문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 광학적타게트들의 하나에는 상기 작동요소의 0정렬을 교정하기 위하여 상기 눈금선과 직각으로 교차하는 중심선포함되어 있는장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 미시적인 작동시스템의 하나에는 패턴인지(認知)수단이 더욱 포함되어 있으며 상기 광학적 타게트에는 비디오정보의 질과 계조(contrst)의 척도를 결정하기 위하여 상기 패턴인지수단에 의한 검사를 위한 매트면(matte surface)지역포함되어 있는장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 광학적타게트들의 적어도 하나에는 반사면과 비반사면이 교대로 배치된 바둑판형 패턴포함되어 있는장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,트판에는 다수의 상기 바둑판형 패턴이 포함되어 있으며, 이들 패턴의 각각은 교대지역의 크기서로 상이한장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,트판에는 시계내의 광분포 및 화면 계조질을 교정하기 위한 적어도 하나의 연속적인 반사지역포함되어 있는장치.
[청구항 8]
제5항에 있어서,트판에는 비디오 화면질을 결정하기 위하여 패턴인지시스템에 의한 검사를 위한 매트패턴포함되어 있는장치.
[청구항 9]
제7항에 있어서,상기 매트패턴은 크롬이 함입되어 있는 마일라(mylar)면상의 폴리카보네이트 물질형성되어 있는장치.
[청구항 10]
제5항에 있어서,트판에는 상기 광학 및 카메라 시스템들에 의해 위치적으로 제어되는 작동요소의 구조적 정렬을 측정하기 위한 직선포함되어 있는장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 직선에는 예정된 값의 증분에 형성된 눈금들을 가진 정밀한 눈금선포함되어 있는장치.
[청구항 12]
제10항에 있어서,상기 패턴들의 각각은 미시적인 시계내의 공통적인 광학적 평면상형성되어 있는장치.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 중심선들중의 하나에는 상기 절단수단의 y방향 전진의 교정을 위하여 눈금이 새겨져 있는,지지대장착될수있는교정 및 정렬판.
[청구항 15]
제13항에 있어서,교대부분의 크기가 서로 상이한 다수의 상기 바둑판형 지역포함하는장치.
[청구항 16]
제13항에 있어서,패턴인지시스템의 교정을 위한 적어도 하나의 지역더욱 포함하는장치.
[청구항 19]
제18항에 있어서,상기 자동적 웨이퍼 절단수단에는 상기 웨이퍼 지지대의 표면전체에 걸쳐서 위치적으로 단계인 작동요소가 더욱 포함되어 있으며, 상기 단계적인 이동의 크기는 상기 작동요소들을 웨이퍼 지지대에 대해 재교정하여 상기 작동시계가 광학적 타게트들의 제3의 눈금선 부분재교정되는방법.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
미시적인 작동시스템에 포함된 패턴인지수단이 비디오 정보의 질과 계조를 결정하기 위해 검사할 수 있도록 광학적 타게트에 포함되어 있는 영역은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation질문은 패턴인지수단이 비디오 정보의 질과 계조를 결정하기 위해 검사할 수 있도록 광학적 타게트에 포함된 특정 영역이 무엇인지 묻고 있다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 패턴인지수단, 비디오 정보의 질과 계조의 척도 결정, 광학적 타게트, 검사를 위한 영역에 관한 내용을 추출한다.
- 상기 광학적 타게트에는 비디오정보의 질과 계조(contrst)의 척도를 결정하기 위하여 상기 패턴인지수단에 의한 검사를 위한 매트면(matte surface)지역포함되어 있는장치.
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3근거 선택
evidence_selection질문의 조건(비디오 정보의 질과 계조 결정, 패턴인지수단에 의한 검사)과 일치하는 '매트면(matte surface)지역'을 근거로 선택한다.
- 상기 광학적 타게트에는 비디오정보의 질과 계조(contrst)의 척도를 결정하기 위하여 상기 패턴인지수단에 의한 검사를 위한 매트면(matte surface)지역포함되어 있는장치.
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4논리 통합
logical_integration광학적 타게트 내에 비디오 정보의 질과 계조를 결정하기 위한 검사용 영역이 존재하며, 그 명칭은 매트면(matte surface)지역임을 확인한다.
- 상기 광학적 타게트에는 비디오정보의 질과 계조(contrst)의 척도를 결정하기 위하여 상기 패턴인지수단에 의한 검사를 위한 매트면(matte surface)지역포함되어 있는장치.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 '매트면(matte surface)지역'을 도출한다.
- 매트면(matte surface)지역
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 용어를 사용하여 최종 답변을 생성한다.
- 매트면(matte surface)지역
근거 (evidence)
- 상기 광학적 타게트에는 비디오정보의 질과 계조(contrst)의 척도를 결정하기 위하여 상기 패턴인지수단에 의한 검사를 위한 매트면(matte surface)지역포함되어 있는장치.
- 매트면(matte surface)지역
최종 답변 (final_answer)
매트면(matte surface)지역
핵심 해석 (core_interpretation)
미시적인 작동시스템의 패턴인지수단이 비디오 정보의 품질(질 및 계조)을 검사할 수 있도록 광학적 타게트 내에 매트면(matte surface) 영역을 제공하는 기술에 관한 것이다.