문맥 (context)
[청구항3]
제1항 내지 제2항에 있어서,고순도코발트스퍼터링타겟이, 나트륨함유량 : 0.05ppm이하, 칼륨함유량 0.05ppm이하, 철, 니켈, 크롬의 각 원소의 함유량 : 10ppm이하, 우란함유량 : 0.1ppb이하, 토륨함유량 : 0.1ppb이하,나머지부가코발트및기타불순물인것을특징으로 하는고순도코발트스퍼터링타겟.
[청구항4]
제1항 내지 제2항에 있어서,고순도코발트스퍼터링타겟이, 나트륨함유량 : 0.05ppm이하, 칼륨함유량 0.05ppm이하, 철, 니켈, 크롬의 각 원소의 함유량 : 10ppm이하, 우란함유량 : 0.1ppb이하, 토륨함유량 : 0.1ppb이하, 탄소함유량 : 50ppm이하, 산소함유량 100ppm이하,나머지부가코발트및기타불순물인것을특징으로 하는고순도코발트스퍼터링타겟.
[청구항5]
제1항~제4항에 있어서,두께가 3.0mm이상이하인것을특징으로 하는고순도코발트스퍼터링타겟.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 4에 기재된 고순도코발트스퍼터링타겟의 각 불순물별 함유량 기준은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation청구항 4를 참조하여 고순도코발트스퍼터링타겟의 불순물 함유량 기준을 추출해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 4에 명시된 각 원소와 그 함유량 수치를 추출한다.
- 나트륨함유량 : 0.05ppm이하
- 칼륨함유량 0.05ppm이하
- 철, 니켈, 크롬의 각 원소의 함유량 : 10ppm이하
- 우란함유량 : 0.1ppb이하
- 토륨함유량 : 0.1ppb이하
- 탄소함유량 : 50ppm이하
- 산소함유량 100ppm이하
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 청구항 4의 모든 불순물 함유량 정보를 선택한다.
- 나트륨함유량 : 0.05ppm이하
- 칼륨함유량 0.05ppm이하
- 철, 니켈, 크롬의 각 원소의 함유량 : 10ppm이하
- 우란함유량 : 0.1ppb이하
- 토륨함유량 : 0.1ppb이하
- 탄소함유량 : 50ppm이하
- 산소함유량 100ppm이하
-
4논리 통합
logical_integration추출된 각 원소별 함유량 수치를 결합하여 목록 형태로 구성한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation청구항 4에 따른 불순물 함유량 기준을 완성한다.
- 나트륨함유량 : 0.05ppm이하
- 칼륨함유량 0.05ppm이하
- 철, 니켈, 크롬의 각 원소의 함유량 : 10ppm이하
- 우란함유량 : 0.1ppb이하
- 토륨함유량 : 0.1ppb이하
- 탄소함유량 : 50ppm이하
- 산소함유량 100ppm이하
-
6답변 생성
answer_generation최종 답변을 리스트 형식으로 출력한다.
근거 (evidence)
- 나트륨함유량 : 0.05ppm이하
- 칼륨함유량 0.05ppm이하
- 철, 니켈, 크롬의 각 원소의 함유량 : 10ppm이하
- 우란함유량 : 0.1ppb이하
- 토륨함유량 : 0.1ppb이하
- 탄소함유량 : 50ppm이하
- 산소함유량 100ppm이하
최종 답변 (final_answer)
- 나트륨 함유량: 0.05ppm 이하
- 칼륨 함유량: 0.05ppm 이하
- 철, 니켈, 크롬의 각 원소 함유량: 10ppm 이하
- 우란 함유량: 0.1ppb 이하
- 토륨 함유량: 0.1ppb 이하
- 탄소 함유량: 50ppm 이하
- 산소 함유량: 100ppm 이하
핵심 해석 (core_interpretation)
청구항 4는 고순도코발트스퍼터링타겟이 갖추어야 할 구체적인 불순물(나트륨, 칼륨, 철, 니켈, 크롬, 우란, 토륨, 탄소, 산소)의 최대 허용 함유량을 규정하고 있다.