문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 세라믹 소재는 sin4 또는 aln을포함하는것을특징으로 하는박막증착장치.
제1항에 있어서,상기 세라믹 소재는 sin4 또는 aln을포함하는것을특징으로 하는박막증착장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,셉터는, 상기 히터의 상면을 감싸는 제1커버부와, 상기 히터의 측면을 둘러싸도록 상기 제1커버부의 가장자리로부터 하방으로 연장형성되어 상기 히터의 측면을 감싸는 제2커버부를포함하는것을특징으로 하는박막증착장치.
제1항에 있어서,셉터는 상기 히터에 탈부착 가능하게결합되는것을특징으로 하는박막증착장치.
[청구항4]
제1항 또는 제3항에 있어서,셉터는 상기 히터에 탈부착 가능하게결합되는것을특징으로 하는박막증착장치.
제3항에 있어서,셉터는 상기 히터에나사결합되는것을특징으로 하는박막증착장치.
[청구항5]
제4항에 있어서,셉터는 상기 히터에나사결합되는것을특징으로 하는박막증착장치.
제1항에 있어서,상기 소스가스는 ticl4를포함하는것을특징으로 하는박막증착장치.
[청구항6]
제1항에 있어서,상기 소스가스는 ticl4를포함하는것을특징으로 하는박막증착장치.
제1항에 있어서,상기 반응공간은 , 상기 샤워헤드와 상기 서셉터 사이에 형성되는 박막증착공간부와, 상기 서셉터와 상기 반응챔버의 바닥면 사이에 형성되는 비박막증착공간부를 포함하며,상기 펌핑수단은, 상기 스테이지 히터의 외주면과 상기 반응챔버의 내측면 사이에 상기 박막증착공간부 내의 가스를 배기시키기 위한 배기경로를 형성하는 배플부재를 더 포함하며,상기 박막증착공간부에 잔존하는 상기 미반응 가스 및 부산물은 상기 배기경로를 따라상기반응챔버의외부배출되는것을특징으로 하는박막증착장치.
[청구항7]
제1항에 있어서,상기 반응공간은 , 상기 샤워헤드와 상기 서셉터 사이에 형성되는 박막증착공간부와, 상기 서셉터와 상기 반응챔버의 바닥면 사이에 형성되는 비박막증착공간부를 포함하며,상기 펌핑수단은, 상기 스테이지 히터의 외주면과 상기 반응챔버의 내측면 사이에 상기 박막증착공간부 내의 가스를 배기시키기 위한 배기경로를 형성하는 배플부재를 더 포함하며,상기 박막증착공간부에 잔존하는 상기 미반응 가스 및 부산물은 상기 배기경로를 따라상기반응챔버의외부배출되는것을특징으로 하는박막증착장치.
청구항 6에 있어서,부재는 상기 반응챔버의 바닥면에 설치되는 원통 배플과;상기 원통배플 상부에 결합되고 상부 직경이 하부 직경보다 크게 형성되는 원추 배플과;상기 원추 배플 상부에 구비되며, 상기 반응챔버의 내주면과 상기 원추 배플의 외주면 사이에 결합되는 하부펌핑배플; 및상기 하부펌핑배플 상부에 상기 서셉터를 둘러싸도록 구비되는 상부펌핑배플;을 포함하고, 상기 상부펌핑배플에는 상기 상부펌핑배플의 상부에서 하부로 관통된 다수개의 상부펌핑홀이 형성되고, 상기 하부펌핑배플에는 상부에서 하부로 관통된 다수개의 배기홀이 형성되며,상기상부펌핑홀과상기배기홀서로연통되는것을특징으로 하는박막 증착 장치.
[청구항8]
제7항에 있어서,상기 비박막증착공간부의 압력이 상기 박막증착공간부의 압력보다 높은 상태로 유지되도록 상기 비박막증착공간으로 비반응가스를 공급하는가스공급수단더구비하는것을특징으로 하는박막증착장치.
제6항 또는 제7항에 있어서,상기 비박막증착공간부의 압력이 상기 박막증착공간부의 압력보다 높은 상태로 유지되도록 상기 비박막증착공간으로 비반응가스를 공급하는가스공급수단더구비하는것을특징으로 하는박막증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
박막증착장치의 반응공간은 어떻게 구성되며, 청구항 7에 기재된 배플부재의 구체적인 종류와 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation반응공간의 구성과 배플부재의 세부 구성 요소를 추출하는 과업을 수행한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 6과 7에서 반응공간의 정의와 배플부재의 종류를 추출한다.
- 상기 반응공간은 , 상기 샤워헤드와 상기 서셉터 사이에 형성되는 박막증착공간부와, 상기 서셉터와 상기 반응챔버의 바닥면 사이에 형성되는 비박막증착공간부를 포함하며
- 상기 반응챔버의 바닥면에 설치되는 원통 배플과;상기 원통배플 상부에 결합되고 상부 직경이 하부 직경보다 크게 형성되는 원추 배플과;상기 원추 배플 상부에 구비되며, 상기 반응챔버의 내주면과 상기 원추 배플의 외주면 사이에 결합되는 하부펌핑배플; 및상기 하부펌핑배플 상부에 상기 서셉터를 둘러싸도록 구비되는 상부펌핑배플;을 포함하고
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3근거 선택
evidence_selection반응공간의 두 부분(박막증착공간부, 비박막증착공간부)과 배플의 네 가지 구성 요소(원통 배플, 원추 배플, 하부펌핑배플, 상부펌핑배플)를 선택한다.
- 박막증착공간부
- 비박막증착공간부
- 원통 배플
- 원추 배플
- 하부펌핑배플
- 상부펌핑배플
-
4논리 통합
logical_integration반응공간의 구성 요소와 배플부재의 구성 요소를 각각 분류하여 정리한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 반응공간의 구성과 배플의 구성을 명확히 기술한다.
-
6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 반응공간은 , 상기 샤워헤드와 상기 서셉터 사이에 형성되는 박막증착공간부와, 상기 서셉터와 상기 반응챔버의 바닥면 사이에 형성되는 비박막증착공간부를 포함하며
- 상기 반응챔버의 바닥면에 설치되는 원통 배플과;상기 원통배플 상부에 결합되고 상부 직경이 하부 직경보다 크게 형성되는 원추 배플과;상기 원추 배플 상부에 구비되며, 상기 반응챔버의 내주면과 상기 원추 배플의 외주면 사이에 결합되는 하부펌핑배플; 및상기 하부펌핑배플 상부에 상기 서셉터를 둘러싸도록 구비되는 상부펌핑배플;을 포함하고
- 박막증착공간부
- 비박막증착공간부
- 원통 배플
- 원추 배플
- 하부펌핑배플
- 상부펌핑배플
최종 답변 (final_answer)
박막증착장치의 반응공간은 샤워헤드와 서셉터 사이에 형성되는 '박막증착공간부'와 서셉터와 반응챔버의 바닥면 사이에 형성되는 '비박막증착공간부'로 구성된다. 또한, 배플부재는 원통 배플, 원추 배플, 하부펌핑배플, 상부펌핑배플을 포함한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
반응공간의 이중 구조(박막증착/비박막증착 공간)와 배플부재의 4단계 적층 구조(원통/원추/하부펌핑/상부펌핑 배플)를 파악하는 것이다.