박막증착장치

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 공정영역은 상기 기판과 가스공급부가 위치한 영역으로 정의되고, 상기 구동영역은 상기 기판이동부가 위치한영역정의되는것을특징으로 하는박막증착장치. 제1항에 있어서,상기 구획수단은 상기 가스공급부와 기판이동부를 구획하는격벽포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 격벽은 상기 챔버에서연장형성되는것을특징으로 하는박막증착장치. 제2항에 있어서,상기 구획수단은 상기 가스공급부와 기판이동부를 구획하는 격벽을 포함하고, 상기 격벽은 상기 챔버에서연장형성되는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항4] 제3항에 있어서,상기 격벽의 단부는 상기 기판지지부와 소정거리 이격되어 상기 기판지지부가 이동할 수 있는공간구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제3항에 있어서,상기 격벽의 단부는 상기 기판지지부와 소정거리 이격되어 상기 기판지지부가 이동할 수 있는공간구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항5] 제2항에 있어서,상기 가열부는 상기 기판의 이동경로를 따라 상기 기판의 아래쪽에 구비되며, 상기 격벽은상기가열부의아래쪽구비되는것을특징으로 하는박막증착장치. 제3항에 있어서,상기 가열부는 상기 기판의 이동경로를 따라 상기 기판의 아래쪽에 구비되며, 상기 격벽은상기가열부의아래쪽구비되는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항6] 제2항에 있어서,상기 기판지지부는 기판이 안착되는 서셉터와 상기 서셉터의 하부에 구비되는 하부지지부와, 상기 하부지지부와 서셉터를 연결함과 동시에 상기 기판이동부에 연결되는 연결부를 구비하며,상기 격벽은 상기 챔버에서 상기 서셉터와 하부지지부 사이의 공간으로연장형성되는것을특징으로 하는박막증착장치. 제3항에 있어서,상기 기판지지부는 기판이 안착되는 서셉터와 상기 서셉터의 하부에 구비되는 하부지지부와, 상기 하부지지부와 서셉터를 연결함과 동시에 상기 기판이동부에 연결되는 연결부를 구비하며,상기 격벽은 상기 챔버에서 상기 서셉터와 하부지지부 사이의 공간으로연장형성되는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항7] 제3항에 있어서,상기 격벽은 상기 기판이동부의 적어도 일부를 덮도록 상기 기판이동부의상부구비되는것을특징으로 하는박막증착장치. 제2항에 있어서,상기 격벽은 상기 기판이동부의 적어도 일부를 덮도록 상기 기판이동부의상부구비되는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항8] 제3항에 있어서,상기 이동경로는 소정거리 이격되어 평행하게 배치된 한 쌍의 직선경로와 상기 한 쌍의 직선경로를 연결하는 한 쌍의 곡선경로를 포함하고,상기 구획수단은 상기 이동경로의 중앙부에 구비된구획부더구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제2항에 있어서,상기 이동경로는 소정거리 이격되어 평행하게 배치된 한 쌍의 직선경로와 상기 한 쌍의 직선경로를 연결하는 한 쌍의 곡선경로를 포함하고,상기 구획수단은 상기 이동경로의 중앙부에 구비된구획부더구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항9] 제8항에 있어서,상기 챔버는 내부에 소정의 공간을 구비하며 상부가 개구된 챔버몸체와 상기 챔버몸체의 개구된 상부를 개폐하는 챔버리드를 포함하고, 상기 구획부는상기챔버리드구비되는것을특징으로 하는박막증착장치. 제8항에 있어서,상기 챔버는 내부에 소정의 공간을 구비하며 상부가 개구된 챔버몸체와 상기 챔버몸체의 개구된 상부를 개폐하는 챔버리드를 포함하고, 상기 구획부는상기챔버리드구비되는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항10] 제9항에 있어서,상기 격벽의 단부와 상기 구획부는 소정거리 이격되어 구비되고, 상기 기판지지부는 상기 격벽과 상기 구획부 사이의 공간을 통하여 상기 기판이동부연결되는것을특징으로 하는박막증착장치. 제9항에 있어서,상기 격벽의 단부와 상기 구획부는 소정거리 이격되어 구비되고, 상기 기판지지부는 상기 격벽과 상기 구획부 사이의 공간을 통하여 상기 기판이동부연결되는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항11] 제10항에 있어서,상기 격벽과 상기 구획부 사이의 공간으로 퍼지가스가 공급되도록상기가스공급부조절하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제10항에 있어서,상기 격벽과 상기 구획부 사이의 공간으로 퍼지가스가 공급되도록상기가스공급부조절하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항12] 제1항에 있어서,상기 구획수단은 상기 가스공급부와 상기 기판이동부 사이의 상기 기판을 향해서 불활성가스를 공급하는구획가스공급부포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제2항에 있어서,상기 구획수단은 상기 가스공급부와 상기 기판이동부 사이의 상기 기판을 향해서 불활성가스를 공급하는구획가스공급부포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항13] 제12항에 있어서,상기 구획가스공급부는상기챔버구비되는것을특징으로 하는박막증착장치. 제12항에 있어서,상기 구획가스공급부는상기챔버구비되는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항14] 제2항에 있어서,상기 기판이동부에 인접하여자성부재구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제1항에 있어서,상기 기판이동부에 인접하여자성부재구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항15] 제14항에 있어서,상기 기판이동부는 상기 기판지지부가 연결되어 연동하는 동력전달부재, 상기 동력전달부재를 상기 이동경로를 따라 이동시키는 구동부 및 상기 기판지지부가 이동 가능하게 지지하는 가이드부를 구비하며,상기 자성부재는 상기 구동부 또는 가이드부에 인접하여구비되는것을특징으로 하는박막증착장치. 제14항에 있어서,상기 기판이동부는 상기 기판지지부가 연결되어 연동하는 동력전달부재, 상기 동력전달부재를 상기 이동경로를 따라 이동시키는 구동부 및 상기 기판지지부가 이동 가능하게 지지하는 가이드부를 구비하며,상기 자성부재는 상기 구동부 또는 가이드부에 인접하여구비되는것을특징으로 하는박막증착장치.