문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 결합부재는 샤프트와, 상기 샤프트의 끝단에 구비된 헤드를 포함하며, 상기 제 1 관통홀은 상기 샤프트의 길이방향에 수직한 방향으로 상기 샤프트를 관통하여 형성되며, 상기 제 2 관통홀은 상기 샤프트의 길이방향으로상기헤드의반대측의끝단관통하여형성되는박막처리장치.
[청구항3]
제 2 항에 있어서,상기 제 1 관통홀과 상기 제 2 관통홀은형상으로 이루어지는박막처리장치.
[청구항4]
제 2 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 관통홀의 직경은 상기 샤프트의 직경에 대응하여 1/3 ~ 1/2의 직경갖는박막처리장치.
[청구항5]
제 2 항에 있어서,상기 샤프트의 외면에는 숫나사산이 형성되어 있으며, 상기 디퓨저커버에는 상기 샤프트가 관통삽입되는 체결홀이 형성되어 있으며, 상기 가스분배판에는 상기 샤프트의 끝단이 끼움삽입되는 체결홈이 형성되어 있으며, 상기 체결홀과 상기 체결홈의 내면에는 상기 숫나사산과 맞물려 나사체결되는 암나사산형성되는박막처리장치.
[청구항6]
제 1 항에 있어서,상기 반응가스공급로에 대응하는 상기 확산공간부에 확산판위치하는박막처리장치.
[청구항7]
제 6 항에 있어서,상기 확산판은 다수의 확산홀을 포함하여, 상기 반응가스를 상기 확산공간부의 수평방향으로 확산시키는 동시에, 상기 확산판의 하부로도 상기 반응가스공급하는박막처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
박막처리장치의 결합부재는 무엇으로 구성되며, 제 1 관통홀과 제 2 관통홀은 각각 어떤 방향 및 위치로 형성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation결합부재의 구성 요소와 두 종류의 관통홀(제 1, 제 2)의 형성 방향 및 위치를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 결합부재의 구성, 제 1 관통홀의 방향, 제 2 관통홀의 위치 정보를 추출한다.
- 상기 결합부재는 샤프트와, 상기 샤프트의 끝단에 구비된 헤드를 포함하며
- 상기 제 1 관통홀은 상기 샤프트의 길이방향에 수직한 방향으로 상기 샤프트를 관통하여 형성되며
- 상기 제 2 관통홀은 상기 샤프트의 길이방향으로상기헤드의반대측의끝단관통하여형성되는
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3근거 선택
evidence_selection결합부재 구성(샤프트, 헤드), 제 1 관통홀(샤프트 길이방향 수직 관통), 제 2 관통홀(샤프트 길이방향 헤드 반대측 끝단 관통)에 관한 문구를 선택한다.
- 상기 결합부재는 샤프트와, 상기 샤프트의 끝단에 구비된 헤드를 포함하며
- 상기 제 1 관통홀은 상기 샤프트의 길이방향에 수직한 방향으로 상기 샤프트를 관통하여 형성되며
- 상기 제 2 관통홀은 상기 샤프트의 길이방향으로상기헤드의반대측의끝단관통하여형성되는
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 종합하여 결합부재의 구성과 각 관통홀의 기하학적 특징을 연결한다.
- 상기 결합부재는 샤프트와, 상기 샤프트의 끝단에 구비된 헤드를 포함하며
- 상기 제 1 관통홀은 상기 샤프트의 길이방향에 수직한 방향으로 상기 샤프트를 관통하여 형성되며
- 상기 제 2 관통홀은 상기 샤프트의 길이방향으로상기헤드의반대측의끝단관통하여형성되는
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5결론 도출
conclusion_formulation결합부재는 샤프트와 헤드로 구성되며, 제 1 관통홀은 샤프트의 길이방향에 수직하게 관통하고, 제 2 관통홀은 샤프트의 길이방향으로 헤드 반대측 끝단을 관통한다는 결론을 도출한다.
- 상기 결합부재는 샤프트와, 상기 샤프트의 끝단에 구비된 헤드를 포함하며
- 상기 제 1 관통홀은 상기 샤프트의 길이방향에 수직한 방향으로 상기 샤프트를 관통하여 형성되며
- 상기 제 2 관통홀은 상기 샤프트의 길이방향으로상기헤드의반대측의끝단관통하여형성되는
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 완성된 문장 형태로 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 결합부재는 샤프트와, 상기 샤프트의 끝단에 구비된 헤드를 포함하며
- 상기 제 1 관통홀은 상기 샤프트의 길이방향에 수직한 방향으로 상기 샤프트를 관통하여 형성되며
- 상기 제 2 관통홀은 상기 샤프트의 길이방향으로상기헤드의반대측의끝단관통하여형성되는
최종 답변 (final_answer)
결합부재는 샤프트와 샤프트의 끝단에 구비된 헤드를 포함한다. 제 1 관통홀은 샤프트의 길이방향에 수직한 방향으로 샤프트를 관통하여 형성되며, 제 2 관통홀은 샤프트의 길이방향으로 헤드의 반대측 끝단을 관통하여 형성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
결합부재의 구성 요소(샤프트, 헤드)와 두 관통홀의 형성 방향(제 1: 수직 관통, 제 2: 길이방향 헤드 반대측 관통)에 대한 기술적 특징을 정의함.