문맥 (context)
[청구항 1]
마이크로파와, 상기 마이크로파에 의해 발생하는 플라즈마와의 임피던스정합의 제어를 하고 있는 플라즈마발생장치에 있어서,
마이크로파발생부와,
상기 마이크로파발생부로부터의 마이크로파의 임피던스를 변화시키는 임피던스조정부와,
임피던스가 조정된 상기 마이크로파를 받아 플라즈마를 발생시키는 플라즈마발생부와,
상기 마이크로파발생부로부터의 마이크로파와. 상기 플라즈마에서 반사한 마이크로파와의 모노다인 간섭에 의한 간섭파를 얻는 모노다인 간섭부와,
모노다인 간섭부로부터의 신호를 처리하여, 정합제어신호를 얻는 제어부를 구비하고, 상기 제어부로부터의 정합제어신호를 상기 임피던스조정부에 인가하여 임피던스를 조정함에 의해, 마이크로파와 플라즈마와의 임피던스정합을 취하는 것을 특징으로 하는 플라즈마발생장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 제어부는, 모노다인 간섭부로부터의 신호의 위상을 검출함으로써,상기정합제어신호있는것을특징으로 하는플라즈마발생장치.
[청구항 3]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 모노다인 간섭부는, 반사한 마이크로파의 정현성분과 여현성분을 얻는 90도(度) 결합기와. 얻어진 상기 정현성분과 여현성분의 각각과, 마이크로파발생부로부터의 마이크로파를 혼합하는 2개의 믹서와. 혼합한 정현성분과 여현성분의 고주파성분을 제거하는 로우·패스필터구비하는것을특징으로 하는플라즈마발생장치.
[청구항 4]
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 임피던스조정부는, 복수의 스터브로부터 선택하는 것에 의해임피던스조정하는것을특징으로 하는플라즈마발생장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
마이크로파와 플라즈마 사이의 임피던스 정합을 수행하기 위해, 제어부가 임피던스조정부에 인가하는 정합제어신호는 어떠한 과정을 거쳐 생성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제어부가 임피던스조정부에 인가하는 정합제어신호가 생성되는 구체적인 과정을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 제어부는 모노다인 간섭부로부터의 신호를 처리하여 정합제어신호를 얻는다고 명시되어 있다.
- 모노다인 간섭부로부터의 신호를 처리하여, 정합제어신호를 얻는 제어부
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3근거 선택
evidence_selection모노다인 간섭부가 신호를 얻는 과정과 제어부가 신호를 처리하는 과정을 연결하는 근거를 선택한다.
- 모노다인 간섭부로부터의 신호를 처리하여, 정합제어신호를 얻는 제어부
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4논리 통합
logical_integration마이크로파와 반사된 마이크로파의 모노다인 간섭을 통해 간섭파를 얻고, 이 신호를 제어부가 처리함으로써 정합제어신호가 생성되는 논리적 흐름을 구성한다.
- 모노다인 간섭부로부터의 신호를 처리하여, 정합제어신호를 얻는 제어부
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5결론 도출
conclusion_formulation정합제어신호는 모노다인 간섭부로부터 얻은 신호를 제어부가 처리함으로써 생성된다는 결론을 도출한다.
- 모노다인 간섭부로부터의 신호를 처리하여, 정합제어신호를 얻는 제어부
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 모노다인 간섭부로부터의 신호를 제어부가 처리하여 생성된다는 내용을 바탕으로 답변을 작성한다.
- 모노다인 간섭부로부터의 신호를 처리하여, 정합제어신호를 얻는 제어부
근거 (evidence)
- 모노다인 간섭부로부터의 신호를 처리하여, 정합제어신호를 얻는 제어부
최종 답변 (final_answer)
제어부가 모노다인 간섭부로부터 얻은 신호를 처리함으로써 정합제어신호가 생성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 마이크로파와 반사된 마이크로파 사이의 모노다인 간섭 신호를 활용하여 제어부가 정합제어신호를 생성하고, 이를 통해 임피던스 정합을 수행하는 기술에 관한 것이다.