문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 가스공급부는 상기 공정튜브의 길이방향을 따라 상기 공정튜브의 외주면에 형성된 제 1 돌출레일, 상기 제 1 돌출레일의 내부에 상기 제 1 돌출레일의 길이방향을 따라 구획되어 형성된 복수의 제 1 유로, 일측은 제 1 유로와 연통되고 타측은 상기 챔버와 연통된 복수의 토출공을 포함하고,상기 가스배출부는 상기 공정튜브의 길이방향을 따라 상기 공정튜브의 외주면에 형성된 제 2 돌출레일, 상기 제 2 돌출레일의 내부에 상기 제 2 돌출레일의 길이방향을 따라 형성된 복수의 제 2 유로, 일측은 상기 챔버와 연통되고 타측은 상기 제 2 유로와 연통된복수의배출공포함하는것을특징으로 하는배치식 장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 가스공급부는 상기 공정튜브의 길이방향을 따라 상기 공정튜브의 외주면에 형성된 복수의 제 1 돌출레일, 복수의 상기 제 1 돌출레일의 내부에 상기 제 1 돌출레일의 길이방향을 따라 각각 형성된 제 1 유로, 일측은 제 1 유로와 연통되고 타측은 상기 챔버와 연통된 복수의 토출공을 포함하고,상기 가스배출부는 상기 공정튜브의 길이방향을 따라 상기 공정튜브의 외주면에 형성된 복수의 제 2 돌출레일, 복수의 상기 제 2 돌출레일의 내부에 상기 제 2 돌출레일의 길이방향을 따라 각각 형성된 제 2 유로, 일측은 상기 챔버와 연통되고 타측은 상기 제 2 유로와 연통된복수의배출공포함하는것을특징으로 하는배치식 장치.
[청구항4]
제2항 또는 제3항에 있어서,상기 제 1 돌출레일의 외면에는냉각덕트설치된것을특징으로 하는배치식 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서,상기 제 1 돌출레일의 외면에는냉각덕트설치된것을특징으로 하는배치식 장치.
[청구항5]
제4항에 있어서,상기 공정튜브의 하면은 개방되고,상기 공정튜브의 외면을 감싸는 형태로 하면이 개방된 하우징이 결합되며,복수의 기판이 상호 간격을 가지면서 적재 보관되고, 승강가능하게 설치되어 기판을 상기 챔버에 로딩시키는보트더포함하는것을특징으로 하는배치식 장치.
제4항에 있어서,상기 공정튜브의 하면은 개방되고,상기 공정튜브의 외면을 감싸는 형태로 하면이 개방된 하우징이 결합되며,복수의 기판이 상호 간격을 가지면서 적재 보관되고, 승강가능하게 설치되어 기판을 상기 챔버에 로딩시키는보트더포함하는것을특징으로 하는배치식 장치.
[청구항6]
제5항에 있어서,상기 보트는 승강하면서 상기 하우징의 하단면(下端面) 및 상기 튜브의 하단면(下端面)에 착탈가능하게 결합되고,상기 보트가 상기 하우징의 하단면(下端面) 및 상기 튜브의 하단면(下端面)에 결합되면 기판이상기챔버로딩되는것을특징으로 하는배치식 장치.
제5항에 있어서,상기 보트는 승강하면서 상기 하우징의 하단면(下端面) 및 상기 튜브의 하단면(下端面)에 착탈가능하게 결합되고,상기 보트가 상기 하우징의 하단면(下端面) 및 상기 튜브의 하단면(下端面)에 결합되면 기판이상기챔버로딩되는것을특징으로 하는배치식 장치.
[청구항7]
제6항에 있어서,상기 하우징의 하단면에는 상기 제 1 유로, 상기 제 2 유로 및 상기 냉각덕트와 연결되는매니폴드설치된것을특징으로 하는배치식 장치.
제6항에 있어서,상기 하우징의 하단면에는 상기 제 1 유로, 상기 제 2 유로 및 상기 냉각덕트와 연결되는매니폴드설치된것을특징으로 하는배치식 장치.
[청구항8]
제7항에 있어서,상기 토출공 및 상기 배출공은, 상기 보트가 상기 하우징에 결합되었을 때, 상기 보트에 지지된 상호 인접하는상기기판과기판사이의간격각각위치되는것을특징으로 하는배치식 장치.
제7항에 있어서,상기 토출공 및 상기 배출공은, 상기 보트가 상기 하우징에 결합되었을 때, 상기 보트에 지지된 상호 인접하는상기기판과기판사이의간격각각위치되는것을특징으로 하는배치식 장치.
[청구항9]
제1항에 있어서,상호 일체로 형성된 상기 공정튜브와 상기 가스공급부와 상기 가스배출부는 그라파이트(graphite), 카본(carbon) 복합체 또는 실리콘 카바이드(silicon carbide) 중에서 선택된 어느하나형성된것을특징으로 하는배치식 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서,상호 일체로 형성된 상기 공정튜브와 상기 가스공급부와 상기 가스배출부는 그라파이트(graphite), 카본(carbon) 복합체 또는 실리콘 카바이드(silicon carbide) 중에서 선택된 어느하나형성된것을특징으로 하는배치식 장치.
[청구항10]
제1항에 있어서,상호 일체로 형성된 상기 공정튜브와 상기 가스공급부와 상기 가스배출부는 알루미늄으로 형성되며,애노다이징처리된것을특징으로 하는배치식 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서,상호 일체로 형성된 상기 공정튜브와 상기 가스공급부와 상기 가스배출부는 알루미늄으로 형성되며,애노다이징처리된것을특징으로 하는배치식 장치.
[청구항11]
제1항에 있어서,상호 일체로 형성된 상기 공정튜브와 상기 가스공급부와 상기 가스배출부는석영형성된것을특징으로 하는배치식 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서,상호 일체로 형성된 상기 공정튜브와 상기 가스공급부와 상기 가스배출부는석영형성된것을특징으로 하는배치식 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
보트가 하우징의 하단면 및 튜브의 하단면에 결합될 때, 기판의 로딩 동작과 토출공 및 배출공의 위치 관계는 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation보트의 결합에 따른 기판 로딩 동작과 토출공/배출공의 위치 관계를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction보트의 결합 조건, 기판 로딩 조건, 공의 위치 조건을 추출한다.
- 상기 보트는 승강하면서 상기 하우징의 하단면(下端面) 및 상기 튜브의 하단면(下端面)에 착탈가능하게 결합되고
- 상기 보트가 상기 하우징의 하단면(下端面) 및 상기 튜브의 하단면(下端面)에 결합되면 기판이상기챔버로딩되는것
- 상기 토출공 및 상기 배출공은, 상기 보트가 상기 하우징에 결합되었을 때, 상기 보트에 지지된 상호 인접하는상기기판과기판사이의간격각각위치되는것을
-
3근거 선택
evidence_selection기판 로딩과 관련된 청구항 6항과 공의 위치와 관련된 청구항 8항의 내용을 선택한다.
- 상기 보트가 상기 하우징의 하단면(下端面) 및 상기 튜브의 하단면(下端面)에 결합되면 기판이상기챔버로딩되는것을
- 상기 토출공 및 상기 배출공은, 상기 보트가 상기 하우징에 결합되었을 때, 상기 보트에 지지된 상호 인접하는상기기판과기판사이의간격각각위치되는것을
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4논리 통합
logical_integration보트가 하우징 및 튜브 하단면에 결합되면 기판이 챔버로 로딩되며, 이때 토출공과 배출공은 인접한 기판 사이의 간격에 위치하게 된다는 논리를 구성한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation보트 결합 시 기판 로딩이 이루어지고, 공들은 기판 사이의 간격에 위치한다는 결론을 도출한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 비존대 문체로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 보트는 승강하면서 상기 하우징의 하단면(下端面) 및 상기 튜브의 하단면(下端面)에 착탈가능하게 결합되고
- 상기 보트가 상기 하우징의 하단면(下端面) 및 상기 튜브의 하단면(下端面)에 결합되면 기판이상기챔버로딩되는것
- 상기 토출공 및 상기 배출공은, 상기 보트가 상기 하우징에 결합되었을 때, 상기 보트에 지지된 상호 인접하는상기기판과기판사이의간격각각위치되는것을
- 상기 보트가 상기 하우징의 하단면(下端面) 및 상기 튜브의 하단면(下端面)에 결합되면 기판이상기챔버로딩되는것을
최종 답변 (final_answer)
보트가 하우징의 하단면 및 튜브의 하단면에 결합되면 기판이 상기 챔버로 로딩된다. 이때 토출공 및 배출공은 보트에 지지된 상호 인접하는 기판과 기판 사이의 간격에 각각 위치한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
보트의 결합 상태에 따른 기판의 로딩 동작과 가스 공급/배출을 위한 공(hole)의 물리적 위치 관계를 설명함.