문맥 (context)
[청구항 6]
플라즈마 유출구를 가지는 용기와, 상기 용기의 내부에 설치되어, 방전에 의해 플라즈마를 발생하는 캐소드와, 상기 용기의 내부를 배기 및 밀봉하기 위한 배기밸브를 가지는 플라즈마 건
플라즈마 유입구를 가지며, 내부가 상기 플라즈마 유입구 및 플라즈마 유출구를 통하여 상기 용기의 내부와 연통하도록 배치되며, 내부를 감압할 수 있는 성막실
상기 플라즈마 유입구와 상기 캐소드 사이에 위치할 수 있게 설치되어, 상기 캐소드에서 발생한 플라즈마 를 받을 수 있는 보조애노드
상기 캐소드의 방전에 의해 발생하는 플라즈마가 상기 플라즈마 유입구로부터 유입하는 것을 저지 및 허용하는 플라즈마 유출 저지/허용장치
상기 성막실의 내부에 설치된 주애노드
상기 플라즈마를 통과시키도록 상기 캐소드와 상기 보조 애노드 사이에 배치된 전자코일
상기 캐소드에 음극이 접속된 직류전원; 및
제어장치의 제어에 따라, 상기 직류전원의 양극을 상기 주애노드와 상기 보조애노드에 선택적으로 접속하기 위한 선택 스위치를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 건 성막장치
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 성막실의 내부에, 기재홀더 및 성막재료를 수용하고 증발시키는 하스가 설치되고, 상기 하스가 상기 주애노드로 구성되어 있고, 상기 하스가 받는 상기 플라즈마에 의해 상기 하스에 수용된 성막재료가 증발되어, 상기 기재홀더에 지지된기재상성막되는것을특징으로 하는플라즈마 건 성막장치.
[청구항 8]
제6항에 있어서,상기 용기와 상기 성막실 사이에 설치된 시트 플라즈마 변형실 및시트 플라즈마 변형기구를 구비하고,상기 시트 플라즈마 변형실은, 상기 성막실의 내부와 상기 플라즈마 유입구를 통하여 연통되고, 상기 용기의 내부와 상기 플라즈마 유출구를 통하여 연통하도록 설치되고,상기 플라즈마 건은, 상기 용기 내에 원주상 플라즈마가 형성되어 상기 플라즈마 유출구로부터 유출하도록 구성되고,상기 유출한 상기 원주상 플라즈마가 상기 시트 플라즈마 변형실에 있어서 상기 시트 플라즈마 변형기구에 의해 시트 플라즈마로 변형되고,상기 성막실에 있어서, 상기 시트 플라즈마 변형실로부터 유입되어 상기 주애노드를 향하는 상기 시트 플라즈마를 이용하여 성막이 행해지는것을특징으로 하는플라즈마 건 성막장치.
[청구항 9]
제6항에 있어서,상기 플라즈마 유출 저지/허용 장치는, 상기 플라즈마 유출구를 개폐 자유롭게 하는 개폐부재와 상기 개폐부재를 개폐구동하는 구동장치를 가지며,상기 보조애노드는고리형형성되어있는것을특징으로 하는플라즈마 건 성막장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 보조애노드는,상기캐소드와상기개폐부재사이설치되어있는것을특징으로 하는플라즈마 건 성막장치.
[청구항 11]
제6항에 있어서,상기 플라즈마 유출 저지/허용 장치는, 상기 플라즈마 유출구를 개폐 자유롭게 하는 개폐부재와 상기 개폐부재를 개폐구동하는 구동장치를 가지며,상기 보조애노드가, 상기 개폐부재가 상기 플라즈마 유출구를 폐쇄했을 때 상기 캐소드와 대향하도록상기개폐부재설치되어있는것을특징으로 하는플라즈마 건 성막장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 건 성막장치에서 성막재료가 증발되어 기재상에 성막되는 과정과 관련하여, 주애노드의 구성 및 역할은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플라즈마 건 성막장치에서 주애노드의 구성 요소와 성막 과정에서의 역할을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7을 통해 주애노드가 하스로 구성되어 있으며, 성막재료를 수용하고 증발시키는 역할을 함을 추출한다.
- 상기 하스가 상기 주애노드로 구성되어 있고, 상기 하스가 받는 상기 플라즈마에 의해 상기 하스에 수용된 성막재료가 증발되어, 상기 기재홀더에 지지된기재상성막되는것을특징으로 하는플라즈마 건 성막장치
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3근거 선택
evidence_selection주애노드의 구성인 '하스'와 역할인 '성막재료의 증발 및 성막 유도'에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 하스가 상기 주애노드로 구성되어 있고, 상기 하스가 받는 상기 플라즈마에 의해 상기 하스에 수용된 성막재료가 증발되어, 상기 기재홀더에 지지된기재상성막되는것을특징으로 하는플라즈마 건 성막장치
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4논리 통합
logical_integration주애노드는 하스(Hass)로 구성되며, 플라즈마를 받아 하스 내의 성막재료를 증발시킴으로써 기재상에 성막이 이루어지게 하는 역할을 수행함을 통합한다.
- 상기 하스가 상기 주애노드로 구성되어 있고, 상기 하스가 받는 상기 플라즈마에 의해 상기 하스에 수용된 성막재료가 증발되어, 상기 기재홀더에 지지된기재상성막되는것을특징으로 하는플라즈마 건 성막장치
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5결론 도출
conclusion_formulation주애노드는 하스로 구성되며, 플라즈마를 통해 성막재료를 증발시켜 기재에 성막되도록 하는 역할을 한다.
- 상기 하스가 상기 주애노드로 구성되어 있고, 상기 하스가 받는 상기 플라즈마에 의해 상기 하스에 수용된 성막재료가 증발되어, 상기 기재홀더에 지지된기재상성막되는것을특징으로 하는플라즈마 건 성막장치
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 상기 하스가 상기 주애노드로 구성되어 있고, 상기 하스가 받는 상기 플라즈마에 의해 상기 하스에 수용된 성막재료가 증발되어, 상기 기재홀더에 지지된기재상성막되는것을특징으로 하는플라즈마 건 성막장치
근거 (evidence)
- 상기 하스가 상기 주애노드로 구성되어 있고, 상기 하스가 받는 상기 플라즈마에 의해 상기 하스에 수용된 성막재료가 증발되어, 상기 기재홀더에 지지된기재상성막되는것을특징으로 하는플라즈마 건 성막장치
최종 답변 (final_answer)
주애노드는 하스(Hass)로 구성되며, 하스가 받는 플라즈마에 의해 하스에 수용된 성막재료를 증발시켜 기재홀더에 지지된 기재상에 성막되도록 하는 역할을 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 주애노드를 성막재료를 수용하는 하스로 구성함으로써, 플라즈마를 이용해 성막재료를 증발시켜 기재에 직접 성막하는 구조를 특징으로 한다.