압전식 리니어 액츄에이터, 압전 구동 밸브 및 유량 제어 장치

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,쌍의 변위 전달 부재의 가이드 구멍의 하방측의 내주 가장자리부를 상기 출력부의 각 암이 록킹되는 록킹부로 하고, 상기 출력부의 각 암부의 하면에 상기 록킹부에 착탈 가능하게 감합되어 위치 결정되는 상기 록킹부와 같은형상의록킹홈형성한것을특징으로 하는압전식 리니어 액츄에이터. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 록킹부 및 상기 록킹홈은 평면 형상에 있어서 동일 원주 상에 위치하는원호 형상으로한것을특징으로 하는압전식 리니어 액츄에이터. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 하부 지지 부재가 연결되는 보닛을 더 구비하고, 상기 보닛에는 상기 한 쌍의 변위 전달 부재의 하단부, 상기 원주 형상부의 상부, 상기 한 쌍의 암부 및 상기 탄성체가 수용되는 오목부와, 상기 원주 형상부의 하부가 슬라이딩 가능하게 삽입되는통과구멍형성되어있는것을특징으로 하는압전식 리니어 액츄에이터. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 출력부는 상기 원주 형상부의 하부 외주면에 형성한 환 형상 홈에 감합된 환 형상 밀봉 부재를 통해서 상기 통과 구멍에 슬라이딩 가능하게있는것을특징으로 하는압전식 리니어 액츄에이터. [청구항 6] 제 4 항에 있어서,상기 보닛은 상기 적층 압전 액츄에이터의 폭 치수와 동일 또는 동정도의치수형성되어있는것을특징으로 하는압전식 리니어 액츄에이터. [청구항 7] 원주 형상의 적층 압전 액츄에이터와, 상기 적층 압전 액츄에이터를 지지함과 아울러 상기 적층 압전 액츄에이터의 좌우 측방으로 연장되는 하부 지지 부재와, 상기 적층 압전 액츄에이터의 좌우 양측을 따라 연장됨과 아울러 상기 하부 지지 부재에 대하여 슬라이딩 가능하게 교차하고 또한 상기 적층 압전 액츄에이터의 압전 효과에 의한 변위를 전달하는 한 쌍의 변위 전달 부재와, 상기 하부 지지 부재의 하방에 있어서 상기 한 쌍의 변위 전달 부재에 록킹되고 상기 양 변위 전달 부재의 하단부끼리를 연결하는 출력부를 구비한 압전식 리니어 액츄에이터로서, 상기 변위 전달 부재의 각각은 상기 적층 압전 액츄에이터의 외주면을 따르는 원호 형상 내주면을 갖고 또한 원호 형상 내주면에 이어진 측면을 갖는 장척 부재 형상으로 형성되어 있고, 상기 각 변위 전달 부재의 하단부에 상기 하부 지지 부재가 삽입통과되는 세로로 긴 가이드 구멍이 대향 형상으로 형성되어 있고, 상기 가이드 구멍의 하방측의 내주 가장자리부에 상기 출력부가 록킹되어 있고, 상기 출력부는 상단부가 상기 한 쌍의 변위 전달 부재의 하단부 사이에 삽입되는 원주 형상부와, 상기 원주 형상부의 외주면에 상기 하부 지지 부재를 따라 돌출 형성되고 상기 한 쌍의 변위 전달 부재의 가이드 구멍의 하방측의 내주 가장자리부에 록킹되는 한 쌍의 암부를 구비하고, 상기 한 쌍의 변위 전달 부재의 폭 치수가 상기 적층 압전 액츄에이터의 폭 치수와 동일 또는 동 정도의 치수로 형성되어 있는 압전식 리니어 액츄에이터와, 상기 압전식 리니어 액츄에이터가 부착되고 내부에 유로가 형성된 보디와, 상기 압전식 리니어 액츄에이터의 상기 출력부와 겸용의 밸브 로드와, 상기 밸브 로드의 조작에 의해 상기 유로를 개폐하는 밸브체를 구비하는 것을 특징으로 하는 압전 구동 밸브 [청구항 8] 제 7 항에 있어서,쌍의 변위 전달 부재의 가이드 구멍의 하방측의 내주 가장자리부를 상기 출력부의 각 암이 록킹되는 록킹부로 하고, 상기 출력부의 각 암부의 하면에 상기 록킹부에 착탈 가능하게 감합되어 위치 결정되는 상기 록킹부와 같은형상의록킹홈형성한것을특징으로 하는압전 구동 밸브. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 록킹부 및 상기 록킹홈은 평면 형상에 있어서 동일 원주 상에 위치하는원호 형상으로한것을특징으로 하는압전 구동 밸브. [청구항 10] 제 7 항에 있어서,상기 하부 지지 부재가 연결되는 보닛을 더 구비하고, 상기 보닛에는 상기 한 쌍의 변위 전달 부재의 하단부, 상기 원주 형상부의 상부, 상기 한 쌍의 암부 및 상기 탄성체가 수용되는 오목부와, 상기 원주 형상부의 하부가 슬라이딩 가능하게 삽입되는통과구멍형성되어있는것을특징으로 하는압전 구동 밸브. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 출력부는 상기 원주 형상부의 하부 외주면에 형성한 환 형상 홈에 감합된 환 형상 밀봉 부재를 통해서 상기 통과 구멍에 슬라이딩 가능하게있는것을특징으로 하는압전 구동 밸브. [청구항 12] 제 10 항에 있어서,상기 보닛은 상기 적층 압전 액츄에이터의 폭 치수와 동일 또는 동정도의치수형성되어있는것을특징으로 하는압전 구동 밸브. [청구항 13] 제 7 항에 있어서,상기 밸브체가 금속 다이어프램 밸브체인 것을특징으로 하는압전 구동 밸브. [청구항 14] 원주 형상의 적층 압전 액츄에이터와, 상기 적층 압전 액츄에이터를 지지함과 아울러 상기 적층 압전 액츄에이터의 좌우 측방으로 연장되는 하부 지지 부재와, 상기 적층 압전 액츄에이터의 좌우 양측을 따라 연장됨과 아울러 상기 하부 지지 부재에 대하여 슬라이딩 가능하게 교차하고 또한 상기 적층 압전 액츄에이터의 압전 효과에 의한 변위를 전달하는 한 쌍의 변위 전달 부재와, 상기 하부 지지 부재의 하방에 있어서 상기 한 쌍의 변위 전달 부재에 록킹되고 상기 양 변위 전달 부재의 하단부끼리를 연결하는 출력부를 구비한 압전식 리니어 액츄에이터로서, 상기 변위 전달 부재의 각각은 상기 적층 압전 액츄에이터의 외주면을 따르는 원호 형상 내주면을 갖고 또한 원호 형상 내주면에 이어진 측면을 갖는 장척 부재 형상으로 형성되어 있고, 상기 각 변위 전달 부재의 하단부에 상기 하부 지지 부재가 삽입통과되는 세로로 긴 가이드 구멍이 대향 형상으로 형성되어 있고, 상기 가이드 구멍의 하방측의 내주 가장자리부에 상기 출력부가 록킹되어 있고, 상기 출력부는 상단부가 상기 한 쌍의 변위 전달 부재의 하단부 사이에 삽입되는 원주 형상부와, 상기 원주 형상부의 외주면에 상기 하부 지지 부재를 따라 돌출 형성되고 상기 한 쌍의 변위 전달 부재의 가이드 구멍의 하방측의 내주 가장자리부에 록킹되는 한 쌍의 암부를 구비하고, 상기 한 쌍의 변위 전달 부재의 폭 치수가 상기 적층 압전 액츄에이터의 폭 치수와 동일 또는 동 정도의 치수로 형성되어 있는 압전식 리니어 액츄에이터와, 상기 압전식 리니어 액츄에이터가 부착되고 내부에 유로가 형성된 보디와, 상기 출력부와 겸용의 밸브 로드와, 상기 밸브 로드의 조작에 의해 상기 유로를 개폐하는 밸브체를 구비하는 압전 구동 밸브와, 상기 압전 구동 밸브를 개폐 제어하는 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치 [청구항 15] 제 14 항에 있어서,쌍의 변위 전달 부재의 가이드 구멍의 하방측의 내주 가장자리부를 상기 출력부의 각 암이 록킹되는 록킹부로 하고, 상기 출력부의 각 암부의 하면에 상기 록킹부에 착탈 가능하게 감합되어 위치 결정되는 상기 록킹부와 같은형상의록킹홈형성한것을특징으로 하는유량 제어 장치. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 록킹부 및 상기 록킹홈은 평면 형상에 있어서 동일 원주 상에 위치하는원호 형상으로한것을특징으로 하는유량 제어 장치. [청구항 17] 제 14 항에 있어서,상기 하부 지지 부재가 연결되는 보닛을 더 구비하고, 상기 보닛에는 상기 한 쌍의 변위 전달 부재의 하단부, 상기 원주 형상부의 상부, 상기 한 쌍의 암부 및 상기 탄성체가 수용되는 오목부와, 상기 원주 형상부의 하부가 슬라이딩 가능하게 삽입되는통과구멍형성되어있는것을특징으로 하는유량 제어 장치. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 출력부는 상기 원주 형상부의 하부 외주면에 형성한 환 형상 홈에 감합된 환 형상 밀봉 부재를 통해서 상기 통과 구멍에 슬라이딩 가능하게있는것을특징으로 하는유량 제어 장치. [청구항 19] 제 17 항에 있어서,상기 보닛은 상기 적층 압전 액츄에이터의 폭 치수와 동일 또는 동정도의치수형성되어있는것을특징으로 하는유량 제어 장치. [청구항 20] 제 14 항에 있어서,상기 밸브체의 하류측의 유로 내에 개재된 오리피스와, 상기 오리피스의 상류측의 유로 내의 압력을 검출하는 압력 검출기를 더 구비하고,상기 제어 장치는 상기 압력 검출기의 검출값에 의거하여상기압전구동밸브를개폐제어하는것을특징으로 하는유량 제어 장치. [청구항 21] 제 14 항에 있어서,상기 보디에 연결되고 상기 보디의 상류측의 유로에 연통하는 입구측 유로를 갖는 입구측 블록과, 상기 보디에 연결되고 상기 보디의 하류측의 유로에 연통하는 출구측 유로를 가짐과 아울러, 상기 출구측 유로 내의 압력을 검출하는 압력 검출기를 설치한출구측블록더구비하고있는것을특징으로 하는유량 제어 장치.