사
- 상기 플랜지수용홈에 수용되는 상기 플랜지가 상기 인슐레이터에 체결되도록 하는제2체결나사
최종 답변 (final_answer)
플랜지가 인슐레이터에 체결되도록 하는 구성요소는 제 2체결나사이며, 챔버에 인슐레이터가 체결되도록 하는 구성요소는 제 1체결나사이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
화학기상 증착장치에서 챔버-인슐레이터 간 체결은 제 1체결나사가, 플랜지-인슐레이터 간 체결은 제 2체결나사가 수행한다.