최종산출물 · 특허 지식베이스

평면디스플레이용 화학 기상 증착장치

uuid
c0d74655-7a8c-52a0-a530-a9cd269a2908
출원번호
1020060009620
출원연도
2006
IPC
C23C 16/458
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 승강지지부는, 상기 리프트 핀의 상기 기판로딩부에 대한 상대적 승강 운동이 구름운동되도록상기리프트 핀을접촉지지하는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 승강지지부는베어링인것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 승강지지부는,상기 리프트 핀이 배치되는 상기 기판로딩부의 핀홀에 마련되고 내부로 상기 리프트 핀이 통과하는 베어링본체; 및상기 베어링본체의 내면에 마련되어 상기 리프트 핀을 구름운동시키는복수의롤러포함하는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 복수의 롤러는 상기 베어링본체의 내면에서 원주방향을 따라상호등각도간격배열되어있는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 복수의 롤러는 상기 리프트 핀의 길이방향을 따라복수의열배열되어있는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 승강지지부는 상기 기판로딩부의 내부에매입되게결합되어있는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 리프트 핀과 상기 승강지지부는 세라믹(ceramic)재질제작되는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 리프트 핀은 상기 서셉터와 함께 승강하되,상기 리프트 핀은 상기 서셉터의 하강시 상단이 상기 기판로딩부의 상면에서 상방으로 소정 높이 돌출되고, 상기 서셉터의 상승시 상기 평면디스플레이가 상기 기판로딩부의 상면에 로딩될 수하강하는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 평면디스플레이는 lcd(liquid crystal display)용대형유리기판인것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
평면디스플레이용 화학 기상 증착장치에서 승강지지부가 베어링인 경우, 해당 승강지지의 세부 구성 요소와 각 구성 요소의 배치 관계는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    승강지지부가 베어링인 경우의 세부 구성 요소와 그들 사이의 배치 관계를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 4, 5, 6, 7을 통해 베어링의 구성 요소인 베어링본체와 복수의 롤러, 그리고 이들의 배치 방식을 추출한다.

    • 베어링본체; 및상기 베어링본체의 내면에 마련되어 상기 리프트 핀을 구름운동시키는복수의롤러
    • 상기 복수의 롤러는 상기 베어링본체의 내면에서 원주방향을 따라상호등각도간격배열
    • 상기 복수의 롤러는 상기 리프트 핀의 길이방향을 따라복수의열배열
    • 상기 승강지지부는 상기 기판로딩부의 내부에매입되게결합
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에 직접적으로 대응하는 구성 요소(베어링본체, 롤러)와 배치 관계(원주방향 등각도 간격, 길이방향 복수의 열 배열, 기판로딩부 내 매입)를 선별한다.

    • 베어링본체; 및상기 베어링본체의 내면에 마련되어 상기 리프트 핀을 구름운동시키는복수의롤러
    • 상기 복수의 롤러는 상기 베어링본체의 내면에서 원주방향을 따라상호등각도간격배열
    • 상기 복수의 롤러는 상기 리프트 핀의 길이방향을 따라복수의열배열
    • 상기 승강지지부는 상기 기판로딩부의 내부에매입되게결합
  4. 4논리 통합logical_integration

    베어링은 베어링본체와 롤러로 구성되며, 롤러는 본체 내면에 원주방향으로 등각도 간격 배치되고, 길이방향으로도 여러 열로 배열되어 기판로딩부에 매입된 구조임을 통합한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    추출된 정보를 바탕으로 구성 요소와 배치 관계를 구조화하여 답변을 구성한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대한 최종 답변을 구조화된 형식으로 작성한다.

근거 (evidence)
  • 베어링본체; 및상기 베어링본체의 내면에 마련되어 상기 리프트 핀을 구름운동시키는복수의롤러
  • 상기 복수의 롤러는 상기 베어링본체의 내면에서 원주방향을 따라상호등각도간격배열
  • 상기 복수의 롤러는 상기 리프트 핀의 길이방향을 따라복수의열배열
  • 상기 승강지지부는 상기 기판로딩부의 내부에매입되게결합
최종 답변 (final_answer)
승강지지부가 베어링인 경우의 세부 구성 요소와 배치 관계는 다음과 같다. 1. 구성 요소 - 베어링본체: 기판로딩부의 핀홀에 마련되며 내부로 리프트 핀이 통과함 - 복수의 롤러: 베어링본체의 내면에 마련되어 리프트 핀을 구름운동시킴 2. 배치 관계 - 롤러의 원주 방향 배치: 베어링본체의 내면에서 원주방향을 따라 상호등각도 간격으로 배열됨 - 롤러의 길이 방향 배치: 리프트 핀의 길이방향을 따라 복수의 열로 배열됨 - 전체 배치: 승강지지부는 기판로딩부의 내부에 매입되게 결합됨
핵심 해석 (core_interpretation)
리프트 핀의 원활한 승강 운동을 위해 기판로딩부 내부에 매입된 베어링 구조를 정의하며, 베어링본체 내부에 롤러를 원주 방향 및 길이 방향으로 정밀하게 배열하여 구름운동을 구현하는 기술이다.