문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 처리 용기는 피처리체 지지구를 수용하기 위한 내측 실린더 및 상기 내측 실린더를 둘러싸는 외측 실린더를 갖고, 상기 가스 도입구 및 가스 흡인구는상기내측 실린더내형성된것을특징으로 하는열처리 장치.
[청구항3]
제 1 항에 있어서,상기 가스 도입구는, 상기 처리 용기의 측벽의 일부분을 따라 형성되고, 상기 가스 흡인구는 상기 처리 용기의 측벽의 다른 부분을 바같쪽을 우회함형성되는것을특징으로 하는열처리 장치.
제 1 항에 있어서,상기 가스 도입구는, 상기 처리 용기의 측벽의 일부분을 따라 형성되고, 상기 가스 흡인구는 상기 처리 용기의 측벽의 다른부분형성되는것을특징으로 하는열처리 장치.
[청구항4]
제 1 항에 있어서,상기 도입구는, 상기 복수의 피처리체가 배열된 방향으로 분할된 복수의 영역에 각각 대응하는복수의영역슬릿분할되는것을특징으로 하는열처리 장치.
[청구항5]
제 4 항에 있어서,상기 복수의 영역 슬릿은 상기 복수의 영역에 각각 대응하는복수의유량제어기각각접속되는것을특징으로 하는열처리 장치.
제 4 항에 있어서,상기 복수의 영역-슬릿은 상기 복수의 영역에 각각 대응하는복수의유량제어기각각접속되는것을특징으로 하는열처리 장치.
[청구항6]
제 4 항에 있어서,상기 복수의 영역-슬릿 각각은 상기 복수의 피처리체의 복수의 주변영역에 각각 대응하는복수의슬릿부품분할되는것을특징으로 하는열처리 장치.
제 4 항에 있어서,상기 복수의 영역-슬릿 각각은 상기 복수의 피처리체의 복수의 주변영역에 각각 대응하는복수의슬릿부품포함하는것을특징으로 하는열처리 장치.
[청구항7]
제 5 항에 있어서,상기 복수의 영역-슬릿 각각은 상기 복수의 피처리체의 복수의 주변영역에 각각 대응하는복수의슬릿부품분할되는것을특징으로 하는열처리 장치.
제 5 항에 있어서,상기 복수의 영역-슬릿 각각은 상기 복수의 피처리체의 복수의 주변영역에 각각 대응하는복수의슬릿부품포함하는것을특징으로 하는열처리 장치.
[청구항8]
제 1 항에 있어서,상기 가스 도입구는 상기 복수의 피처리체의 복수의 주변영역에 각각 대응하는복수의슬릿부품분할되는것을특징으로 하는열처리 장치.
[청구항9]
제 1 항에 있어서,상기 기판 지지구는 상기 기판 흡인구의 양측면상의 상기 복수의 주변 부분과 접촉하게 하는 판부재를 갖고, 상기 판부재는 원호 단면 및 상기 복수의 피처리체의 방사 방향으로 상기 복수의 피처리체주변 부분으로부터 연장하는소정두께갖는것을특징으로 하는열처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
열처리 장치의 처리 용기는 어떠한 실린더 구조로 구성되며, 가스 도입구와 가스 흡인구는 어디에 형성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation열처리 장치의 처리 용기 구성 요소와 가스 도입구/흡인구의 위치를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 처리 용기의 실린더 구성과 가스 통로의 위치 정보를 추출한다.
- 상기 처리 용기는 피처리체 지지구를 수용하기 위한 내측 실린더 및 상기 내측 실린더를 둘러싸는 외측 실린더를 갖고
- 상기 가스 도입구 및 가스 흡인구는상기내측 실린더내형성된것을특징으로 하는
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 실린더 구조와 가스 통로 형성 위치에 해당하는 문구를 선택한다.
- 내측 실린더 및 상기 내측 실린더를 둘러싸는 외측 실린더
- 상기 가스 도입구 및 가스 흡인구는상기내측 실린더내형성된것
-
4논리 통합
logical_integration처리 용기는 내측 실린더와 이를 둘러싼 외측 실린더로 이루어져 있으며, 가스 통로는 내측 실린더 내부에 형성됨을 결합한다.
- 내측 실린더 및 상기 내측 실린더를 둘러싸는 외측 실린더
- 상기 가스 도입구 및 가스 흡인구는상기내측 실린더내형성된것
-
5결론 도출
conclusion_formulation처리 용기는 내측 실린더와 외측 실린더로 구성되며, 가스 도입구와 흡인구는 내측 실린더 내부에 형성된다는 결론을 도출한다.
- 내측 실린더 및 상기 내측 실린더를 둘러싸는 외측 실린더
- 상기 가스 도입구 및 가스 흡인구는상기내측 실린더내형성된것
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 완성된 답변을 작성한다.
- 내측 실린더 및 상기 내측 실린더를 둘러싸는 외측 실린더
- 상기 가스 도입구 및 가스 흡인구는상기내측 실린더내형성된것
근거 (evidence)
- 상기 처리 용기는 피처리체 지지구를 수용하기 위한 내측 실린더 및 상기 내측 실린더를 둘러싸는 외측 실린더를 갖고
- 상기 가스 도입구 및 가스 흡인구는상기내측 실린더내형성된것을특징으로 하는
- 내측 실린더 및 상기 내측 실린더를 둘러싸는 외측 실린더
- 상기 가스 도입구 및 가스 흡인구는상기내측 실린더내형성된것
최종 답변 (final_answer)
열처리 장치의 처리 용기는 피처리체 지지구를 수용하는 내측 실린더와 해당 내측 실린더를 둘러싸는 외측 실린더로 구성된다. 또한, 가스 도입구 및 가스 흡인구는 내측 실린더 내부에 형성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
처리 용기는 이중 실린더(내측/외측) 구조를 가지며, 가스 유입 및 배출 통로는 내측 실린더 내부에 위치한다.