기판지지핀용 복원부재 및 이를 사용한 기판처리장치

[청구항1] 기판지지핀의 하부에 설치되어 상기 기판지지핀을 지지하는 부재로서, 리프트핀; 일측은 상기 리프트핀의 내부에 위치되고 타측은 상기 리프트핀의 외부로 노출되어 마찰을 저감하는 마찰저감수단을 포함하며, 상기 마찰저감수단이 접촉하는 상기 리프트핀 접촉부의 경도(硬度)는 상기 마찰저감수단의 경도 보다 높은 것을 특징으로 하는 기판지지핀용 복원부재 [청구항2] 제1항에 있어서,상기 마찰저감수단은,상기 리프트핀의 내부에 내장된 복수의 제1마찰저감수단;일측은 상기 리프트핀의 내부에 위치되어 상기 제1마찰저감수단과 접촉하고, 타측은 상기 리프트핀의 외측으로 노출된 복수의 제2마찰저감수단을 포함하며,상기 제1마찰저감수단이 접촉하는 상기 리프트핀 접촉부의 경도(硬度)는 상기 제1마찰저감수단의 경도 보다 높은 것특징으로 하는기판지지핀용 복원부재. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 리프트핀은 제1리프트핀과 상기 제1리프트핀에 결합된 복수의 제2리프트핀을 가지고,복수의 상기 제1마찰저감수단은 상기 제2리프트핀의 내부에 각각 내장되며,상기 제2마찰저감수단은 일측은 상기 제2리프트핀의 내부에 위치되어 상기 제1마찰저감수단과 접촉하고, 타측은상기제2리프트핀의외측노출된것을특징으로 하는기판지지핀용 복원부재. [청구항4] 제3항에 있어서,상기 제2리프트핀은,일면에 상기 제1마찰저감수단이 수용 접촉되는 수용부가 형성된 내부리프트핀;내주면은 상기 내부리프트핀에 결합되어 상기 제2마찰저감수단이 상기 제1마찰저감수단과 접촉하도록 지지하고, 외주면은 상기 제1리프트핀에 결합되는커버포함하는것을특징으로 하는기판지지핀용 복원부재. [청구항5] 제4항에 있어서,상기 커버는 상기 제1리프트핀에 착탈가능하게결합된것을특징으로 하는기판지지핀용 복원부재. [청구항6] 제4항에 있어서,상기 제1마찰저감수단은 알루미늄으로 형성되고,상기 내부리프트핀은산화알루미늄형성된것을특징으로 하는기판지지핀용 복원부재. [청구항7] 제4항에 있어서,상기 제1마찰저감수단 및 상기 내부리프트핀은 각각 알루미늄으로 형성되고,상기 제1마찰저감수단이 접촉하는 상기 수용부의 면은애노다이징처리된것을특징으로 하는기판지지핀용 복원부재. [청구항8] 제3항에 있어서,상기 제1리프트핀은 상기 기판지지핀에 착탈가능하게결합된것을특징으로 하는기판지지핀용 복원부재. [청구항9] 상부벽과 측벽들과 하부벽을 가지며 기판이 처리되는 공간을 형성하는 챔버 승강가능하게 상기 챔버에 설치되며 상기 기판이 탑재 지지되는 받침부재 상기 받침부재에 관통 설치되어 상기 받침부재에 의하여 승강하며, 상기 받침부재가 소정 이상 하강하면, 하단부측은 상기 챔버의 상기 하부벽과 접촉하고 상단면은 상기 받침부재의 상측으로 돌출되어 상기 기판을 지지하는 복수의 기판지지핀 상기 기판지지핀의 하단부에 각각 결합되어 상기 기판지지핀과 함께 운동하고, 상기 받침부재가 소정 이상 하강하면 상기 챔버의 상기 하부벽과 접촉하여 변위된 상기 기판지지핀을 수직으로 복원시키는 복원부재를 포함하는 기판처리장치로서, 상기 복원부재는,상기 기판지지핀의 하단부측이 상면에 결합되는 리프트핀 일측은 상기 리프트핀의 내부에 위치되어 상기 리프트핀과 접촉하고, 타측은 상기 리프트핀의 외부로 노출되어 상기 챔버의 상기 하부벽과 접촉하면서 마찰을 저감하는 마찰저감수단을 포함하며, 상기 마찰저감수단이 접촉하는 상기 리프트핀 접촉부의 경도(硬度)는 상기 마찰저감수단의 경도 보다 높은 것을 특징으로 하는 기판처리장치 [청구항10] 제9항에 있어서,상기 마찰저감수단은,상기 리프트핀의 내부에 내장된 복수의 제1마찰저감수단;일측은 상기 리프트핀의 내부에 위치되어 상기 제1마찰저감수단과 접촉하고, 타측은 상기 리프트핀의 외측으로 노출되어 상기 챔버의 하부벽과 접촉하는 복수의 제2마찰저감수단을 포함하며,상기 제1마찰저감수단이 접촉하는 상기 리프트핀 접촉부의 경도(硬度)는 상기 제1마찰저감수단의 경도 보다 높은 것특징으로 하는기판처리장치. [청구항11] 제9항에 있어서,상기 리프트핀은 제1리프트핀과 상기 제1리프트핀에 결합된 복수의 제2리프트핀을 가지고,복수의 상기 제1마찰저감수단은 상기 제2리프트핀의 내부에 각각 내장되며,상기 제2마찰저감수단은 일측은 상기 제2리프트핀의 내부에 위치되어 상기 제1마찰저감수단과 접촉하고, 타측은 상기 제2리프트핀의 외측으로 노출되어상기챔버의하부벽접촉하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항12] 제11항에 있어서,상기 제2리프트핀은,하면에 상기 제1마찰저감수단이 수용 접촉되는 수용부가 형성된 내부리프트핀;내주면은 상기 내부리프트핀에 결합되어 상기 제2마찰저감수단이 상기 제1마찰저감수단과 접촉하도록 지지하고, 외주면은 상기 제1리프트핀에 결합되는커버포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항13] 제12항에 있어서,상기 커버는 상기 제1리프트핀에 착탈가능하게결합된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항14] 제12항에 있어서,상기 제1마찰저감수단은 알루미늄으로 형성되고,상기 내부리프트핀은산화알루미늄형성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항15] 제12항에 있어서,상기 제1마찰저감수단 및 상기 내부리프트핀은 각각 알루미늄으로 형성되고,상기 제1마찰저감수단이 접촉하는 상기 수용부의 면은애노다이징처리된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항16] 제11항에 있어서,상기 제1리프트핀은 상기 기판지지핀에 착탈가능하게결합된것을특징으로 하는기판처리장치.