문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 진공 반응실의 내벽면을 따라 불활성 가스를 실내에 균등하게 도입시키기 위한가스 링을진공반응실의상면형성한것을특징으로 하는박막 제조 장치.
제 1 항에 있어서,상기 진공 반응실의 내벽면을 따라 불활성 가스를 실내에 균등하게 도입시키기 위한가스 링을진공반응실의상면형성한것을특징으로 하는박막 제조 장치.
[청구항3]
제 2 항에 있어서,상기 가스 링에 공급되는 불활성 가스의 온도를 자유롭게 변경할 수 있도록온도조절수단형성한것을특징으로 하는박막 제조 장치.
제 2 항에 있어서,상기 가스 링에 공급되는 불활성 가스의 온도를 자유롭게 변경할 수 있도록온도조절수단형성한것을특징으로 하는박막 제조 장치.
[청구항4]
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 스테이지를 진공 반응실 상방의 막형성 위치와 진공 반응실 하방의 기판 반송 위치 사이에서 자유롭게 승강하도록 형성하고, 진공 반응실 내부로의 기판 반송구를 막형성 위치보다하측형성한것을특징으로 하는박막 제조 장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 스테이지를 진공 반응실 상방의 막형성 위치와 진공 반응실 하방의 기판 반송 위치 사이에서 자유롭게 승강하도록 형성하고, 진공 반응실 내부로의 기판 반송구를 막형성 위치보다하측형성한것을특징으로 하는박막 제조 장치.
[청구항5]
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 혼합 가스의 온도를 자유롭게 변경할 수 있도록온도조절수단형성한것을특징으로 하는박막 제조 장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 혼합 가스의 온도를 자유롭게 변경할 수 있도록온도조절수단형성한것을특징으로 하는박막 제조 장치.
[청구항6]
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 슬리브 부재와 반응실을 구성하는 내벽면 사이의 간극을 10㎜이상설정한것을특징으로 하는박막 제조 장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 슬리브 부재와 반응실을 구성하는 내벽면 사이의 간극을 10㎜이상설정한것을특징으로 하는박막 제조 장치.
[청구항7]
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 슬리브 부재의 높이 치수를 70㎜이상설정한것을특징으로 하는박막 제조 장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 슬리브 부재의 높이 치수를 70㎜이상설정한것을특징으로 하는박막 제조 장치.
[청구항8]
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공 반응실 상면의 중앙부에 배치된 가스 헤드가 혼합기의 확산실에 직결되고, 상기 혼합기에서 얻어진 혼합 가스가 상기 가스 헤드를 통해 상기 진공 반응실내에 도입되도록구성되어있는것을특징으로 하는박막 제조 장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공 반응실 상면의 중앙부에 배치된 가스 헤드가 혼합기의 확산실에 직결되고, 상기 혼합기에서 얻어진 혼합 가스가 상기 가스 헤드를 통해 상기 진공 반응실내에 도입되도록구성되어있는것을특징으로 하는박막 제조 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
박막 제조 장치에서 가스 링이 수행하는 역할은 무엇이며, 가스 링에 공급되는 불활성 가스의 온도를 조절하기 위해 추가된 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스 링의 기능과 불활성 가스 온도 조절을 위한 구성요소를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction가스 링의 목적과 온도조절수단에 관한 청구항 내용을 추출한다.
- 불활성 가스를 실내에 균등하게 도입시키기 위한가스 링
- 불활성 가스의 온도를 자유롭게 변경할 수 있도록온도조절수단
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3근거 선택
evidence_selection가스 링의 역할과 온도 조절 구성요소에 직접적으로 해당하는 문구를 선택한다.
- 불활성 가스를 실내에 균등하게 도입시키기 위한가스 링
- 불활성 가스의 온도를 자유롭게 변경할 수 있도록온도조절수단
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4논리 통합
logical_integration가스 링은 불활성 가스를 균등하게 도입하는 역할을 하며, 온도는 온도조절수단에 의해 제어됨을 연결한다.
- 불활성 가스를 실내에 균등하게 도입시키기 위한가스 링
- 불활성 가스의 온도를 자유롭게 변경할 수 있도록온도조절수단
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5결론 도출
conclusion_formulation가스 링의 역할은 불활성 가스의 균등 도입이며, 온도 조절 구성은 온도조절수단이다.
- 불활성 가스를 실내에 균등하게 도입시키기 위한가스 링
- 불활성 가스의 온도를 자유롭게 변경할 수 있도록온도조절수단
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
- 불활성 가스를 실내에 균등하게 도입시키기 위한가스 링
- 불활성 가스의 온도를 자유롭게 변경할 수 있도록온도조절수단
근거 (evidence)
- 불활성 가스를 실내에 균등하게 도입시키기 위한가스 링
- 불활성 가스의 온도를 자유롭게 변경할 수 있도록온도조절수단
최종 답변 (final_answer)
가스 링은 불활성 가스를 실내에 균등하게 도입시키는 역할을 수행하며, 가스 링에 공급되는 불활성 가스의 온도를 자유롭게 변경하기 위한 구성요소는 온도조절수단이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스 링은 불활성 가스의 균등한 도입을 목적으로 진공 반응실 상면에 형성되며, 온도조절수단을 통해 공급되는 가스의 온도를 제어할 수 있다.