반도체 공정 시스템의 타겟 가스 종 센싱 장치 및 제조방법

[청구항 2] 제1항에 있어서,가스 종은 nf3, sif4, c2f6, hf, f2, cof2, clf3, if3 및 이들의 활성 종으로 구성된 군으로부터 선택되는 플루오로(fluoro) 종포함하는가스 센서 어셈블리. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트는평균직경이하인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트는평균직경이하인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트는평균직경이하인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트는평균직경범위인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트는길이이상인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트는길이이상인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트는 코어(core) 구조체를 캡슐화하는 코팅(coating) 구조체를 함유하되, 상기 코팅 구조체는 니켈 또는 니켈 합금을 포함하고, 상기 코어 구조체는 코팅 구조체보다 큰 전기 저항 및 코팅 구조체보다 작은열용량가지는것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 코어 구조체의 전기 저항은 코팅 구조체 전기 저항의 적어도 약 50배 이상이고, 상기 코어 구조체의 열용량은코팅구조체열용량의4분3이하인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 코어 구조체의 전기 저항은 코팅 구조체 전기 저항의 적어도 약 1000배 이상이고, 상기 코어 구조체의 열용량은코팅구조체열용량의2분1이하인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 12] 제9항에 있어서,상기 코어 구조체의 전기 저항은 적어도 약 10 mωㆍ㎝이고,상기코어 구조체의열용량이하인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 13] 제9항에 있어서,상기 코어 구조체는 니켈-구리(nickel-copper) 합금을 포함하고, 상기 코팅 구조체는 필수적으로니켈함유하는것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 14] 제9항에 있어서,상기 코어 구조체는 탄화규소포함하는가스 센서 어셈블리. [청구항 15] 제9항에 있어서,상기 코어 구조체는 다른 재료들로 이루어진 다중층을 가지는 복합 섬유포함하는가스센서 어셈블리. [청구항 16] 제9항에 있어서,상기 코어 구조체는 탄화규소층으로 코팅된 탄소 코어 섬유를 가지는 복합 섬유포함하는가스 센서 어셈블리. [청구항 17] 제1항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트는 상기 가스 센서 어셈블리 제작 후에 전기화학적으로 씨닝되고(thinned)평균직경이하인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트는평균직경이하인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 19] 제17항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트는평균직경이하인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 20] 제17항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트는 평균 직경이 약 0.1 micron 내지 약 5 microns범위내인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 21] 제1항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트는 상기 합금 총중량의 약 10 중량% 내지 약 90 중량% 니켈 및 약 10 중량% 내지 약 90 중량% 구리를 함유하는 니켈-구리 합금포함하는가스 센서 어셈블리. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 니케-구리 합금은 상기 합금 총중량의 약 10 중량% 내지 약 90 중량% 알루미늄을 추가포함하는가스 센서 어셈블리. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 니켈-구리 합금은 ti, v, cr, mn, nb, mo, ru, pd, ag, ir 및 pt으로 구성된 군으로부터 선택되는 하나 이상의 금속을 추가포함하는가스 센서 어셈블리. [청구항 24] 제1항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트는 니켈 또는 니켈 합금의 다공성 코팅포함하는가스 센서 어셈블리. [청구항 25] 제24항에 있어서,상기 다공성 코팅은 개방성 기공구조체인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 26] 제1항에 있어서,상기 가스-센싱 필라멘트를 서스펜딩(suspending)하기 위한 지지 구조체를 추가포함하는가스 센서 어셈블리. [청구항 27] 제26항에 있어서,상기 지지 구조체는 상기 타겟 가스 종에 저항하는 재료포함하는가스 센서 어셈블리. [청구항 28] 제26항에 있어서,가스 종은 nf3, sif4, c2f6, hf, f2, cof2, clf3, if3 및 이들의 활성 종으로 구성된 군으로부터 선택되는 플루오로 종을 포함하고, 상기 지지 구조체는 폴리이미드(polyimide), 알루미늄 또는 니켈로 구성된 군으로부터 선택되는 재료포함하는가스 센서 어셈블리. [청구항 39] 제38항에 있어서,상기 니켈-구리-알루미늄 합금은 상기 합금 총중량의 약 10 중량% 내지 약 90 중량% 니켈, 약 10 중량% 내지 약 90 중량% 구리 및 약 10 중량% 내지 약 90 중량% 알루미늄포함하는가스 센서 어셈블리. [청구항 41] 제40항에 있어서,상기 다공성 표면은 개방성 기공구조체인것을특징으로 하는가스 센서 어셈블리. [청구항 43] 제42항에 있어서,상기 지지 구조체는 플루오로 종에 저항하는 재료포함하는가스 센서 어셈블리. [청구항 44] 제42항에 있어서,상기 지지 구조체는 폴리이미드, 알루미늄 및 니켈로 구성된 군으로부터 선택되는 재료포함하는가스 센서 어셈블리. [청구항 47] 제46항에 있어서,상기 하나 이상의 가스-센싱 필라멘트는 평균 직경이 약 500 microns 이하인 것을특징으로하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 48] 제46항에 있어서,상기 하나 이상의 가스-센싱 필라멘트는 평균 직경이 약 150 microns 이하인 것을특징으로하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 49] 제46항에 있어서,상기 하나 이상의 가스-센싱 필라멘트는 평균 직경이 약 50 microns 이하인 것을특징으로하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 50] 제46항에 있어서,상기 하나 이상의 가스-센싱 필라멘트는 평균 직경의 범위가 약 0.1 micron 내지 30 microns 인 것을특징으로하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 51] 제46항에 있어서,길이가 세로축을 따라 약 1㎝ 이상인 것을특징으로하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 52] 제46항에 있어서,길이가 세로축을 따라 약 10㎝ 이상인 것을특징으로하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 53] 제46항에 있어서,길이가 세로축을 따라 약 20㎝ 이상인 것을특징으로하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 54] 제46항에 있어서,위시본(wishbone) 형태인 것을특징으로하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 55] 제46항에 있어서,코어 구조체를 캡슐화하는 니켈-함유 코팅을 포함하되, 상기 코어 구조체는 니켈-함유 코팅의 전기 저항보다 큰 전기 저항 및 니켈-함유 코팅의 열용량보다 낮은 열용량을 가지는 것을특징으로하는,연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 56] 제55항에 있어서,상기 코어 구조체의 전기 저항은 니켈-함유 코팅 전기 저항의 적어도 약 50배 이상이고, 상기 코어 구조체의 열용량은 니켈-함유 코팅 열용량의 4분의 3 이하인 것을특징으로하는,연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 57] 제55항에 있어서,상기 코어 구조체의 전기 저항은 니켈-함유 코팅 전기 저항의 적어도 약 1000 이상이고, 상기 코어 구조체의 열용량은 니켈-함유 코팅 열용량의 2분의 1 이하인 것을특징으로하는,연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 58] 제55항에 있어서,상기 코어 구조체의 전기 저항은 적어도 약 10 mωㆍ㎝이고, 상기 코어 구조체의 열용량은 2.5 j/kㆍ㎤ 이하인 것을특징으로하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 59] 제55항에 있어서,상기 코어 구조체는 니케-구리 합금을 포함하고, 상기 니켈-함유 코팅은 필수적으로 구리로 구성되는 것을특징으로하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 60] 제55항에 있어서,상기 코어 구조체는탄화규소포함하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 61] 제55항에 있어서,상기 코어 구조체는 다른 재료들로 이루어진 다중층을 가지는복합섬유포함하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 62] 제55항에 있어서,상기 코어 구조체는 탄화규소층으로 코팅된 탄소 코어 섬유를 가지는복합섬유포함하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 63] 제46항에 있어서,니켈-구리 합금포함하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 64] 제46항에 있어서,니켈-구리-알루미늄 합금포함하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 65] 제64항에 있어서,구성된 군으로부터 선택되는하나이상의금속을추가포함하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 66] 제46항에 있어서,니켈 또는 니켈 합금의 다공성 코팅을 포함하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 67] 제66항에 있어서,상기 다공성 코팅은 개방성 기공 구조체인 것을특징으로하는연장된가스 센서 엘러먼트. [청구항 69] 제68항에 있어서,가스 종과 접촉할 때 상기 연장된 가스 센서 엘러먼트의 적어도 하나의 특성 변화를 검출하고, 이에 반응하여 상기 타겟 가스 종의 존재를 표시하는 출력 신호를 발생하는 수단을 추가포함하는가스-센싱 어셈블리. [청구항 70] 제69항에 있어서,가스 종은 nf3, sif4, c2f6, hf, f2, cof2, clf3, if3 및 이들의 활성 종으로 구성된 군으로부터 선택되는 플루오로 종포함하는가스-센싱 어셈블리. [청구항 71] 제70항에 있어서,상기 지지 구조체는 상기 타겟 가스 종에 저항하는 재료포함하는가스-센싱 어셈블리. [청구항 72] 제70항에 있어서,상기 지지 구조체는 폴리이미드 또는 알루미늄포함하는가스-센싱 어셈블리. [청구항 73] 제70항에 있어서,상기 연장된 가스 센서 엘러먼트의 하나 이상의 가스-센싱 필라멘트는 니켈 또는 니켈 합금함유하는,가스-센싱 어셈블리. [청구항 74] 제73항에 있어서,상기 연장된 가스 센서 엘러먼트의 하나 이상의 가스-센싱 필라멘트는 50 microns 이하의 평균 직경을 수득하기 위하여 상기 어셈블리 제작 후에 전기화학적으로 씨닝되는(thinned) 것특징으로 하는가스-센싱 어셈블리. [청구항 75] 제73항에 있어서,상기 연장된 가스 센서 엘러먼트의 하나 이상의 가스-센싱 필라멘트는평균직경이하인것을특징으로 하는가스-센싱 어셈블리. [청구항 76] 제73항에 있어서,상기 연장된 가스 센서 엘러먼트의 하나 이상의 가스-센싱 필라멘트는평균직경이하인것을특징으로 하는가스-센싱 어셈블리. [청구항 77] 제73항에 있어서,상기 연장된 가스 센서 엘러먼트의 하나 이상의 가스-센싱 필라멘트는평균 직경의범위인것을특징으로 하는가스-센싱 어셈블리. [청구항 80] 다음 단계들을 포함하는, 제54항의 연장된 가스 센서 엘러먼트를 제작하는 방법 (a) 가스-센싱 필라멘트 쌍을 나란히 배열하는 단계; 및 (b) 서로 분리된 상기 가스-센싱 필라멘트 쌍의 두 번째 말단인 반대편을 남겨두되, 상기 가스-센싱 필라멘트 쌍의 두 번째 말단인 분리된 반대편은 연장된 가스 센서 엘러먼트의 두 개의 전기 연결 터미날을 형성하는 것을 특징으로 하는, 첫번째 말단에서 상기 가스-센싱 필라멘트 쌍을 연결하는 단계 [청구항 82] 다음 단계들을 포함하는 제54항의 연장된 가스 센서 엘러먼트를 제작하는 방법 (a) 필라멘트 쌍을 나란히 배열하는 단계 (b) 서로 분리된 상기 필라멘트 쌍의 두 번째 말단인 반대편을 남겨두되, 위시본-형태의 전구체 구조체를 형성하도록, 첫 번째 말단에서 상기 필라멘트 쌍을 연결하는 단계; 및 (c) 상기 위시본-형태의 전구체 구조체 위로 가스-민감성 코팅을 형성하는 단계