기판의 진공가공을 위한 장치 및 방법

[청구항 2] 제1항에 있어서,진공모듈의 입구섹션과 출구섹션으로 가스상매체에 의해 상기 기판을 이송하기 위하여 상기 통로의 길일방향을 따라 배치된 일련의 이송기를 포함하는 최소한 하나의 통로를 포함하는 진공모듈특징으로 하는장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,제한된 길이 방향의 통로와 상기 통로의 길이 방향을 따라 배치되고 상기 통로안으로 상기 통로의 양측에 연장된 일련의 유체 매체공급 채널과, 일련의 유체 매체공급채널 사이에 상기 통로의 길이방향을 따라 배치되고 상기 통로로부터 상기 통로의 양측으로 연장된 유체 매체방출채널들로 구성되고 최소한 부분적인 이중부동상태로 상기 기판이 최소한 일시적으로 상기 통로에 유지되도록 상기 채널이 조합된 상기 압력강하모듈과 상기 압력상승모듈특징으로 하는장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 유체 매체의 최소한 일부분에 의하여 이중 부동상태가 유지되는 통로안에서 웨이퍼의 이동가공이 가해지는것을특징으로 하는장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 유체매체의 최소한 일부분이가스상매체인것을특징으로 하는장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 압력강하모듈및/또는 압력상승모듈에서 최소한 유체 매체에 의한 웨이퍼의 청정과 최소한 가스상 매체에 의한웨이퍼의건조이루어지는것을특징으로 하는장치. [청구항 7] 제2항에 있어서,상기 통로안으로 상기 통로의 양측으로 연장된 일련의 가스상 매체 공급채널과 계속되는 공급채널 사이에 배치된 가스 매체 방출채널로 구성되고 상기 통로에서 상기 기판을 이송하기 위하여 진공상태의 최소한 부분적인 이중부동상태가 최소한 일시적으로 유지되도록 배치된 상기 채널의 조합특징으로 하는장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 문의 상기 통로를 일시적으로 닫기 위한 최소한 하나의 밀봉가능한 출입구를 갖는 상기 문수단특징으로 하는장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,문의 출구 근방에 밀봉가능한 출구부와 문의 입구근방에 밀봉 가능한 입구부를 갖는 상기 문 수단특징으로 하는장치. [청구항 11] 제9항에 있어서,이송매체의 방출을 위해 최소한 하나의 분리된 방출덕트로 구성된 상기 문수단특징으로 하는장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 문에 배치된 상기 감지기의 명령에 따라 상기 덕트를 일시적으로 밀봉하기 위한 밸브로 구성된 상기 덕트특징으로 하는장치. [청구항 14] 제9항에 있어서,상기 압력적응 모듈의 상기 통로에 있는 상기문의 앞에 위치하여 웨이퍼의 이동방향을 감지하여 기판의 통과로 상기 입구부와 상기 출구부의 제어 수단에 임펄스를 보내는 감지기특징으로 하는장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 분리된 방출덕트에 있는 상기 밸브의 제어수단에 임펄스를 가하는 감지기특징으로 하는장치. [청구항 18] 제9항에 있어서,상기 통로에 상기 기판의 일시적 저장을 위해가스상완충수단더포함되는것을특징으로 하는장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 통로로부터 연장된 상기 통로의 양측에 있는 방출채널의 세트를 갖는 문 통로 영역으로 구성되고 가스상의 완충수단의 입구에서의 압력이 방출채널의 입구에서의 압력과 같게 유지되고 상기 통로로부터 연장된 가스상 완충수단특징으로 하는장치. [청구항 24] 제1항 내지 제23항중 어느 하나에 있어서,상기 문 통로안에 있는 압력적응섹션에서 이중부동 상태로 기판이이송가공되는것을특징으로 하는장치.