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재분배층 적용을 위한 실록산 에폭시 중합체

uuid
c5fc1297-ea48-5b9e-995a-6c934e0b12bd
출원번호
1020087029076
출원연도
2007
IPC
C08L
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항4] 제 1 항에 있어서,실록산 에폭시 예비중합체 필름이, 1) 하기 화학식 ii의 화합물, 2) 양이온 중합 개시제, 및 3) 선택적으로 감광제를 포함하는 방법:화학식 ii 상기 화학식에서, r1 및 r2는 메틸, 메톡시, 에틸, 에톡시, 프로필, 부틸, 펜틸, 옥틸, 페닐 및 플루오로알킬로 이루어진 군으로부터 독립적선택되며; r3은 메틸 또는 에틸이고; p는 2 내지 50의 정수이며; q는 0 또는 1 내지 50의 정수이다. [청구항6] 제 5 항에 있어서,상기 양이온 중합 개시제가 하기 화학식 iii 내지 vii을 가지는 디아릴요오도늄 염으로 이루어진 군으로부터 선택되는 요오도늄 염인 방법:화학식 iii화학식 iv화학식 v화학식 vi화학식 vii상기 화학식 iii 내지 vii에서,각각의 r11은 독립적으로 수소, c1~c20 알킬, c1~c20 알콕시, c1~c20 하이드록시알콕시, 할로겐 및 질소이고; r12는 c1~c30 알킬 또는 c1~c30 사이클로알킬이며; y 및 z은 각각 독립적으로 5 이상의 정수이고;[a]-는 [bf4]-, [pf6]-, [asf6]-, [sbf6]-, [b(c6f5)4]- 및 [ga(c6f5)4]-로 이루어진 군선택되는비-친핵성 음이온이다. [청구항7] 제 4 항에 있어서,상기 화학식ii의 화합물이 하기 화학식 i의화합물인방법:화학식 i상기 화학식에서 m은 5 내지 50의 정수이다. [청구항8] 제 4 항에 있어서,상기 화학식ii의 화합물이 하기 화학식 iia의화합물인방법:화학식 iia [청구항12] 제 11 항에 있어서,상기 양이온 중합 개시제가 하기 화학식 iii 내지 vii을 가지는 디아릴요오도늄 염으로 이루어진 군으로부터 선택되는 요오도늄 염인 방법:화학식 iii화학식 iv화학식 v화학식 vi화학식 vii상기 화학식 iii 내지 vii에서,각각의 r11은 독립적으로 수소, c1~c20 알킬, c1~c20 알콕시, c1~c20 하이드록시알콕시, 할로겐 및 질소이고; r12는 c1~c30 알킬 또는 c1~c30 사이클로알킬이며; y 및 z은 각각 독립적으로 5 이상의 정수이고;[a]-는 [bf4]-, [pf6]-, [asf6]-, [sbf6]-, [b(c6f5)4]- 및 [ga(c6f5)4]-로 이루어진 군선택되는비-친핵성 음이온이다. [청구항15] 제 10 항에 있어서,상기 화학식ii의 화합물이 하기 화학식 iia의 화합물인 방법:화학식 iia 상기 화학식에 있어서,r1 및 r2는 메틸, 메톡시, 에틸, 에톡시, 프로필, 부틸, 펜틸, 옥틸, 페닐 및 플루오로알킬로 이루어진 군으로부터 독립적선택되며; p는 2 내지 50의 정수이고; q는 0 또는 1 내지 50의 정수이다. [청구항16] 제 10 항에 있어서,상기 화학식ii의 화합물이 하기 화학식 i의화합물인방법:화학식 i상기 화학식에서 m은 5 내지 50의 정수이다. [청구항21] 제 18 항에 있어서,실록산 에폭시 예비중합체 필름이, 1) 하기 화학식 ii의 화합물, 2) 양이온 중합 개시제, 및 3) 선택적으로 감광제를 포함하는 방법:화학식 ii 상기 화학식에서, r1 및 r2는 메틸, 메톡시, 에틸, 에톡시, 프로필, 부틸, 펜틸, 옥틸, 페닐 및 플루오로알킬로 이루어진 군으로부터 독립적선택되며; r3은 메틸 또는 에틸이고; p는 2 내지 50의 정수이며; q는 0 또는 1 내지 50의 정수이다. [청구항23] 제 22 항에 있어서,상기 양이온 중합 개시제가 하기 화학식 iii 내지 vii을 가지는 디아릴요오도늄 염으로 이루어진 군으로부터 선택되는 요오도늄 염인 방법:화학식 iii화학식 iv화학식 v화학식 vi화학식 vii상기 화학식 iii 내지 vii에서,각각의 r11은 독립적으로 수소, c1~c20 알킬, c1~c20 알콕시, c1~c20 하이드록시알콕시, 할로겐 및 질소이고; r12는 c1~c30 알킬 또는 c1~c30 사이클로알킬이며; y 및 z은 각각 독립적으로 5 이상의 정수이고;[a]-는 [bf4]-, [pf6]-, [asf6]-, [sbf6]-, [b(c6f5)4]- 및 [ga(c6f5)4]-로 이루어진 군선택되는비-친핵성 음이온이다. [청구항24] 제 21 항에 있어서,상기 화학식ii의 화합물이 화학식 i의화합물인방법:화학식 i상기 화학식에서 m은 5 내지 50의 정수이다. [청구항25] 제 21 항에 있어서,상기 화학식ii의 화합물이 화학식 iia의화합물인방법:화학식 iia [청구항30] 제 18 항에 있어서,상기 임프린트 템플릿이, 1.0 나노미터 내지 10 마이크론으로 측정되는 하나 이상의 치수를 갖는 패턴을 그 위에 갖는 템플릿을 제공하는 단계; 상기 템플릿에 정합성 파릴렌 예비중합체 필름을 침착시키는 단계; 및 상기 파릴렌 예비중합체 필름을 중합반응시켜서 하기 화학식 ix의 반복단위를 포함하는 중합체를 갖는 임프린트 템플릿을 형성하는 단계를 포함하는방법에의해서형성되는방법:화학식 ix상기 화학식에서 n은 2000 내지 4000이다. [청구항32] 제 31 항에 있어서,상기 하나 이상의 재분배층이 그 위에 1.0 nm내지측정되는포함하는소자.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
실록산 에폭시 예비중합체 필름을 포함하는 방법에서, 양이온 중합 개시제가 디아릴요오도늄 염일 때 화학식 iii 내지 vii의 구성 요소인 r11, r12, y, z 및 비-친핵성 음이온 [a]-의 구체적인 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    양이온 중합 개시제가 디아릴요오도늄 염일 때의 화학적 구성 요소(r11, r12, y, z, [a]-)를 추출해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 6 및 12, 23에서 디아릴요오도늄 염에 관한 화학식 iii 내지 vii의 상세 조건을 확인한다.

    • 상기 양이온 중합 개시제가 하기 화학식 iii 내지 vii을 가지는 디아릴요오도늄 염으로 이루어진 군으로부터 선택되는 요오도늄 염인 방법
    • 각각의 r11은 독립적으로 수소, c1~c20 알킬, c1~c20 알콕시, c1~c20 하이드록시알콕시, 할로겐 및 질소이고
    • r12는 c1~c30 알킬 또는 c1~c30 사이클로알킬이며
    • y 및 z은 각각 독립적으로 5 이상의 정수이고
    • [a]-는 [bf4]-, [pf6]-, [asf6]-, [sbf6]-, [b(c6f5)4]- 및 [ga(c6f5)4]-로 이루어진 군선택되는비-친핵성 음이온이다
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에서 요구하는 r11, r12, y, z, [a]-에 해당하는 문구들을 선별한다.

    • r11은 독립적으로 수소, c1~c20 알킬, c1~c20 알콕시, c1~c20 하이드록시알콕시, 할로겐 및 질소
    • r12는 c1~c30 알킬 또는 c1~c30 사이클로알킬
    • y 및 z은 각각 독립적으로 5 이상의 정수
    • [a]-는 [bf4]-, [pf6]-, [asf6]-, [sbf6]-, [b(c6f5)4]- 및 [ga(c6f5)4]-로 이루어진 군선택되는비-친핵성 음이온
  4. 4논리 통합logical_integration

    추출된 각 구성 요소의 정의를 결합하여 구조화된 답변을 구성한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    r11, r12, y, z의 조건과 [a]-의 종류를 명확히 정리한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    최종 답변을 작성한다.

근거 (evidence)
  • 상기 양이온 중합 개시제가 하기 화학식 iii 내지 vii을 가지는 디아릴요오도늄 염으로 이루어진 군으로부터 선택되는 요오도늄 염인 방법
  • 각각의 r11은 독립적으로 수소, c1~c20 알킬, c1~c20 알콕시, c1~c20 하이드록시알콕시, 할로겐 및 질소이고
  • r12는 c1~c30 알킬 또는 c1~c30 사이클로알킬이며
  • y 및 z은 각각 독립적으로 5 이상의 정수이고
  • [a]-는 [bf4]-, [pf6]-, [asf6]-, [sbf6]-, [b(c6f5)4]- 및 [ga(c6f5)4]-로 이루어진 군선택되는비-친핵성 음이온이다
  • r11은 독립적으로 수소, c1~c20 알킬, c1~c20 알콕시, c1~c20 하이드록시알콕시, 할로겐 및 질소
  • r12는 c1~c30 알킬 또는 c1~c30 사이클로알킬
  • y 및 z은 각각 독립적으로 5 이상의 정수
  • [a]-는 [bf4]-, [pf6]-, [asf6]-, [sbf6]-, [b(c6f5)4]- 및 [ga(c6f5)4]-로 이루어진 군선택되는비-친핵성 음이온
최종 답변 (final_answer)
양이온 중합 개시제가 디아릴요오도늄 염(화학식 iii 내지 vii)인 경우의 조건은 다음과 같다. 1. r11: 독립적으로 수소, c1~c20 알킬, c1~c20 알콕시, c1~c20 하이드록시알콕시, 할로겐 및 질소 2. r12: c1~c30 알킬 또는 c1~c30 사이클로알킬 3. y 및 z: 각각 독립적으로 5 이상의 정수 4. [a]- (비-친핵성 음이온): [bf4]-, [pf6]-, [asf6]-, [sbf6]-, [b(c6f5)4]- 및 [ga(c6f5)4]-로 이루어진 군으로부터 선택됨
핵심 해석 (core_interpretation)
디아릴요오도늄 염을 포함하는 양이온 중합 개시제의 화학적 구조 조건(치환기 r11, r12 및 정수 y, z)과 비-친핵성 음이온 [a]-의 구체적인 종류를 정의함.