문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 증발 소스는 증착대상 화합물을 포함하는 저장부; 및상기 저장부를 가열하여 증착대상 화합물을 증발시키는가열부포함하는것을특징으로 하는유기 박막 제조공정의 증착공정 평가 장치.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 저장부는도가니형태또는보트형태가지는것을특징으로 하는유기 박막 제조공정의 증착공정 평가 장치.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 챔버내 압력nan은대기압상태인것을특징으로 하는유기 박막 제조공정의 증착공정 평가 장치.
[청구항5]
제1항에 있어서,상기 증착양태 평가수단은 금속, 고분자, 세라믹 또는 이들의 혼합성분을 포함하는재질로이루어진것을특징으로 하는유기 박막 제조공정의 증착공정 평가 장치.
[청구항7]
제1항에 있어서,상기 제1영역과 제2영역은 각각 와이어에 의해 형성되는 메쉬 구조의 일부분이거나, 또는 플레이트 내에 개구부를 형성함으로써 이루어지는구조일부분인것을특징으로 하는유기 박막 제조공정의 증착공정 평가 장치.
[청구항8]
제1항에 있어서,상기 증착양태 평가수단의 제1영역을 연장하는 경우에 제2영역에 연결됨으로써,이들서로연결되어있는것을특징으로 하는유기 박막 제조공정의 증착공정 평가 장치.
[청구항9]
제1항에 있어서,상기 증착양태 평가수단의 제1영역을 연장하는 경우에 제2영역에 연결되지 않고, 상기 제1영역과 제2영역은 이들을 각각 지지하기 위한 지지부;에 의해 서로 연결되어지지되는것을특징으로 하는유기 박막 제조공정의 증착공정 평가 장치.
[청구항10]
제1항에 있어서,상기 제1영역; 및 상기 제2영역 사이의 이격된 거리는1내지범위인것을특징으로 하는유기 박막 제조공정의 증착공정 평가 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
증발 소스는 어떠한 구성 요소로 이루어져 있으며, 저장부는 어떤 형태를 가질 수 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation증발 소스의 구성 요소와 저장부의 형태를 추출해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 증발 소스의 구성 요소를, 청구항 3에서 저장부의 형태를 확인한다.
- 상기 증발 소스는 증착대상 화합물을 포함하는 저장부; 및상기 저장부를 가열하여 증착대상 화합물을 증발시키는가열부포함하는것을특징으로 하는
- 상기 저장부는도가니형태또는보트형태가지는것을특징으로 하는
-
3근거 선택
evidence_selection증발 소스의 구성인 '저장부'와 '가열부', 그리고 저장부의 형태인 '도가니 형태'와 '보트 형태'를 선택한다.
- 저장부
- 가열부
- 도가니형태
- 보트형태
-
4논리 통합
logical_integration증발 소스는 저장부와 가열부로 구성되며, 저장부는 도가니 또는 보트 형태를 가질 수 있음을 결합한다.
- 증발 소스는 증착대상 화합물을 포함하는 저장부; 및상기 저장부를 가열하여 증착대상 화합물을 증발시키는가열부포함
- 상기 저장부는도가니형태또는보트형태가지는것을특징으로 하는
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5결론 도출
conclusion_formulation증발 소스는 저장부와 가열부를 포함하며, 저장부는 도가니 형태 또는 보트 형태를 가진다.
- 저장부
- 가열부
- 도가니형태
- 보트형태
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 증발 소스는 증착대상 화합물을 포함하는 저장부; 및상기 저장부를 가열하여 증착대상 화합물을 증발시키는가열부포함하는것을특징으로 하는
- 상기 저장부는도가니형태또는보트형태가지는것을특징으로 하는
- 저장부
- 가열부
- 도가니형태
- 보트형태
- 증발 소스는 증착대상 화합물을 포함하는 저장부; 및상기 저장부를 가열하여 증착대상 화합물을 증발시키는가열부포함
최종 답변 (final_answer)
증발 소스는 증착대상 화합물을 포함하는 저장부와 저장부를 가열하여 증착대상 화합물을 증발시키는 가열부를 포함하며, 저장부는 도가니 형태 또는 보트 형태를 가질 수 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
증발 소스의 물리적 구성(저장부, 가열부)과 저장부의 구조적 특징(도가니, 보트)을 정의함.