문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 구동부에는 상기 외측 공전 서셉터와 상기 내측 공전 서셉터의 속도를 제어하기 위한변속부포함하는것을특징으로 하는이중 서셉터.
[청구항3]
제 2 항에 있어서,상기 변속부는가속기어형태인것을특징으로 하는이중 서셉터.
제 1 항에 있어서,상기 변속부는가속기어형태인것을특징으로 하는이중 서셉터.
[청구항4]
제 2 항에 있어서,상기 변속부는감속기어형태인것을특징으로 하는이중 서셉터.
제 1 항에 있어서,상기 변속부는감속기어형태인것을특징으로 하는이중 서셉터.
[청구항5]
제 1 항에 있어서,상기 구동부는 상기 외측 공전 서셉터와 상기 내측 공전 서셉터가 각각의 속도가 제어되도록 상기 외측 공전 서셉터를 회전시키기 위한 외측 구동부, 상기 내측 공전 서셉터를 회전시키기 위한내측구동부포함하는것을특징으로 하는이중 서셉터.
제 1 항에 있어서,상기 구동부는 상기 외측 공전 서셉터와 상기 내측 공전 서셉터의 각각의 속도가 제어되도록 상기 외측 공전 서셉터를 회전시키기 위한 외측 구동부, 상기 내측 공전 서셉터를 회전시키기 위한내측구동부포함하는것을특징으로 하는이중 서셉터.
[청구항6]
제 1 항에 있어서,상기 외측 공전 서셉터 또는 상기 내측 공전 서셉터에는 상기 웨이퍼가 안착되어 개별적으로 회전 가능한자전서셉터포함하는것을특징으로 하는이중 서셉터.
제 1 항에 있어서,상기 외측 공전 서셉터 또는 상기 내측 공전 서셉터에는 상기 웨이퍼가 안착되어 개별적으로 회전 가능한자전서셉터포함하는것을특징으로 하는이중 서셉터.
[청구항7]
제 6 항에 있어서,상기 외측 공전 서셉터, 상기 내측 공전 서셉터 및 상기 자전 서셉터 중 선택된 2개에 위치한 상기 웨이퍼 상의 온도 또는 증착 두께를 측정하여 비교하기 위한 측정부포함하는것을특징으로 하는이중 서셉터.
제 6 항에 있어서,상기 외측 공전 서셉터, 상기 내측 공전 서셉터 및 상기 자전 서셉터 중 선택된 2개에 위치한 상기 웨이퍼 상의 온도 또는 증착 두께를 측정하여 비교하기 위한 측정부포함하는것을특징으로 하는이중 서셉터.
[청구항8]
제 7 항에 있어서,상기 측정부는파이로미터인것을특징으로 하는이중 서셉터.
제 7 항에 있어서,상기 측정부는파이로미터인것을특징으로 하는이중 서셉터.
[청구항19]
제 18 항에 있어서,상기 구동부에는 상기 외측 공전 서셉터와 상기 내측 공전 서셉터가 상이한 속도로 제어되도록변속부포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항20]
제 19 항에 있어서,상기 변속부는가속기어형태인것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항21]
제 19 항에 있어서,상기 변속부는감속기어형태인것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항22]
제 18 항에 있어서,상기 구동부는 상기 외측 공전 서셉터와 상기 내측 공전 서셉터가 각각의 속도가 제어되도록 상기 외측 공전 서셉터를 회전시키기 위한 외측 구동부, 상기 내측 공전 서셉터를 회전시키기 위한내측구동부포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항23]
제 18 항에 있어서,상기 외측 공전 서셉터 또는 상기 내측 공전 서셉터에는 상기 웨이퍼가 안착되어 개별적으로 회전 가능한자전서셉터포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항24]
제 23 항에 있어서,상기 측정부는 외측 공전 서셉터, 상기 내측 공전 서셉터 및 상기 자전 서셉터 중 선택된 2개에 위치한 상기 웨이퍼의 온도 또는 증착 두께를 측정하여비교하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항25]
제 18 항에 있어서,상기 가스공급부는샤워헤드형태인것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항26]
제 18 항에 있어서,상기 가스공급부는노즐 형태인것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
[청구항27]
제 18 항에 있어서,상기 측정부는파이로미터인것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
이중 서셉터의 구동부는 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있으며, 각 구성 요소는 어떤 역할을 수행하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation이중 서셉터의 구동부 구성 요소와 각 요소의 기능을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항에서 구동부와 관련된 구성 요소인 변속부, 외측 구동부, 내측 구동부를 추출한다.
- 상기 구동부에는 상기 외측 공전 서셉터와 상기 내측 공전 서셉터의 속도를 제어하기 위한변속부포함
- 상기 구동부는 상기 외측 공전 서셉터와 상기 내측 공전 서셉터가 각각의 속도가 제어되도록 상기 외측 공전 서셉터를 회전시키기 위한 외측 구동부, 상기 내측 공전 서셉터를 회전시키기 위한내측구동부포함
-
3근거 선택
evidence_selection변속부의 기능(속도 제어)과 외측/내측 구동부의 기능(각 서셉터 회전)을 뒷받침하는 문구를 선택한다.
- 상기 외측 공전 서셉터와 상기 내측 공전 서셉터의 속도를 제어하기 위한변속부
- 상기 외측 공전 서셉터를 회전시키기 위한 외측 구동부
- 상기 내측 공전 서셉터를 회전시키기 위한내측구동부
-
4논리 통합
logical_integration구동부는 변속부, 외측 구동부, 내측 구동부로 구성되며, 변속부는 속도를 제어하고 구동부들은 각각의 서셉터를 회전시킨다는 논리를 구성한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation구동부의 구성과 기능을 정리하여 답변을 도출한다.
- 상기 구동부에는 상기 외측 공전 서셉터와 상기 내측 공전 서셉터의 속도를 제어하기 위한변속부포함
- 상기 외측 공전 서셉터를 회전시키기 위한 외측 구동부
- 상기 내측 공전 서셉터를 회전시키기 위한내측구동부
-
6답변 생성
answer_generation최종 답변을 구조화하여 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 구동부에는 상기 외측 공전 서셉터와 상기 내측 공전 서셉터의 속도를 제어하기 위한변속부포함
- 상기 구동부는 상기 외측 공전 서셉터와 상기 내측 공전 서셉터가 각각의 속도가 제어되도록 상기 외측 공전 서셉터를 회전시키기 위한 외측 구동부, 상기 내측 공전 서셉터를 회전시키기 위한내측구동부포함
- 상기 외측 공전 서셉터와 상기 내측 공전 서셉터의 속도를 제어하기 위한변속부
- 상기 외측 공전 서셉터를 회전시키기 위한 외측 구동부
- 상기 내측 공전 서셉터를 회전시키기 위한내측구동부
최종 답변 (final_answer)
이중 서셉터의 구동부는 다음과 같은 구성 요소와 기능을 가진다.
1. 변속부: 외측 공전 서셉터와 내측 공전 서셉터의 속도를 제어한다.
2. 외측 구동부: 외측 공전 서셉터를 회전시킨다.
3. 내측 구동부: 내측 공전 서셉터를 회전시킨다.
핵심 해석 (core_interpretation)
구동부는 속도 제어를 위한 변속부와 각 서셉터의 회전을 담당하는 외측/내측 구동부로 구성된다.