문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 연마 입자는 입자의 메디안 크기가 20 내지 150nm인크기의연마입자포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 3]
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 연마 입자는 입자의 메디안 크기가 10 내지 120nm인 크기의 1차 입자를 포함하고, 상기 1차 입자는 입자의 메디안 크기가 10 내지 100nm인크기의결정립포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 5]
청구항 4에 있어서,상기 유기 금속 알콕사이드로는 메틸 트리메톡실레인(mtms), 패닐 트리메톡실레인(ptms) 및 비닐 트리메톡실레인(vtms)중하나인것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기 연마 입자의 유기치환도가 0.02내지인것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 7]
청구항 1에 있어서,상기 슬러리는친수성화첨가제더포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 8]
청구항 7에 있어서,상기 친수성화 첨가제는 알킬 에톡실레이트(alkyl ethoxylate), 직쇄 알킬벤젠 설포네이트(las), 알킬디케틸 아민 옥사이드 및 알킬 카르복시 베타인(alkyl carboxy betaine)중하나인것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 9]
청구항 7 또는 청구항 8에 있어서,상기 친수성화 첨가제는 0.0001내지포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 10]
청구항 7 또는 청구항 8에 있어서,상기 친수성화 첨가제는 분자량이 2,000(g/mol) 내지 50,000(g/mol)인폴리머포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 11]
청구항 1에 있어서,상기 슬러리는순수및고분자 분산제더포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 12]
청구항 11에 있어서,상기 고분자 분산제는 폴리 에틸렌 글리콜(poly ethlyene glycol), 중합 양성 전해질(polyampholyte) 및 포타슘 노나논 산(potassum nonanoic acid)중하나인것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 13]
청구항 11 또는 청구항 12에 있어서,상기 고분자 분산제는 0.0001내지포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 14]
청구항 11 또는 청구항 12에 있어서,상기 고분자 분산제는 분자량이 2,000(g/mol) 내지 50,000(g/mol)인폴리머포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 15]
청구항 1에 있어서,상기 슬러리는 약산,유기산또는약염기더포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 16]
청구항 1에 있어서,상기 슬러리는구리막연마용첨가제더포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
[청구항 17]
청구항 16에 있어서,상기 구리막 연마용 첨가제는 질소화물, 과산화수소수, 질산, 질산암묘늄, 질산철, 질산구리, 유기산 및 벤조트리아졸 중에서 선택된하나또는둘이상의혼합물포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
CMP용 슬러리에 포함되는 친수성화 첨가제의 종류와 해당 첨가제가 폴리머인 경우의 분자량 범위를 기술하시오.
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretationCMP용 슬러리에 포함되는 친수성화 첨가제의 종류와, 해당 첨가제가 폴리머일 경우의 분자량 범위를 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8에서 친수성화 첨가제의 종류를, 청구항 10에서 폴리머인 경우의 분자량 범위를 확인한다.
- 친수성화 첨가제는 알킬 에톡실레이트(alkyl ethoxylate), 직쇄 알킬벤젠 설포네이트(las), 알킬디케틸 아민 옥사이드 및 알킬 카르복시 베타인(alkyl carboxy betaine)중하나인것을특징으로 하는cmp용 슬러리
- 상기 친수성화 첨가제는 분자량이 2,000(g/mol) 내지 50,000(g/mol)인폴리머포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 청구항 8과 청구항 10의 구절을 선택한다.
- 친수성화 첨가제는 알킬 에톡실레이트(alkyl ethoxylate), 직쇄 알킬벤젠 설포네이트(las), 알킬디케틸 아민 옥사이드 및 알킬 카르복시 베타인(alkyl carboxy betaine)중하나인것을특징으로 하는cmp용 슬러리
- 상기 친수성화 첨가제는 분자량이 2,000(g/mol) 내지 50,000(g/mol)인폴리머포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리
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4논리 통합
logical_integration추출된 첨가제 종류 리스트와 폴리머 조건에서의 분자량 수치를 결합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation친수성화 첨가제의 종류는 4가지이며, 폴리머일 경우 분자량 범위는 2,000(g/mol) 내지 50,000(g/mol)임을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에서 요구한 형식에 맞춰 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 친수성화 첨가제는 알킬 에톡실레이트(alkyl ethoxylate), 직쇄 알킬벤젠 설포네이트(las), 알킬디케틸 아민 옥사이드 및 알킬 카르복시 베타인(alkyl carboxy betaine)중하나인것을특징으로 하는cmp용 슬러리
- 상기 친수성화 첨가제는 분자량이 2,000(g/mol) 내지 50,000(g/mol)인폴리머포함하는것을특징으로 하는cmp용 슬러리
최종 답변 (final_answer)
1. 친수성화 첨가제의 종류: 알킬 에톡실레이트(alkyl ethoxylate), 직쇄 알킬벤젠 설포네이트(las), 알킬디케틸 아민 옥사이드, 알킬 카르복시 베타인(alkyl carboxy betaine)
2. 폴리머인 경우의 분자량 범위: 2,000(g/mol) 내지 50,000(g/mol)
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 CMP용 슬러리에 특정 종류의 친수성화 첨가제를 포함하며, 특히 해당 첨가제가 폴리머인 경우 특정 분자량 범위를 갖도록 하여 슬러리의 특성을 조절하는 기술에 관한 것이다.