문맥 (context)
[청구항 3]
제2항에 있어서,공급원은 카셋트에 있는 홈이고 목적지는 노의 가열 및/또는 처리 챔버에 끼워지는보우트에있는홈인웨이퍼 이송장치.
[청구항 4]
제2항에 있어서,공급원은 노의 가열 및/또는 처리챔버에 끼워지는 보우트에 있는 홈이고, 목적지는카셋트에있는홈인웨이퍼의 이송장치.
[청구항 5]
제2항에 있어서,상기 이송 단계전에 행해지는 측정으로 상기 공급원의 예상위치와 목적지의 예상위치를 찾기 위한 측정 수단포함하는웨이퍼 이송장치.
[청구항 6]
제2항에 있어서,웨이퍼의 양측 모서리를 감지하므로서 상기 편차량구하는센서 수단이 있는 웨이퍼 이송장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,고정된 센서가 있는 상기 센서수단과 웨이퍼의 상기 양측 모서리를 감지하기 위해 센서위이동된웨이퍼의 모서리가 있는 웨이퍼 이송장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,웨이퍼 로딩/언로딩 위치와 다른 위치에 있는 챔버 로딩/언로딩에서 보우트를 집고 되돌려 놓는 승강수단과, 보우트를 챔버 로딩/언로딩 위치와 웨이퍼 로딩/언로딩 위치간에 회전 이동시키는 회전 가능한 회전대를 포함하는 보우트 호울더 수단을 갖는 웨이퍼를 가열처리하는노.
[청구항 16]
제14항에 있어서,보우트의 홈이 일정하게 떨어져 서로 수직으로 배열되고, 카셋트의 홈이 일정하게 떨어져 서로 수직으로 배열되고, 웨이퍼 이송수단이 보우트와 카셋트간의 이송중 웨이퍼를 집고 운반하기 위해 수직으로 이동 가능하고 카셋트와 보우트에서의 출입이 방사상으로 가능하고, 또한 카셋트와 보우트간의 이송중원호상으로 이동 가능한 패들을 갖는 웨이퍼를 가열처리하는노.
[청구항 17]
제16항에 있어서,웨이퍼를 카셋트 또는 보우트로부터 빼낼 때 수반되는 패들의 방사 이동량을 감지하는 방사 센서를 포함하는 웨이퍼를 가열처리하는노.
[청구항 18]
제16항에 있어서,보우트또는 카셋트의 홈에 있는 웨이퍼의 수직위치를 감지하는 수직 센서수단을 포함하는 웨이퍼를 가열처리하는노.
[청구항 19]
제16항에 있어서,패들상의 웨이퍼 중심에 대한 패들 중심의 편차량을 감지 및 측정하는 쎄타 센서수단을 포함하는 웨이퍼를 가열처리하는노.
[청구항 20]
제16항에 있어서,패들을 각기 수직, 방사 및 회전 방향으로 이동시키는 수직, 방시 및 회전 모우터 구동수단과 수직, 방사 및 회전모우터 수단의 작동을 제어하는 제어기 수단을 포함하는 웨이퍼를 가열처리하는노.
[청구항 21]
제20항에 있어서 웨이퍼를 카셋트 또는 보우트로부터 빼낼 때 수반되는 패들의 방사 이동량을 감지하는 방사센서 수단과, 보투트의 홈 또는 카셋트의 홈에 있는 웨이퍼의 수직위치를 감지하는 수직 센서수단과 패들상에 웨이퍼 중심에 대한 패들중심의 편차량을 감지 및 측정하는 쎄타센서 수단을 포함하고 제어기 수단과 효과적으로 관계되어 측정에 의한 세개의 좌표로 각 홈에서의 웨이퍼의 예상중심을 구하고 이송중에 웨이퍼 중심에 대한 패들 중심의 측면편차를 요구되는 편차량 만큼 패들을 재위치시켜 보상하므로서, 웨이퍼를 집을 때 야기되는 어떠한 실수도 제거하고 웨이퍼 이송수단이 매우 중요한 웨이퍼 이송에 대한 모든 유효공차를 유지하게 함을 특징으로 한 웨이퍼를 가열처리하는노.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
웨이퍼 이송장치에서 이송 단계 이전에 공급원과 목적지의 예상 위치를 파악하기 위해 수행되는 측정은 무엇을 위한 것인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation웨이퍼 이송장치에서 이송 단계 전 수행되는 측정의 목적을 청구항 문맥을 통해 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 이송 단계 전에 공급원과 목적지의 예상 위치를 찾기 위한 측정 수단이 언급된다.
- 상기 이송 단계전에 행해지는 측정으로 상기 공급원의 예상위치와 목적지의 예상위치를 찾기 위한 측정 수단
- 측정에 의한 세개의 좌표로 각 홈에서의 웨이퍼의 예상중심을 구하고 이송중에 웨이퍼 중심에 대한 패들 중심의 측면편차를 요구되는 편차량 만큼 패들을 재위치시켜 보상하므로서, 웨이퍼를 집을 때 야기되는 어떠한 실수도 제거하고 웨이퍼 이송수단이 매우 중요한 웨이퍼 이송에 대한 모든 유효공차를 유지하게 함
-
3근거 선택
evidence_selection청구항 21에서 해당 측정(세 개의 좌표를 통한 예상 중심 구하기)의 목적과 효과가 상세히 기술되어 있다.
- 측정에 의한 세개의 좌표로 각 홈에서의 웨이퍼의 예상중심을 구하고 이송중에 웨이퍼 중심에 대한 패들 중심의 측면편차를 요구되는 편차량 만큼 패들을 재위치시켜 보상하므로서, 웨이퍼를 집을 때 야기되는 어떠한 실수도 제거하고 웨이퍼 이송수단이 매우 중요한 웨이퍼 이송에 대한 모든 유효공차를 유지하게 함
-
4논리 통합
logical_integration측정을 통해 예상 중심을 구하고 패들을 재위치시켜 보상함으로써, 웨이퍼를 집을 때의 실수를 제거하고 이송 유효공차를 유지하는 것이 목적이다.
- 패들을 재위치시켜 보상하므로서, 웨이퍼를 집을 때 야기되는 어떠한 실수도 제거하고 웨이퍼 이송수단이 매우 중요한 웨이퍼 이송에 대한 모든 유효공차를 유지하게 함
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5결론 도출
conclusion_formulation측정의 목적은 패들을 재위치시켜 보상함으로써 웨이퍼를 집을 때의 실수를 제거하고 이송에 대한 유효공차를 유지하는 것이다.
- 패들을 재위치시켜 보상하므로서, 웨이퍼를 집을 때 야기되는 어떠한 실수도 제거하고 웨이퍼 이송수단이 매우 중요한 웨이퍼 이송에 대한 모든 유효공차를 유지하게 함
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6답변 생성
answer_generation추출된 문구를 바탕으로 질문에 대한 직접적인 답변을 생성한다.
- 패들을 재위치시켜 보상하므로서, 웨이퍼를 집을 때 야기되는 어떠한 실수도 제거하고 웨이퍼 이송수단이 매우 중요한 웨이퍼 이송에 대한 모든 유효공차를 유지하게 함
근거 (evidence)
- 상기 이송 단계전에 행해지는 측정으로 상기 공급원의 예상위치와 목적지의 예상위치를 찾기 위한 측정 수단
- 측정에 의한 세개의 좌표로 각 홈에서의 웨이퍼의 예상중심을 구하고 이송중에 웨이퍼 중심에 대한 패들 중심의 측면편차를 요구되는 편차량 만큼 패들을 재위치시켜 보상하므로서, 웨이퍼를 집을 때 야기되는 어떠한 실수도 제거하고 웨이퍼 이송수단이 매우 중요한 웨이퍼 이송에 대한 모든 유효공차를 유지하게 함
- 패들을 재위치시켜 보상하므로서, 웨이퍼를 집을 때 야기되는 어떠한 실수도 제거하고 웨이퍼 이송수단이 매우 중요한 웨이퍼 이송에 대한 모든 유효공차를 유지하게 함
최종 답변 (final_answer)
패들을 재위치시켜 보상하므로서, 웨이퍼를 집을 때 야기되는 어떠한 실수도 제거하고 웨이퍼 이송수단이 매우 중요한 웨이퍼 이송에 대한 모든 유효공차를 유지하게 함
핵심 해석 (core_interpretation)
웨이퍼 이송 시 발생할 수 있는 오차를 최소화하기 위해, 사전 측정을 통해 패들의 위치를 보상함으로써 웨이퍼를 정확하게 집고 이송 공차를 유지하는 기술이다.