전동액츄에이터

[청구항 1] 축선방향을 따라서 소정의 길이만큼 연장되어 있는 슬릿(14)이 형성된 액츄에이터본체(16)와, 상기 액츄에이터본체(16)의 단부에 연결되는 구동원과, 상기 액츄에이터본체(16)에 의해 둘러싸인 공간부(20)에 배설되어, 상기 구동원의 구동력을 전달하는 구동력전달수단(22)과, 상기 구동력전달수단(22)으로부터 전달되는 구동력에 의해 상기 액츄에이터본체(16)의 슬릿(14)을 따라서 왕복동작하는 슬라이더(24)와, 상기 액츄에이터본체(16)에 연결되어, 회전구동원의 구동작용하에 상기 액츄에이터본체(16)의 상기 공간부(20)내의 에어를 강제적으로 흡인하는 임펠러(88)가 설치된 팬부(19)를 구비하고, 상기 팬부(19)는 액츄에이터본체(16)에 형성된 통풍홀(90a∼90d)을 통해 상기 공간부(20)에 연이어 통하는 도풍체(80)를 가지며, 흡인된 에어는 상기 도풍체(80)의 단부에 형성된 배기구(92)로부터 배출되는 것을 특징으로 하는 전동액츄에이터 [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 전동액츄에이터는 천정측으로부터 마루측을 향해서 세정된 에어의 흐름을 갖는 클린룸(92)내사용되는것을특징으로 하는전동액츄에이터. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 액츄에이터본체(16)는 대향하는 2쌍의 면을 갖는 사각통체로 이루어지며, 상기 구동력전달수단(22)은 소정의 간격으로 이간하는 한 쌍의 풀리(54a, 54b)에 현가된벨트부재로이루어지는것을특징으로 하는전동액츄에이터. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 슬라이더(24)의 측부에는 제1 커넥터블록(26)이 연결되고, 상기 제1 커넥터블록(26)에는 수평방향을 따라서 자유롭게 만곡되는 띠 형상의 케이블(28)의 일단부가 전기접속되며, 상기 케이블(28)의 타단부는 액츄에이터본체(16)의 단부에 연결된 제2 커넥터블록(30)에전기접속되는것을특징으로 하는전동액츄에이터. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 액츄에이터본체(16)의 공간부(20) 내에는 상기 슬리라이더(14)를 슬릿(14)을 따라서 직선상으로 변위시키는가이드수단설치되는것을특징으로 하는전동액츄에이터.