스테이지장치

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 액추에이터는 상기 가동자에 마련되며, 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 큰 각도를 이루며 상기 제2가이드를 진동하여 가압하는압전소자모터더포함하는것을특징으로 하는스테이지장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 액추에이터는 상기 압전소자모터의 단부에 상기 제2가이드에 대해 접촉가능하게 마련된마찰단포함하는것을특징으로 하는스테이지장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 가동자 및 상기 제1가이드 중어느 하나에는 돌기부가 마련되며 다른 하나에는 상기 돌기부를 수용하는돌기수용부마련된것을특징으로 하는스테이지장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 돌기부 및 상기 돌기수용부에는 중 적어도 하나에상기에어베어링마련된것을특징으로 하는스테이지장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 돌기부 및 상기 돌기수용부는삼각형상의단면갖는것을특징으로 하는스테이지장치 [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 제1가이드 및 상기 제2가이드는상호배치된것을특징으로 하는스테이지장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 액추에이터와 접하는 상기 제2가이드에는 정밀하며 표면경도가 높은 재재로 제작된접촉부마련된것을특징으로 하는스테이지장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 제1가이드와 상기 제2가이드는 상호 이격거리를 조절가능하게마련된것을특징으로 하는스테이지장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 에어베어링은 복수개로 마련되며, 상기 복수의 에어베어링은 상기 가동자를 상기 제2가이드에직각방향가압하는것을특징으로 하는스테이지장치. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 스테이지는 상기 제1가이드와 상기 제2가이드의 상측에 마련되어상기가동자결합된것을특징으로 하는스테이지장치. [청구항 12] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 스테이지는 상기 제2가이드를 사이에 두고상기가동자결합된것을특징으로 하는스테이지장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 제2가이드는 이격되게 한 쌍으로 마련되며, 상기 액추에이터는 상기 한 쌍의 제2가이드에 대응하여 한쌍마련된것을특징으로 하는스테이지장치. [청구항 14] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가동자 및 상기 가이드유닛은 각각 복수개로 마련되고, 상기 복수의 가동자는 상기 복수의 가이드유닛에 대해 동일한 방향으로상대이동하는것을특징으로 하는스테이지장치. [청구항 15] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가동자 및 상기 가이드유닛은 각각 복수개로 마련되며, 상기 스테이지가 복수의 방향으로 이동가능하도록 상기 복수의 가동자는 각각 다른 방향으로 이동가능하게상호결합된것을특징으로 하는스테이지장치. [청구항 16] 제2항에 있어서,상기 압전소자모터는 한 쌍으로 마련되며, 상기 어느 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 큰 각도를 이루도록 마련되고, 상기 다른 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 작은각도마련되는것을특징으로 하는스테이지장치.