문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,힘인가수단에 의해 상기 이물에 상기 떼어내는 방향으로 가하는 힘과 진동하는 힘이 정전기적인힘인것을특징으로 하는이물제거장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,힘인가수단에 의해 상기 이물에 상기 떼어내는 방향으로 가하는힘원심력인것을특징으로 하는이물제거장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,힘인가수단과 상기 진동하는 힘을 인가하는 수단과 상기 진동주파수 가변수단에 의해 상기 피처리기판의 표면에서 떼어낸 상기 이물을 상기 피처리피간의 영역외로 배출하는이물배출수단더가지는것을특징으로 하는이물제거장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 직류전압인가수단이 상기 고주파전압 인가수단에 의해 발생하는 자기 바이어스 전압을 상기 피처리물을 재치하는재치수단인가하는것을특징으로 하는이물제거장치.
[청구항 7]
제5항에 있어서,상기 처리실의 벽면에 직류전압을 인가하는 직류전압 인가수단과, 상기 처리실의 벽면에 주파수가변의 고주파번압을 인가하는 고주파전압 인가수단더가지는것을특징으로 하는이물제거장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 전극수단은 상기 처리실의 내부에서 상기 양극의 표면에 거의 평행한 자장을 형성하는자장형성부더가지는것을특징으로 하는이물제거장치.
[청구항 10]
제8항에 있어서,상기 재치수단은 이 재치수단에 직류전압을 인가하는 직류전압 인가수단과, 상기 재치수단에 주파수 가변의 고주파전압을 인가하는 고주파전압 인가수단접속되어있는것을특징으로 하는이물제거장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 이물제거장치는 직류전원에 접속해서 상기 처리실의 내부에서 상기 플라즈마와 도통하는 양극을 가지고 상기 직류전원에 의해 상기 플라즈마에서 상기 양극에의 전자의 유입을 제어가능한전극수단더구비하는것을특징으로 하는이물제거장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 전극수단은 제2의 주파수 가변의 고주파전압을 인가하는 제2의 고주파전압 인가수단접속하고있는것을특징으로 하는이물제거장치.
[청구항 14]
제12항에 있어서,상기 재치수단은 이 재치수단에 직류전압을 인가하는 제2의 직류전압 인가수단과, 상기 재치수단에 제3의 주파수 가변의 고주파 전압을 인가하는 제3의 고주파전압 인가수단접속되어있는것을특징으로 하는이물제거장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
이물제거장치에서 힘인가수단이 이물에 가하는 힘과 진동하는 힘이 정전기적인 힘인 경우와, 이물에 가하는 힘이 원심력인 경우의 차이점은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation이물제거장치에서 힘인가수단이 가하는 힘의 종류(정전기적인 힘 vs 원심력)에 따른 차이점을 비교 분석하는 과업이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2는 힘인가수단에 의해 이물에 가하는 힘과 진동하는 힘이 정전기적인 힘인 경우를 명시하고, 청구항 3은 이물에 가하는 힘이 원심력인 경우를 명시한다.
- 힘인가수단에 의해 상기 이물에 상기 떼어내는 방향으로 가하는 힘과 진동하는 힘이 정전기적인힘인것
- 상기 이물에 상기 떼어내는 방향으로 가하는힘원심력인것
-
3근거 선택
evidence_selection두 경우의 차이를 규정하는 핵심 구절인 정전기적 힘의 구성과 원심력의 구성을 선택한다.
- 힘과 진동하는 힘이 정전기적인힘
- 가하는힘원심력
-
4논리 통합
logical_integration정전기적인 힘의 경우 '가하는 힘'과 '진동하는 힘' 모두 정전기적 성질을 갖는 반면, 원심력의 경우 '가하는 힘' 자체가 원심력임을 확인하여 차이점을 도출한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation정전기적인 힘은 가하는 힘과 진동하는 힘이 모두 정전기적 성질을 이용하는 방식이고, 원심력은 이물에 가하는 힘이 원심력인 방식이다.
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 비교 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 힘인가수단에 의해 상기 이물에 상기 떼어내는 방향으로 가하는 힘과 진동하는 힘이 정전기적인힘인것
- 상기 이물에 상기 떼어내는 방향으로 가하는힘원심력인것
- 힘과 진동하는 힘이 정전기적인힘
- 가하는힘원심력
최종 답변 (final_answer)
이물제거장치에서 힘인가수단이 가하는 힘과 진동하는 힘이 모두 정전기적인 힘인 경우에는 힘의 작용 방식이 정전기적 성질을 이용하는 것이며, 이물에 가하는 힘이 원심력인 경우에는 이물을 떼어내는 방향으로 가하는 힘의 물리적 원리가 원심력인 것이 차이점이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
이물제거장치에서 이물을 분리하기 위해 사용하는 힘의 물리적 메커니즘(정전기적 힘 또는 원심력)에 따른 실시 형태의 차이를 정의하고 있다.