문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 제1헤드와 상기 제2헤드로 공급되는상기공정가스각각상이한것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
제1항에 있어서,상기 제1헤드와 상기 제2헤드로 공급되는 상기 제1및제2공정가스각각상이한것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 제1가스공급관과 상기 제2가스공급관으로 공급되는상기공정가스동일한것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
[청구항4]
제3항에 있어서,상기 제1가스공급부는 상기 헤드들의 판면에 대해 원형 형상의 폐루프의 링 형상으로 마련되며,상기 제1가스공급부로부터의 상기 공정가스는 원주로부터 중심을 향해공급되는것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
제2항에 있어서,상기 제1가스공급부는 상기 헤드들의 판면에 대해 원형 형상의 폐루프의 링 형상으로 마련되며,상기 제1가스공급부로부터의 상기 공정가스들 중 어느 하나는 원주로부터 중심을 향해공급되는것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
[청구항6]
제5항에 있어서,상기 샤워헤드 어셈블리의 상기 제1가스공급부는 상기 가스공급유닛에 연결되어, 상기 가스공급유닛으로부터 공급된 상기 공정가스를 상기 제1헤드와 상기 제2헤드 중 어느 하나의 내부 중심 영역을 향해공급하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제5항에 있어서,상기 샤워헤드 어셈블리의 상기 제1가스공급부는 상기 가스공급유닛에 연결되어, 상기 가스공급유닛으로부터 공급된 상기 공정가스들 중 어느 하나를 상기 제1헤드와 상기 제2헤드 중 해당된 어느 하나의 내부 중심 영역을 향해공급하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항7]
제6항에 있어서,상기 샤워헤드 어셈블리의 상기 제2가스공급부는 상기 가스공급유닛에 연결되어, 상기 가스공급유닛으로부터 공급된상기공정가스를상기챔버내부분사하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제6항에 있어서,상기 샤워헤드 어셈블리의 상기 제2가스공급부는 상기 가스공급유닛에 연결되어, 상기 가스공급유닛으로부터 공급된 상기 공정가스들 중 어느하나를상기챔버내부분사하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항8]
제6항에 있어서,상기 제1가스공급부로부터 공급된 상기 공정가스는 상기 제1가스공급부가 배치된 상기 제1헤드와 상기 제2헤드 중 어느 하나의 상기 분사부를 통해상기챔버내부분사되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제6항에 있어서,상기 제1가스공급부로부터 공급된 상기 공정가스들 중 어느 하나는 상기 제1가스공급부가 배치된 상기 제1헤드와 상기 제2헤드 중 해당된 어느 하나의 상기 분사부를 통해상기챔버내부분사되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제4항에 따른 제1가스공급부의 형상은 어떠하며, 공정가스는 어떤 방향으로 공급되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제4항을 바탕으로 제1가스공급부의 형상과 가스 공급 방향을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction제4항에서 제1가스공급부의 형상과 가스 공급 경로에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 제1가스공급부는 상기 헤드들의 판면에 대해 원형 형상의 폐루프의 링 형상으로 마련되며
- 상기 제1가스공급부로부터의 상기 공정가스는 원주로부터 중심을 향해공급되는것을특징으로 하는
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 형상 정보와 방향 정보를 선별한다.
- 원형 형상의 폐루프의 링 형상
- 원주로부터 중심을 향해공급
-
4논리 통합
logical_integration추출된 형상 정보와 방향 정보를 결합하여 문장을 구성한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation제1가스공급부는 링 형상이며, 가스는 원주에서 중심으로 공급된다는 결론을 도출한다.
-
6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 제1가스공급부는 상기 헤드들의 판면에 대해 원형 형상의 폐루프의 링 형상으로 마련되며
- 상기 제1가스공급부로부터의 상기 공정가스는 원주로부터 중심을 향해공급되는것을특징으로 하는
- 원형 형상의 폐루프의 링 형상
- 원주로부터 중심을 향해공급
최종 답변 (final_answer)
제1가스공급부는 헤드들의 판면에 대해 원형 형상의 폐루프의 링 형상으로 마련되며, 공정가스는 원주로부터 중심을 향해 공급된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제4항에 명시된 제1가스공급부의 구조적 특징(링 형상)과 가스 흐름의 방향성(원주에서 중심 방향)을 확인하는 것이다.