문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 제1헤드와 상기 제2헤드로 공급되는상기공정가스각각상이한것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
[청구항3]
제1항에 있어서,복수의 상기 가스공급부는 각각,상기 제1헤드와 상기 제2헤드 중 배치된 어느 하나의 내부 공간으로 상기 공정가스를 공급하는 공급관과;상기 공급관으로부터 연장되어 외부로부터 공급되는 가스를 상기 공급관으로 유입시키는유입관포함하는것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
제1항에 있어서,복수의 상기 가스공급부는 각각,상기 제1헤드와 상기 제2헤드 중 배치된 어느 하나의 공간으로 상기 제1공정가스 및 상기 제2공정가스 중 해당된 공정가스를 공급하는 공급관과;상기 공급관으로부터 연장되어 외부로부터 공급되는 상기 제1공정가스 및 상기 제2공정가스 중 해당된 공정가스를 상기 공급관으로 유입시키는유입관포함하는것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
[청구항4]
제3항에 있어서,상기 유입관은 상기 공급관에 대해 평행하게 연장 형성되며,상기 공급관은 상기 유입관이 관통되도록 개구부가 형성된후크형상인것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
제3항에 있어서,상기 유입관은 상기 공급관에 대해 평행하게 연장 형성되며,상기 공급관은 상기 유입관이 관통되도록 개구부가 형성된후크형상인것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
[청구항5]
제3항에 있어서,상기 제1헤드와 상기 제2헤드 중 복수의 상기 가스공급부가 배치된 어느 하나의 내부 공간을 상호 구획하는 격벽을 더 포함하고,상기 격벽은 동심원으로 배치되는복수의상기가스공급부의각각의상기공급관사이를상호구획하는것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
제3항에 있어서,상기 제1헤드와 상기 제2헤드 중 복수의 상기 가스공급부가 배치된 어느 하나의 내부 공간을 상호 구획하는 격벽을 더 포함하고,상기 격벽은 동심원으로 배치되는복수의상기공급관들사이를상호구획하는것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
[청구항6]
제5항에 있어서,상기 공급관은 상기 공정가스를 반경방향으로 공급하도록 형성된 공급구를 포함하고,상기 공급구를 통해 공급된 상기 공정가스는 상기 격벽에 의해 상기 공급관이 배치된 공간의 상기 제1분사부와 상기 제2분사부 중 어느하나안내되는것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
제5항에 있어서,상기 공급관은 공정가스를 반경 방향으로 공급하도록 형성된 공급구를 포함하고,상기 공급구를 통해 공급된 공정가스는 상기 격벽에 의해 유동이 제한되며, 상기 격벽에 의해 유동이 제한된 공정가스는 상기 공급관이 배치된 공간의 상기 제1분사부와 상기 제2분사부 중 어느하나안내되는것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
[청구항7]
제5항에 있어서,상기 공급관은 상기 공정가스를 상향으로 공급하도록 형성된 공급구를 포함하고,상기 공급구를 통해 공급된 상기 공정가스는 상기 격벽에 의해 상기 공급관이 배치된 공간의 상기 제1분사부와 상기 제2분사부 중 어느하나안내되는것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
제5항에 있어서,상기 공급관은 상기 공급관이 수용되는 상기 제1헤드와 상기 제2헤드 중 어느 하나의 상측벽으로 공정가스를 분사하도록 상향으로 형성된 공급구를 포함하고,상기 공급구를 통해 공급된 공정가스는 상기 격벽 및 상기 상측벽에 의해 유동이 제한되며, 상기 격벽 및 상기 상측벽에 의해 유동이 제한된 공정가스는 상기 공급관이 배치된 공간의 상기 제1분사부와 상기 제2분사부 중 어느하나안내되는것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리.
[청구항9]
제8항에 있어서,상기 제1헤드와 상기 제2헤드 중어느 하나에 배치되는 상기 가스공급부의 배치 위치에 따라 대응되는 상기 분사부를 통해 상기 제1공정가스 및 상기 제2공정가스 중 해당된공정가스를상기챔버내부분사하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
제8항에 있어서,상기 가스공급부로부터 공급된 상기 공정가스는 상기 가스공급부가 배치된 상기 제1헤드와 상기 제2헤드 중 어느 하나의 상기 분사부를 통해상기챔버내부분사되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
가스공급부는 어떠한 구성 요소를 포함하며, 유입관과 공급관은 서로 어떠한 구조적 특징을 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스공급부의 구성 요소와 유입관 및 공급관 사이의 구조적 관계를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction가스공급부의 구성 요소인 공급관과 유입관을 추출하고, 두 관의 형태적 특징을 추출한다.
- 복수의 상기 가스공급부는 각각,상기 제1헤드와 상기 제2헤드 중 배치된 어느 하나의 내부 공간으로 상기 공정가스를 공급하는 공급관과;상기 공급관으로부터 연장되어 외부로부터 공급되는 가스를 상기 공급관으로 유입시키는유입관포함하는것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리
- 상기 유입관은 상기 공급관에 대해 평행하게 연장 형성되며,상기 공급관은 상기 유입관이 관통되도록 개구부가 형성된후크형상인것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리
-
3근거 선택
evidence_selection가스공급부의 구성 요소(공급관, 유입관)와 유입관의 평행 구조, 공급관의 후크형상 및 개구부 특징을 선택한다.
- 공급관과;상기 공급관으로부터 연장되어 외부로부터 공급되는 가스를 상기 공급관으로 유입시키는유입관포함
- 상기 유입관은 상기 공급관에 대해 평행하게 연장 형성되며
- 상기 공급관은 상기 유입관이 관통되도록 개구부가 형성된후크형상
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4논리 통합
logical_integration가스공급부는 공급관과 유입관으로 구성되며, 유입관은 공급관과 평행하고 공급관은 유입관이 통과할 수 있는 개구부를 가진 후크 형태임을 결합한다.
- 공급관과;상기 공급관으로부터 연장되어 외부로부터 공급되는 가스를 상기 공급관으로 유입시키는유입관포함
- 상기 유입관은 상기 공급관에 대해 평행하게 연장 형성되며,상기 공급관은 상기 유입관이 관통되도록 개구부가 형성된후크형상
-
5결론 도출
conclusion_formulation가스공급부는 공급관과 유입관을 포함하며, 유입관은 공급관과 평행하게 연장되고, 공급관은 유입관이 관통될 수 있도록 개구부가 형성된 후크 형상이다.
- 공급관과;상기 공급관으로부터 연장되어 외부로부터 공급되는 가스를 상기 공급관으로 유입시키는유입관포함
- 상기 유입관은 상기 공급관에 대해 평행하게 연장 형성되며,상기 공급관은 상기 유입관이 관통되도록 개구부가 형성된후크형상
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 공급관과;상기 공급관으로부터 연장되어 외부로부터 공급되는 가스를 상기 공급관으로 유입시키는유입관포함
- 상기 유입관은 상기 공급관에 대해 평행하게 연장 형성되며,상기 공급관은 상기 유입관이 관통되도록 개구부가 형성된후크형상
근거 (evidence)
- 복수의 상기 가스공급부는 각각,상기 제1헤드와 상기 제2헤드 중 배치된 어느 하나의 내부 공간으로 상기 공정가스를 공급하는 공급관과;상기 공급관으로부터 연장되어 외부로부터 공급되는 가스를 상기 공급관으로 유입시키는유입관포함하는것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리
- 상기 유입관은 상기 공급관에 대해 평행하게 연장 형성되며,상기 공급관은 상기 유입관이 관통되도록 개구부가 형성된후크형상인것을특징으로 하는샤워헤드 어셈블리
- 공급관과;상기 공급관으로부터 연장되어 외부로부터 공급되는 가스를 상기 공급관으로 유입시키는유입관포함
- 상기 유입관은 상기 공급관에 대해 평행하게 연장 형성되며
- 상기 공급관은 상기 유입관이 관통되도록 개구부가 형성된후크형상
- 상기 유입관은 상기 공급관에 대해 평행하게 연장 형성되며,상기 공급관은 상기 유입관이 관통되도록 개구부가 형성된후크형상
최종 답변 (final_answer)
가스공급부는 공급관과 유입관을 포함한다. 구조적으로 유입관은 공급관에 대해 평행하게 연장 형성되며, 공급관은 유입관이 관통될 수 있도록 개구부가 형성된 후크 형상을 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스공급부의 구성 요소인 공급관과 유입관의 결합 구조(평행 및 후크형 개구부 관통)를 설명함.