박막증착시스템

[청구항2] 청구항 1에 있어서,상기 믹싱공간부는 상기 메탈소스 가스가 혼합될 수 있는 공간을 가지는고리 형태인것을특징으로 하는박막증착시스템. [청구항3] 청구항 2에 있어서,상기 혼합된 메탈소스 가스는 상기 믹싱공간부의 바닥면에 형성되는 복수개의 가스분사통로를 통하여상기대상체분사되는것을특징으로 하는박막증착시스템. [청구항4] 청구항 3에 있어서,상기 가스분사통로는 수평면을 기준으로 30° ~ 80° 사이로 기울어져형성되는것을특징으로 하는박막증착시스템. [청구항5] 청구항 4에 있어서,상기 가스분사통로의 끝단에는 가스분사개폐기가 구비되되,상기제어부개폐되는것을특징으로 하는박막증착시스템. [청구항6] 청구항 1에 있어서,상기 메탈이송라인에는 히터가 마련되되, 상기 히터는 상기 메탈이송라인을 따라연속적마련되는것을특징으로 하는박막증착시스템. 청구항 1에 있어서,상기 메탈이송라인에는 히터가 마련되되, 상기 히터는 상기 메탈이송라인을 따라연속적마련되는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항7] 청구항 1 내지 청구항 6 중, 어느 한 항에 있어서,상기 챔버에 마련되어 상기메탈이송라인을 통해 공급되는 상기 메탈입자를 상기 대상체로 전달하는 메탈유로와;상기 메탈유로를 통해 상기 대상체로 제공되는 메탈입자가 외부 대기와 격리될 수 있도록 상기 챔버에 마련되고 상기 가스투입라인의 어느 일 분기관을 통해 전달된 불활성가스를 상기 대상체로 전달하는 가스유로와;상기 챔버에 마련되어 사용 후 발생한 부산물 및 불활성가스를 배출하는 적어도 하나의 배출유로와;상기 배출유로에 연통하여 상기 배출유로를 통해 배출되는 사용완료된 메탈입자 및 불활성가스를 펌핑하는배기부포함하여이루어진것을특징으로 하는박막증착시스템. 청구항 1 또는 청구항 6에 있어서,상기 챔버에 마련되어 상기메탈이송라인을 통해 공급되는 상기 메탈입자를 상기 대상체로 전달하는 메탈유로와;상기 메탈유로를 통해 상기 대상체로 제공되는 메탈입자가 외부 대기와 격리될 수 있도록 상기 챔버에 마련되고 상기 가스투입라인의 어느 일 분기관을 통해 전달된 불활성가스를 상기 대상체로 전달하는 가스유로와;상기 챔버에 마련되어 사용 후 발생한 부산물 및 불활성가스를 배출하는 적어도 하나의 배출유로와;상기 배출유로에 연통하여 상기 배출유로를 통해 배출되는 사용완료된 메탈입자 및 불활성가스를 펌핑하는배기부포함하여이루어진것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항8] 청구항 7에 있어서,상기 챔버는 판면방향을 따라 상호 착탈가능한 상부 및 하부챔버 부분으로 구성되고,상기 메탈유로는, 상기 복수의 버블러 중 어느 하나 혹은 하나 이상으로부터 상기 상부 및 하부챔버 부분 중 어느 하나를 통해 상기 메탈입자를 상기 믹싱공간부로 안내하는 메탈안내구간을 포함하여구성되는것을특징으로 하는박막증착시스템. 청구항 7에 있어서,상기 챔버는 판면방향을 따라 상호 착탈가능한 상부 및 하부챔버 부분으로 구성되고,상기 메탈유로는, 상기 복수의 버블러 중 어느 하나 혹은 하나 이상으로부터 상기 상부 및 하부챔버 부분 중 어느 하나를 통해 상기 메탈입자를 상기 믹싱공간부로 안내하는 메탈안내구간을 포함하여구성되는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항9] 청구항 8에 있어서,상기 메탈안내구간은 하부챔버 부분에 형성되고, 상기 믹싱공간부 상부의 상부챔버 부분에는 상기 믹싱공간부로 인입된 메탈소스 가스가 역류되는 것을 방지하는 윈도우글라스 오염방지용 배기구간이 형성되며, 상기 하부챔버 부분에는 상기 배기구간으로 가스를 공급하는가스공급형성되는것을특징으로 하는박막증착시스템. 청구항 8에 있어서,상기 메탈안내구간은 하부챔버 부분에 형성되고, 상기 믹싱공간부 상부의 상부챔버 부분에는 상기 믹싱공간부로 인입된 메탈소스 가스가 역류되는 것을 방지하는 윈도우글라스 오염방지용 배기구간이 형성되며, 상기 하부챔버 부분에는 상기 배기구간으로 가스를 공급하는가스공급형성되는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항10] 청구항 8에 있어서,상기 가스유로는,상기 분기관으로부터 상기 상부 및 하부챔버부분 중 어느 하나를 통해 상기 불활성가스를 안내하는 제1가스안내구간과;상기 상부챔버부분에 형성되어 상기 제1가스안내구간의 단부와 연통하는 제2가스안내구간과;상기 하부챔버부분에 형성되어 상기 제2가스안내구간과 연통하는제3가스안내구간포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. 청구항 8에 있어서,상기 가스유로는,상기 분기관으로부터 상기 상부 및 하부챔버부분 중 어느 하나를 통해 상기 불활성가스를 안내하는 제1가스안내구간과;상기 상부챔버부분에 형성되어 상기 제1가스안내구간의 단부와 연통하는 제2가스안내구간과;상기 하부챔버부분에 형성되어 상기 제2가스안내구간과 연통하는제3가스안내구간포함하는것을특징으로 하는박막증착시스템. [청구항11] 청구항 10에 있어서,상기 제3가스안내구간에는 상기 제1 및 제2가스안내구간으로부터 안내된 가스를 상기 대상체를 향해 에어커튼식으로 분사하기 위한복수의가스분사구형성되어있는것을특징으로 하는박막증착시스템. 청구항 10에 있어서,상기 제3가스안내구간에는 상기 제1 및 제2가스안내구간으로부터 안내된 가스를 상기 대상체를 향해 에어커튼식으로 분사하기 위한복수의가스분사구형성되어있는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항12] 청구항 7에 있어서,상기 배출유로는 상기 메탈유로 및 상기 가스유로 사이에 원주방향을 따라 배치되는 제1배출유로부분과; 상기 가스유로의 반경방향 외측에 원주방향을 따라 배치되는제2배출유로부분포함하는것을특징으로 하는박막증착시스템. 청구항 7에 있어서,상기 배출유로는 상기 메탈유로 및 상기 가스유로 사이에 원주방향을 따라 배치되는 제1배출유로부분과; 상기 가스유로의 반경방향 외측에 원주방향을 따라 배치되는제2배출유로부분포함하는것을특징으로 하는박막증착장치.