문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 제2히터는 상기 샤워헤드의 중앙부에 대응하도록 나선형으로 권선된 적어도 하나의 내측열선과, 상기 샤워헤드의 가장자리부에 대응하도록 나선형으로 권선된적어도하나의외측열선포함하는것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 제2히터는 상기 샤워헤드의 중앙부에 대응하도록 나선형으로 권선된 적어도 하나의 내측열선과, 상기 샤워헤드의 가장자리부에 대응하도록 나선형으로 권선된적어도하나의외측열선포함하는것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 내측열선의 가열온도는 상기 외측열선의 가열온도보다 낮은 것특징으로 하는박막 증착장치.
제2항에 있어서,상기 내측열선의 가열온도는 상기 외측열선의 가열온도보다 낮은 것특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 클램프는일체형성된것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 클램프는일체형성된것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항5]
제1항에 있어서,셉터의 변형을 방지하는변형방지수단더구비하는것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항6]
제5항에 있어서,상기 변형방지수단은, 상기 제1히터와 체결되는 나사부와 머리부를 포함하는 볼트와, 상기 볼트의 나사부가 통과하도록 상기 서셉터에 형성된 제1관통홀과, 상기 볼트의 머리부를 수용하도록 상기 제1관통홀로부터 상측으로 연장되고 방사상으로 확장되어 상기 서셉터에 단턱을 형성하는 제2관통홀과, 상기 머리부와 상기 제1히터 사이에 삽입되어 상기 머리부와 상기 단턱 사이에 소정 간극을 유지하는스페이서포함하는것을특징으로 하는박박 증착장치.
[청구항7]
제6항에 있어서,상기 볼트는 zro2 또는 sic로형성된것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 볼트는 zro2 또는 sic로형성된것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항8]
제6항에 있어서,상기 간극은 0.3 mm내지인것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 간극은 0.3 mm내지인것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항9]
제6항에 있어서,셉터의 상면과 상기 머리부의 상면nan은동일평면상위치된것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,셉터의 상면과 상기 머리부의 상면nan은동일평면상위치된것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항10]
제1항에 있어서,상기 반응챔버의 측벽에는제3히터설치된것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 반응챔버의 측벽에는제3히터설치된것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항11]
제1항에 있어서,상기 기판이 안착된 서셉터의 측부를 둘러싸도록 설치된배플더구비된것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 기판이 안착된 서셉터의 측부를 둘러싸도록 설치된배플더구비된것을특징으로 하는박막 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
박막 증착장치의 변형방지수단은 어떠한 구성요소들로 이루어져 있으며, 각 구성요소는 서로 어떻게 결합되거나 배치되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation청구항 6항을 바탕으로 변형방지수단의 구성요소와 그들 사이의 구조적 관계를 파악해야 한다.
- 상기 변형방지수단은
-
2정보 추출
information_extraction변형방지수단에 포함된 구성요소인 볼트, 제1관통홀, 제2관통홀, 스페이서를 추출한다.
- 볼트와
- 제1관통홀과
- 제2관통홀과
- 스페이서포함하는
-
3근거 선택
evidence_selection각 구성요소의 특징과 연결 관계를 설명하는 문구들을 선택한다.
- 볼트의 나사부가 통과하도록 상기 서셉터에 형성된 제1관통홀
- 볼트의 머리부를 수용하도록 상기 제1관통홀로부터 상측으로 연장되고 방사상으로 확장되어 상기 서셉터에 단턱을 형성하는 제2관통홀
- 머리부와 상기 제1히터 사이에 삽입되어 상기 머리부와 상기 단턱 사이에 소정 간극을 유지하는스페이서
-
4논리 통합
logical_integration볼트의 나사부는 제1관통홀을 통과하고, 머리부는 제2관통홀에 수용되며, 스페이서는 머리부와 단턱 사이에 위치하여 간극을 유지하는 구조임을 통합한다.
- 볼트의 나사부가 통과하도록 상기 서셉터에 형성된 제1관통홀
- 볼트의 머리부를 수용하도록 상기 제1관통홀로부터 상측으로 연장되고 방사상으로 확장되어 상기 서셉터에 단턱을 형성하는 제2관통홀
- 상기 머리부와 상기 제1히터 사이에 삽입되어 상기 머리부와 상기 단턱 사이에 소정 간극을 유지하는스페이서
-
5결론 도출
conclusion_formulation변형방지수단은 볼트, 제1관통홀, 제2관통홀, 스페이서로 구성되며, 이들은 서셉터 및 제1히터와 유기적으로 결합되어 간극을 유지하는 구조를 가진다.
- 상기 변형방지수단은
- 볼트와
- 제1관통홀과
- 제2관통홀과
- 스페이서포함하는
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 구성요소와 관계를 체계적으로 정리하여 답변을 작성한다.
- 상기 변형방지수단은
- 볼트와
- 제1관통홀과
- 제2관통홀과
- 스페이서포함하는
근거 (evidence)
- 상기 변형방지수단은
- 볼트와
- 제1관통홀과
- 제2관통홀과
- 스페이서포함하는
- 볼트의 나사부가 통과하도록 상기 서셉터에 형성된 제1관통홀
- 볼트의 머리부를 수용하도록 상기 제1관통홀로부터 상측으로 연장되고 방사상으로 확장되어 상기 서셉터에 단턱을 형성하는 제2관통홀
- 머리부와 상기 제1히터 사이에 삽입되어 상기 머리부와 상기 단턱 사이에 소정 간극을 유지하는스페이서
- 상기 머리부와 상기 제1히터 사이에 삽입되어 상기 머리부와 상기 단턱 사이에 소정 간극을 유지하는스페이서
최종 답변 (final_answer)
변형방지수단은 다음과 같은 구성요소와 관계를 가진다.
1. 볼트: 나사부와 머리부를 포함하며, 제1히터와 체결된다.
2. 제1관통홀: 서셉터에 형성되어 있으며, 볼트의 나사부가 이 홀을 통과한다.
3. 제2관통홀: 제1관통홀로부터 상측으로 연장되고 방사상으로 확장되어 서셉터에 단턱을 형성하며, 볼트의 머리부를 수용한다.
4. 스페이서: 볼트의 머리부와 제1히터 사이에 삽입되어, 볼트의 머리부와 서셉터의 단턱 사이에 소정의 간극을 유지한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
변형방지수단은 볼트, 제1관통홀, 제2관통홀, 스페이서로 구성되며, 볼트가 관통홀을 통해 서셉터에 고정되고 스페이서가 머리부와 단턱 사이의 간극을 조절하는 구조이다.